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정의창,송규석,차형기 한국진공학회 2004 Applied Science and Convergence Technology Vol.13 No.2
반도체 레이저를 광원으로 사용하는 원자흡수분광 방법으로 금속증기의 증착 공정을 감시하는 연구를 수행하였다. 전자빔 가열 방식을 이용하여 gadolinium (Gd) 금속을 대량으로 증발시켰다. 파장 영역이 770-794 nm (중심파장 780 nm)인 반도체 레이저빔과 388-396 nm 영역의 제 2 고조파 빔을 진공용기에 입사시켜 증발되는 금속증기의 원자흡수 스펙트럼을 실시간으로 기록하였다. 흡수 스펙트럼을 분석하여 증기의 원자밀도를 구했다. 전자빔 출력을 변화시키면서 측정한 원자밀도를 수정 결정 모니터 장치를 사용하여 측정한 증착률과 비교하였다. 산업적으로 많이 사용되는 Ti 등의 증착 공정 감시에 이 실험에서 구현한 레이저 분광장치를 적용할 수 있다는 것을 제시하였다. A study on the semiconductor laser-based atomic absorption spectroscopy was performed for monitoring physical vapor deposition process. Gadolinium metal was vaporized with a high evaporation rate by electron beam heating. Real-time atomic absorption spectra were measured by using tunable semiconductor laser beam at 770-794 nm (center wavelength of 780 nm) and its second harmonic at 388-396 nm. Atomic densities of metal vapor can be calculated from the absorption spectra measured. We plot the atomic densities as a function of the electron beam power and compare with the evaporation rates measured by quartz crystal monitor. We demonstrate that the semiconductor laser-based spectroscopic system developed in this study can be applied to monitor the physical vapor deposition process for other metals such as titanium.
자율주행과 안전 기능을 지니는 퍼스널 모빌리티 스쿠터 개발
정의정,전광우,김주현,이종일,김민규,차효정 제어·로봇·시스템학회 2023 제어·로봇·시스템학회 논문지 Vol.29 No.5
This study developed a personal mobility scooter with autonomous driving and safety functions. The scooter can recognize indoor and outdoor environmental conditions by applying various sensor systems similar to semi-autonomous vehicles. The addition of an autonomous driving function ensures user convenience. The mobility scooter was developed to provide user safety by preventing collisions and rollover accidents. First, the system configuration and functions of the personal mobility scooter have been introduced, followed by the application of algorithms to implement each function. In terms of convenience, the main features of personal mobility scooters include indoor autonomous driving, outdoor semi-autonomous driving, and guardian-following driving. In terms of safety, the salient features are collision prevention and rollover prevention. The functions proposed here were incorporated in an actual mobility scooter, and its efficacy was verified through experiments. .
박종원,윤선호,차정의,최승철,Park, Jong-Won,Yoon, Sun-Ho,Cha, Jeong-Eui,Choi, Seung-Chul 한국마이크로전자및패키징학회 2008 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.15 No.4
The one and two pair of oxide modules for high temperature thermoelectric power generation were fabricated with $Ca_{2.7}Bi_{0.3}Co_4O_9$(p-type) and $Ca_{0.96}Bi_{0.04}Mn_{0.96}Nb_{0.04}O_3$(n-type) on $Al_2O_3$ substrate. For the optimizing of the design process, contact resistance was derived from the results of the one pair modules, and then the resistance of two pair modules were calculated to use the derived data. Those values were compared with the measured values for the optimizing of this design process. The resistance of calculated and measured two pairs modules was 0.956 $\Omega$ and 1.110 Q $\Omega$ $T_h$=833 K, respectively, the difference of resistance was about 0.15 $\Omega$. From the result, proposed design process is effective for high temperature thermoelectric oxide modules fabrication. 고온 발전용 열전모듈을 p-type으로는 $Ca_{2.7}Bi_{0.3}Co_4O_9$, n-type으로는 $Ca_{0.96}Bi_{0.04}Mn_{0.96}Nb_{0.04}O_3$을 선택하고 알루미나 기판 위에 1쌍과 2쌍을 제조하였다. 산화물 열전 모듈의 최적화 설계를 위해 먼저 1쌍의 열전모듈의 실험 결과로부터 전극의 접촉저항을 산출하여 2쌍 모듈에 적용함으로써 저항과 출력 특성을 예측하였다. 예측된 2쌍 모듈의 계산 값과 제조된 2쌍 모듈의 실측 값을 비교함으로써 모듈 설계를 위한 접근방법을 검토하였다. 2쌍 모듈의 계산된 저항과 측정된 저항은 각각 $T_h$=833 K에서 0.954 $\Omega$과 1.105 $\Omega$으로 약 0.15 $\Omega$ 정도의 차이로 근접한 결과를 얻었으며, 제시된 방법으로 고온산화물 열전 모듈 제작에 유효하다고 판단된다.