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아크이온플레이팅 법을 이용한 대형 공구물의 TiN/TiCN/TiC 코팅층 분석
백경철,서찬열,허기복,김병일,윤동주,이경구,양현삼 한국표면공학회 2010 한국표면공학회 학술발표회 초록집 Vol.2010 No.11
공구수명의 향상을 위하여 많은 연구개발이 되고 있으며 그 중 대형 공구물의 기계적 성질을 높이기 위하여 PVD방법인 Arc Ion Plating법을 이용하여 표면코팅을 하였으며 TiN/TiCN/TiC의 코팅을 하여 코팅층 분석을 실시하였다. 코팅층에 따라 증착속도는 다르게 나타났으며, TiN 1.5㎛/hr, TiCN은 1.7㎛/hr, TiC는 1.5㎛/min으로 나타났으며 코팅막에 따라 경도가 TiN 1960Hv, TiCN 2274Hv, TiC 2,899Hv를 보였다. 또한 기판위에 TiN 박막을 우선 성장시킨 후, 그 표면의 TiCN을 성장시킨 경우에는 표면의 TiCN 박막은 처음의 TiN 박막의 우선 성장 방향에 크게 영향을 받으면서 성장한 결과, TiCN 단일 박막인 경우 (111), (200) 우선방위보다는 오히려 TiN 박막의 (111) 우선성장 방위로 성장하였다고 사료되었다.