MEMS 공정을 위한 여러 종류의 산화막의 잔류응력 제거 공정

李相佑,김성운,李尙禹,김종팔,박상준,이상철,조동일 경북대학교 센서기술연구소 1998 센서技術學術大會論文集 Vol.9 No.1

Various oxide films are commonly used as a sacrificial layer or etch mask in the fabrication of microelectromechanical systems (MEMS). Large residual strain of these oxide films cause the wafer to bow, which can have detrimental effects on photolithography and other ensuing processes. This paper investigates the residual strain of tetraethoxysilane (TEOS), low temperature oxide (LTO), 7wt% and lOwt% phosphosilicate glass (PSG). Euler beams and a bent-beam strain sensor are used to measure residual strain. A polysilicon layer is used as a sacrificial layer, which is selectively etched away by XeF_(2). First, the residual strain of as-deposited films is measured, which is quite large. These films are annealed at 500℃, 600℃, 700℃ and 800℃ for 1 hour and residual strain is measured. Then, the residual strain after annealing at the conditions for depositing a 2μm thick polysilicon at 585℃ and 625℃ are also measured. Our results show that the 7wt% PSG is best suited as the sacrificial layer for 2μm thick polysilicon processes.

水平 bow-fin이 船體抵抗 및 運動性能에 미치는 影響 : 수평 bow-fin이 선체저항 및 운동성능에 미치는 영향

이상우 釜山大學校 工科大學 1985 工科大學 硏究 報告 Vol.29 No.-

삽목 조건이 ‘설향’ 딸기의 묘소질 및 과실 수량에 미치는 영향

이상우,이용혁,홍점규,최성환,박수정,이상우 (사) 한국생물환경조절학회 2023 생물환경조절학회지 Vol.32 No.4

딸기 ‘설향’ 품종에 대해 삽목 육묘의 조건을 확립하고자 삽수 채취용 모주 선택, 삽수의 적정 엽수 및 삽목 시기를 구명하였다. 삽수 채취는 육묘장 모주와 과실 수확 후 재배 식물체에서 채취하였고, 삽수의 엽수는 0, 1, 2장 그리고 삽목 시기는 6 월 4일부터 7월 9일까지 1주일 간격으로 하였다. 육묘장 삽수와 재배 식물체 삽수의 최종 생존율은 각각 99.5%, 98.7%로높았으며, 유의적인 차이는 없었다. 근수는 육묘장 삽수에서3.1개 많았고, 관부와 잎의 생육은 차이가 없었다. 과실 수량은 육묘장 삽수와 재배 식물체 삽수에서 각각 419.2g, 428.4g 이었지만 유의적인 차이는 없었다. 삽수의 엽수별 생존율은엽수 1, 2장에서 각각 98.1%, 98.3%로 높았고, 0장은 25.3% 로 현저히 낮았다. 근수는 엽수 1, 2장에서 각각 26.0개, 26.3 개로 엽수 0장의 23.5개에 비해 많았다. 관부와 엽의 생육에서는 엽수에 따른 유의적인 차이가 없었다. 과실 수량은 엽수 1, 2장에서 각각 424.4g, 421.5g으로, 0장 396.7g 보다 많았다. 삽목 시기에 따른 삽목 후 생존율은 97.2% 이상으로 높았으며, 처리 간의 유의적인 차이는 없었다. 묘의 지하부와 지상부그리고 관부의 생육은 6월 4일과 11일 삽목에서 가장 좋았다. 과실 수량은 6월 4일, 6월 11일 삽목에서 각각 433.3g, 426.4g 으로 가장 많았으며, 삽목 시기가 가장 늦었던 7월 9일 삽목에서는 384.5g으로 적었다. 딸기 삽목용 삽수 재료는 육묘장 삽수와 과실 수확을 마친 재배 식물체 삽수 모두 가능하였고, 삽수의 적정 엽수는 최소 1장 이상 그리고 경남 지역의 삽목 시기는 6월 4일-11일이 적합하였다. This study was conducted to investigate optimal conditions for cutting propagation of the strawberry cultivar “Sulhyang” through the collection methods of cuttings (runners tips), leaf number of cuttings, and cutting time. Cuttings were collected from the mother plant in the nursery bed (MP) and plants after fruit harvest (HP); the leaf number of cuttings was 0, 1, and 2, and the cutting time was at one-week intervals from June 4 to July 9. The survival rates for MP and HP cuttings were notably high, reaching 99.5% and 98.7%, respectively, but no significant difference was found. The number of roots were higher in MP cuttings, and there was no significant difference in crown and leaf growth. The fruit yields were 419.2 and 428.4 g, for MP and HP cuttings, respectively. The survival rates according to leaf number of cuttings were 98.1% and 98.3% for 1 and 2 remaining leaves, respectively, and remarkably lower at 25.3% for no remaining leaves. The root numbers were 26.0 and 26.3 for 1 and 2 remaining leaves, respectively, compared with 23.5 for no remaining leaves, with no significant differences in crown and leaf growth. The fruit yields were 424.4 and 421.5 g for 1 and 2 remaining leaves, respectively, and 396.7 g for no remaining leaves. The survival rates according to cutting time was over 97.2% in all cutting time without any difference in each treatment. The root, shoot, and crown of the nursery plant before planting showed the best growth in the cuttings on June 4 and 11, resulting in the highest fruit yields of 433.3 and 426.4 g, respectively, with the lowest yields at 384.5 g for cutting time on July 9. Both MP and HP materials proved suitable for strawberry cuttings. The optimal leaf number for cuttings was at least 1, and the optimal cutting time in Gyeongnam area was evaluated as around June 4-11.

21세기의 동아시아와 한국 그리고 제주도 : "북한관광실태연구" "동북아 해양질서와 국제법" "지방분권화 와 국제화 흐름 속에서 제주도 개발을 다시 생각한다"

김부찬,이상우,허향진 제주대학교 동아시아연구소 1990 東아시아硏究論叢 Vol.1 No.-

이슈 : 일본의 공적연금 단일화 개혁과 정책적 시사점

이상우,류건식 보험연구원 2012 KIRI Weekly(주간포커스) Vol.180 No.-

최근 특수직역연금(공무원·군인연금 등)의 재정적자 확대에 따른 정부 부담이 증가하고 있는 가운데 국민연금·특수직역연금 간의 기여와 급여 등의 격차에 따른 세대 간·세대 내의 갈등이 우려되고 있음. 일본에서도 이러한 현상은 오랜 동안 지속되어 공적연금의 지속 가능성에 대한 의문이 확산되고 있고, 공제연금에 대한 국민들의 불만이 고조되고 있음. 최근 일본 정부는 지지부진한 공적연금 개혁을 미룰 수 없다고 판단하고 공제연금과 후생연금을 통합하기 위한 관련 법률안을 제정하여 2012년 4월 국회에 상정하였음. 동 법안에 의하면 2015년 10월까지 공제연금1)을 후생연금2)에 통합시키고, 국가공무원의 연금요율을 후생연금 기준으로 2018일까지 조정하는 등 공제연금의 주요 기준을 후생연금으로 통일시켜야 함. 또한, 공제연금에만 존재하는 직역가산금을 폐지하고, 공제연금의 가입연령 제한, 퇴직공무원의 민간기업 취업 시공무원연금 지급 제한, 유족연금의 승계, 연금지급 개시 연령, 장애연금 지급요건 등을 후생연금의 기준으로 통일시키며, 정부의 비용을 감축해야 함. 일본의 공적연금 단일화 추진은 재정부담 가중과 국민연금과 특수직역연금 간의 형평성 문제가 상존하는 우리나라에 두 가지 시사점을 주고 있음. 첫째, 단기적으로는 국민연금과 특수직역연금 간의 급여격차를 줄여 수급의 형평성 문제를 해소하고 장기적으로는 특수직역연금의 건전성을 제고하기 위해 종합적인 공적연금 개편방안이 마련될 필요가 있다는 점이고, 둘째, 공적연금간의 형평성 문제, 공적연금의 재정위기 구조화 문제 등을 종합적으로 고려하여 공적연금의 저부담·고급여 체계를 개선하기 위한 노후소득보장체계의 개편이 검토되어야 할 것이라는 점임. 1) 공제연금은 우리나라의 공무원연금 또는 군인연금과 유사하게 일본의 공무원이나 사립학교교직원 등에게 강제로 적용되는 공적연금을 말함. 2) 우리나라는 기초부분과 소득비례부분을 통합하여 하나의 국민연금제도로 운영하고 있는데 반하여 일부 국가에서는 이를 분리하여 운영하고 있으며, 일본의 경우 전자 부분을 기초연금(또는 국민연금), 후자 부분을 후생연금보험으로 명칭하고 있음(이하 ‘후생연금’ 이라 함).

해외금융 뉴스 일본 : 일본 국채, 단기금리 하락,장기 금리 상승 추세

이상우 보험연구원 2012 KIRI Weekly(주간포커스) Vol.175 No.-

지형, 개발지역, 수변림과 하천 내 총질소 농도와의 구조적 관계 분석

이상우,이종원,박세린 한국조경학회 2020 韓國造景學會誌 Vol.48 No.1

유역의 토지이용과 하천에 인접한 수변림은 하천의 수질을 결정하는 중요한 요인이다. 특히 유역의 개발지역은 불투수면을 증가시키고, 강우유출 특성과 비점오염물질 거동을 변화시켜 하천의 수질을 악화시킨다. 한편, 수변림은 다양한 수문학적, 생화학적 및 생태학적 작용을 통해 유역의 토지이용이 수질에 미치는 영향을 완화시키는 것으로 보고되어 왔다. 하천의 수질은 다양한 요인들에 의해 영향을 받기 때문에 요인들 간 인과관계를 이해하는 것이 중요하다. 본 연구는 인과관계를 분석할 수 있는 구조방정식모형을 통해 하천환경 특성, 유역의 개발지역 면적, 수변림의 공간적 구조가 총질소 농도에 미치는 구조적 관계 분석에 목적을 두고 수행되었다. 연구 대상지는 낙동강 대권역으로 선정하였으며, 수질 자료는 2012년 환경부의 「전국 하천 수생태계 현황 조사 및 건강성 평가」 결과를 이용하였다. 환경부의 토지피복도에서 수변림과 개발지역 데이터를 추출하여 SPSS Amos 프로그램을 통해 구조방정식모형을 추정하였다. 모형 추정 결과, 개발지역은 고도에 의해 결정되며 수변림의 공간적 구조는 개발지역 면적에 영향을 받는 것으로 나타났다. 또한, 개발지역 면적은 총질소 농도에 직접적인 영향과 수변림의 공간적 구조를 통해 간접적인 영향을 주는 것으로 나타났다. 특히 개발지역은 수변림의 LDI와 총질소 농도를 증가시키고 LPI와 PLAND를 감소시키며 LDI와 PLAND는 총질소 농도를 감소시키는 것으로 나타났다. 본 연구의 결과는 유역의 개발지역이 하천의 총질소 농도에 직간접적으로 영향을 미치나, 수변림이 공간적으로 안정적인 구조를 갖고 식생이 풍부할 경우, 개발지역이 하천 수질에 미치는 부정적인 영향을 상당히 완화시킬 수 있다는 것을 의미한다. 따라서 중장기적인 유역 관리 계획 수립 시, 하천의 수질 회복을 위해서는 유역의 개발지역 비율을 최소화하는 것이 중요하며, 유역 개발에 의한 하천 수질의 영향을 완화하기 위해서는 수변림의 양과 구조의 복원 및 관리가 필요하다. Land use in watersheds has been shown to be a major driving factor in determining the status of the water quality of streams. In this light, scientists have been investigating the roles of riparian vegetation on the relationships between land use in watersheds and the associated stream water quality. Numerous studies reported that riparian vegetation could alleviate the adverse effects caused by land use in watersheds and on stream water quality through various hydrological, biochemical and ecological mechanisms. However, this concept has been criticized as the true effects of riparian vegetation must be assessed by comprehensive models that mimic real environmental settings. This study aimed to estimate a comprehensive structural equation model integrating topography, land use, and characteristics of riparian vegetation. We used water quality data from the Nakdong River system monitored under the National Aquatic Ecosystem Monitoring Program (NAEMP) of the Korean Ministry of Environment (MOE). Also, riparian vegetation data and land use data were extracted from the Land Use/Land Cover map (LULC) produced by the MOE. The number of structural equation models (SEMs) were estimated in Amos of IBM SPSS. Study results revealed that land use was determined by elevation, and developed areas within a watershed significantly increased the concentration of Total Nitrogen (TN) in streams and LDI in riparian vegetation. On the contrary, developed areas significantly reduced LPI and PLAND. At the same time, PLAND and LDI significantly reduced the concentration of TN in streams. Thus, it was clear that developed areas in watersheds had both a direct and an indirect impact on the concentration of TN in streams, and spatial pattern and the amount of vegetation of riparian vegetation could significantly alleviate the negative impacts of developed areas on TN concentration in streams. To enhance stream water quality, reducing developed areas in a watershed is critical for long-term watershed management plans, restoration patterns for riparian vegetation could be immediately implemented since riparian areas were less developed than most other watersheds.

허혈성 심장병환자에서 운동에 따른 BNP 농도의 변화

이상우,이규보,강도영,이재태,천경아 대한핵의학회 1999 핵의학 분자영상 Vol.33 No.5

남북한관계

이상우 한국통일전략학회 2001 통일전략 Vol.1 No.1

천수만 해역에서 장마기 담수 방류가 플랑크톤에 미치는 영향

이상우,박철,이두별,이재광,Lee, Sangwoo,Park, Chul,Lee, Doobyoul,Lee, Jaegwang 한국해양학회 2014 바다 Vol.19 No.1

반폐쇄적인 천수만에서 장마기 동안 짧은 기간에 대량의 담수가 집중적으로 유입될 때 발생할 수 있는 플랑크톤 생태계의 영향을 파악하고자 하였다. 이를 위해 장마기 전 후, 2012년 6월 27일부터 9월 1일까지 약 열흘 간격으로 수온, 염분, chlorophyll a 농도, 영양염 농도와 동물플랑크톤의 분포를 조사하여, 이들 각 변수간의 관계를 파악해 보았다. 담수 방류 후 영양염 농도는 약 2배 이상 증가하였고, 그 결과로 나타나는 chlorophyll a 농도 증가는 수 일이 소요되는 것으로 추정되었다. 동물플랑크톤의 경우는 먹이생물인 식물플랑크톤의 증가에 따른 개체수 증가라는 긍정적인 면과 염분 충격으로 인한 사망이라는 부정적인 면이 동시에 나타나는 것으로 여겨졌다. 급격한 염분 하강으로 인한 동물플랑크톤의 사망률은 최고 40%까지 나타났으나, 사체의 빠른 침강으로 신뢰할 만한 사망률 추정에는 한계가 있었다. The impact of freshwater discharge on plankton was investigated in a semi-closed Cheonsu Bay during the rainy season. Field observations for environmental factors (seawater temperatures, salinities, chlorophyll a concentrations and nutrient concentrations) and zooplankton sampling were carried out from June 27 to September 1, 2012 at about 10 days interval. The relationship between the measured parameters and estimated values of zooplankton abundance were examined. After freshwater discharge, nutrient concentrations increased up to about twice and resultant increase of chlorophyll a followed within about 10 days. Both positive and negative impacts on zooplankton were observed. Positive one was the numerical response of zooplankton on this increased food supply, and negative one was the increased mortality caused by sudden changes in salinity. Maximum mortality of copepods was found to be up to 40%, although fast sinking of carcass made it difficult to estimate reliable mortality caused by salinity shock.