구리 질화막을 이용한 구리 접합 구조의 접합강도 연구

서한결,박해성,김가희,박영배,김사라은경,Seo, Hankyeol,Park, Haesung,Kim, Gahui,Park, Young-Bae,Kim, Sarah Eunkyung 한국마이크로전자및패키징학회 2020 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.27 No.3

최근 참단 반도체 패키징 기술은 고성능 SIP(system in packaging) 구조로 발전해 가고 있고, 이를 실현시키기 위해서 구리 대 구리 접합은 가장 핵심적인 기술로 대두되고 있다. 구리 대 구리 접합 기술은 아직 구리의 산화 특성과 고온 및 고압력 공정 조건, 등 해결해야 할 문제점들이 남아 있다. 본 연구에서는 아르곤과 질소를 이용한 2단계 플라즈마 공정을 이용한 저온 구리 접합 공정의 접합 계면 품질을 정량적 접합 강도 측정을 통하여 확인하였다. 2단계 플라즈마 공정은 구리 표면에 구리 질화막을 형성하여 저온 구리 접합을 가능하게 한다. 구리 접합 후 접합 강도 측정은 4점 굽힘 시험법과 전단 시험법으로 수행하였으며, 평균 접합 전단 강도는 30.40 MPa로 우수한 접합 강도를 보였다. The recent semiconductor packaging technology is evolving into a high-performance system-in-packaging (SIP) structure, and copper-to-copper bonding process becomes an important core technology to realize SIP. Copper-to-copper bonding process faces challenges such as copper oxidation and high temperature and high pressure process conditions. In this study, the bonding interface quality of low-temperature copper-to-copper bonding using a two-step plasma treatment was investigated through quantitative bonding strength measurements. Our two-step plasma treatment formed copper nitride layer on copper surface which enables low-temperature copper bonding. The bonding strength was evaluated by the four-point bending test method and the shear test method, and the average bonding shear strength was 30.40 MPa, showing that the copper-to-copper bonding process using a two-step plasma process had excellent bonding strength.

Cu-SiO₂ 하이브리드 본딩

서한결,박해성,김사라은경,Seo, Hankyeol,Park, Haesung,Kim, Sarah Eunkyung 한국마이크로전자및패키징학회 2020 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.27 No.1

As an interconnect scaling faces a technical bottleneck, the device stacking technologies have been developed for miniaturization, low cost and high performance. To manufacture a stacked device structure, a vertical interconnect becomes a key process to enable signal and power integrities. Most bonding materials used in stacked structures are currently solder or Cu pillar with Sn cap, but copper is emerging as the most important bonding material due to fine-pitch patternability and high electrical performance. Copper bonding has advantages such as CMOS compatible process, high electrical and thermal conductivities, and excellent mechanical integrity, but it has major disadvantages of high bonding temperature, quick oxidation, and planarization requirement. There are many copper bonding processes such as dielectric bonding, copper direct bonding, copper-oxide hybrid bonding, copper-polymer hybrid bonding, etc.. As copper bonding evolves, copper-oxide hybrid bonding is considered as the most promising bonding process for vertically stacked device structure. This paper reviews current research trends of copper bonding focusing on the key process of Cu-SiO₂ hybrid bonding.

전유성 체계와 실제 이익조정에 관한 연구

서한결(Seo, Han-Gyeol),정양헌(Chung, Yang-Hon) 한국관리회계학회 2016 관리회계연구 Vol.16 No.3

전유성 체계는 미래 수익 창출 불확실성과 관련된 개념으로 연구 결과물을 보호하기 위한 체계로 정의된다. 전유성 체계 유형은 공식적 전유성 체계와 비공식적 전유성 체계로 나뉘는데, 해당 유형에 따라 정보 비대칭성, 성과 확보 시점 등 연구개발 활동 전반에 다양한 영향을 주며, 실제 이익조정 유인에 대한 상이한 영향을 줄 수 있다. 공식적 전유성 체계의 경우 연구개발활동에 대한 정보 비대칭성을 감소시킬 수 있기 때문에 실제 이익조정에 대한 유인을 감소시킬 수 있으나 반대로 시장 기대에 부응하기 위한 실제 이익조정의 유인이 존재할 수 있다. 비공식적 전유성 체계는 심화된 정보 비대칭성으로 실제 이익조정에 대한 유인이 존재할 수 있으나, 최적의 경영의사결정 필요성으로 인해 유인이 감소될 수도 있다. 따라서 본 연구는 우리나라 제조업을 대상으로 전유성 체계의 유형에 따라 실제 이익조정에 유의한 관계를 가지는 지 분석하고자 한다. 분석 결과, 공식 전유성 체계는 비정상 생산원가, 비정상 재량적 비용, 실제이익조정의 종합측정치를 감소시키는 것으로 나타났다. 비공식 전유성 체계 또한 비정상 생산원가, 종합측정치에 대하여 감소시키는 것으로 나타났다. 이상의 연구 결과는 전유성 체계의 강화를 통하여 연구개발 결과물 수익 창출 불확실성을 낮추는 것은 실제 이익 조정 행위를 낮추는 것을 의미한다. 본 연구를 통하여 그간 이익조정 관련 연구에서 논의되지 않았던 전유성 체계에 대한 소개와 실제 이익조정와의 관계를 실증 분석함점에 있어서 회계 정보에 미칠 수 있는 새로운 영향 요인을 규명한 것에 의의를 가진다. Most of manufacturing firms recently recognize the importance of R&D activity have been steadily expanding their R&D expenditure which requires constant efforts to improve their sustainability. However, firms have successfully developed their new knowledge and ready to create the financial returns from the invention, competitors or potential followers are likely to imitate or produce similar products and deprive expected returns of inventors. Therefore, the firm contrive a way to protect and secure their R&D inventions. In this context, the appropriability regime is defines as means to protect financial returns generated from innovative inventions, and closely links to uncertainty in R&D performance. Even through types of appropriability regime have same purpose for protection, two distinct appropriability means have different effects on productivity in R&D process, information asymmetric between firm and stakeholder, and future benefits. Thus, the main purpose of this paper is to explore how the type of appropriability regime effects on the real earnings management. Our results demonstrate that formal appropriability regime significantly reduce real earnings management related to abnormal production cost and abnormal discretionary cost. Also, informal appropriability regime significantly reduce abnormal production cost. As a whole, results show that the strength of appropriability decrease real earnings management regardless of ways to protection their inventions. The significance of this paper lies in shedding a new light on approaching R&D uncertainty with the notion of appropriability regime, which has received only few attentions in accounting literatures.

클라우드 기반 머신러닝 서비스 보안 프레임워크

서한결 ( Han-gyeol Seo ),강동윤 ( Dong-yoon Kang ) 한국정보처리학회 2021 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.28 No.1

AI 모델 서비스 제공에 강제되는 높은 메모리 사용량을 해결하기 위해 일반적으로 클라우드 컴퓨팅 기술을 이용한다. 클라우드 기반 서비스는 개발자로 하여금 메모리 사용량에 대한 걱정을 덜어주고 서비스 이용자에게는 편리하게 양질의 서비스를 제공받을 수 있게 한다. 하지만 보안 대책이 미흡한 클라우드 서비스는 서비스를 제공받아 얻는 이익만을 생각하기에는 보안사고로 인한 피해가 막대할 수 있다. AI 기술이 인간의 삶에 깊이 파고든 현 상황에서 우리가 대부분 이용하는 클라우드에 기반 서비스의 보안 문제는 그 중요도가 굉장히 높다고 할 수 있다. 이를 위해 본 논문에서는 클라우드 기반 머신러닝 서비스를 분석하여 어떤 공격이 이루어질 수 있는지 분석하고 그에 대한 연구된 방어법들의 효과를 확인하여 효과적인 것들을 선별하고 접목시키는 시도를 한다.

OECD 국가의 이동통신 서비스 효율성 평가

서한결(Han-Gyeol Seo),남상준(Sang-Jun Nam),이성준(Seong-Jun Lee) 한국통신학회 2019 韓國通信學會論文誌 Vol.44 No.2

이산화탄소 포집/저장/활용 기술 특허 동향 분석

배준희,서한결,안은영,이재욱,Bae, Junhee,Seo, Hangyeol,Ahn, Eunyoung,Lee, Jaewook 대한자원환경지질학회 2017 자원환경지질 Vol.50 No.5

제 21차 유엔기후변화협약당사국 총회(C0P21)의 파리기후협약이 채택됨에 따라 195개국의 범세계적 온실가스 감축 대응에 합의가 이루어졌다. 이에 따라 온실가스 감축에 관련한 다양한 기술들이 거론되고 있고, 그 중에 이산화탄소 포집/저장/전환 기술(CCUS)은 이산화탄소 감축의 실질적인 기여를 할 수 있는 수단으로 주목받고 있다. 하지만 CCUS 기술은 에너지 및 투자 효율성, 잠재적 저장 능력 등 상용화 단계에서 다양한 보완사항이 존재하며, 이를 해결하기 위한 여러 국가들의 연구개발 활동이 적극적으로 이루어지고 있다. 이에 효과적인 연구개발 전략을 수립하기 위해서 각 국의 CCUS 기술 유형 별 수준과 동향을 분석하고 향후 기술발전방향에 대해 대응하는 것이 무엇보다 중요하다. 따라서 본 연구에서는 CCUS 기술에 대한 국가/기술별 특허 동향 분석을 수행하고자 한다. 분석결과, 구간별 기술 성장단계 분석에서 발전기 단계에 있는 것으로 나타났으며, 기술발전 수준이 가장 높은 포집/회수 분야에 60% 이상의 특허 출원이 이루어짐을 보였다. 해외 상위 출원인인 Alstom technology, Toshiba Corp, Mitsubishi heavy 등의 기업에서 이산화탄소를 포집/회수 하는 기술에 중점을 두고 있으며, 국내에서는 정부 연구기관들을 중심으로 포집 분야 외에 기술 초기 단계인 저장, 전환 분야에도 집중하는 것으로 나타났다. 2000년대 후반부터 CCUS기술 특허 출원이 급속히 증가했으며 많은 국가들이 이 기술에 관심을 갖으며 온실가스를 감축하려는 노력을 하고 있다. In December 2015, 195 nations agreed to cut green house gas emissions in the Paris Climate Convention, and all over the world showed their willingness to participate in greenhouse gas mitigation. Accordingly, various technologies related to greenhouse gas reduction are being considered, among which carbon dioxide capture, storage, utilization (CCUS) technologies are attracting attention as an unique technology capable of directly removing greenhouse gases. However, CCUS technologies are still costly and have low efficiency. It is still more important to analyze the level of CCUS technology before commercialization and to understand trends and to predict future direction of technology. Therefore, this study analyzes the patent trends of CCUS technology and derives implications for future directions. As a result of country analysis, the United States had the highest number of applications, and sectoral analysis shows that 64% of total patents are from capture sector. Companies such as Alstom technology, Toshiba Corp, and Mitsubishi Heavy are focusing on capturing carbon dioxide. In Korea, government research institutes have focused on storage and utilization technologies. In addition, since the late 2000s, patent applications have increased rapidly, and many countries have been interested in the development of the technology and have made efforts to reduce greenhouse gas.

Ar/N₂ 2단계 플라즈마 처리에 따른 저온 Cu-Cu 직접 접합부의 정량적 계면접착에너지 평가 및 분석

최성훈,김가희,서한결,김사라은경,박영배,Choi, Seonghun,Kim, Gahui,Seo, Hankyeol,Kim, Sarah Eunkyung,Park, Young-Bae 한국마이크로전자및패키징학회 2021 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.28 No.2

3 차원 패키징을 위한 저온 Cu-Cu직접 접합부의 계면접착에너지를 향상시키기 위해 Cu박막 표면에 대한 Ar/N₂ 2단계 플라즈마 처리 전, 후 Cu표면 및 접합계면에 대한 화학결합을 X-선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy)을 통해 정량화한 결과, 2단계 플라즈마 처리로 인해 Cu표면에 Cu₄N이 형성되어 Cu산화를 효과적으로 억제하는 것을 확인하였다. 2단계 플라즈마 처리하지 않은 Cu-Cu시편은 표면 산화막의 영향으로 접합이 제대로 되지 않았으나 2단계 플라즈마 처리한 시편은 효과적인 표면 산화방지효과로 인해 양호한 Cu-Cu접합을 형성하였다. Cu-Cu직접접합 계면의 정량적 계면접착에너지를 double cantilever beam 시험방법 및 4점 굽힘(4-point bending, 4-PB) 시험방법을 통해 비교한 결과, 각각 1.63±0.24, 2.33±0.67 J/m²으로 4-PB 시험의 계면접착에너지가 더 크게 측정되었다. 이는 계면파괴역학의 위상각(phase angle)에 따른 계면접착에너지 증가 거동으로 설명할 수 있는데 즉, 4-PB의 계면균열선단 전단응력성분 증가로 인한 계면거칠기의 효과에 기인한 것으로 판단된다. The effect of Ar/N₂ two-step plasma treatment on the quantitative interfacial adhesion energy of low temperature Cu-Cu bonding interface were systematically investigated. X-ray photoelectron spectroscopy analysis showed that Ar/N₂ 2-step plasma treatment has less copper oxide due to the formation of an effective Cu4N passivation layer. Quantitative measurements of interfacial adhesion energy of Cu-Cu bonding interface with Ar/N₂ 2-step plasma treatment were performed using a double cantilever beam (DCB) and 4-point bending (4-PB) test, where the measured values were 1.63±0.24 J/m² and 2.33±0.67 J/m², respectively. This can be explained by the increased interfacial adhesion energy according phase angle due to the effect of the higher interface roughness of 4-PB test than that of DCB test.

단어출현빈도분석과 AHP를 통한 기술 연구 동향과 기대 효과 분석: 바이오 에너지 분리막을 중심으로

이인우(Lee, In-Woo),서한결(Seo, Han-Gyeol),장수진(Jang, Soo-Jeen),조철희(Cho, Churl-Hee),정양헌(Chung, Yang-Hon) 한국경영교육학회 2020 경영교육연구 Vol.35 No.5

[연구목적] 본 연구는 과학 기술 연구 동향과 기술 도입 기대 효과를 함께 분석하는 방안을 바이오 에너지 분리막 분야에 적용하여 연구개발 전략 제시에 도움이 되는 연구 방안을 제시하고자 하였다. [연구방법] 본 연구는 분리막 기술 연구 방향과 기대효과를 분석하기 위해 각각에 대해 두 가지 연구방법을 이용하였다. 우선 텍스트 마이닝을 통해 단어출현 빈도분석으로 선행연구의 연구 방향을 확인하였고, AHP를 통해 기대효과를 알아보았다. [연구결과] 분석결과 분리막 기술의 연구 방향은 주로 분리막 관련 다양한 공정과 공정개선을 통한 성능 향상에 있는 것으로 확인되었다. 분리막 기술을 통한 기대 효과는 바이오 에너지 공정에서 발생하는 환경 문제 해결이 주된 것으로 나타났다. [연구의 시사점] 분리막 관련 연구는 분리막 성능에 중점을 두고 진행되고 있으며 분리막을 실제 공정에 도입하는 측에서 기대하는 부분은 분리막 도입으로 인한 효과와 분리성능 향상에 의한 효과에 중점을 두고 있음을 확인하였다. 이는 분리막 기술 연구가 실제 니즈를 잘 반영하여 이루어지고 있음을 보여준다. 이처럼 특정 기술의 연구 방향과 도입에 따른 기대효과를 함께 분석할 수 있으며, 이는 연구개발 전략 제시에 도움이 될 수 있음을 확인하였다. [Purpose] Purpose of this study is to propose a research methodology that is helpful in presenting the R&D strategy by applying analysis on research trends and expected effect of technology introduction together in the field of bioenergy membranes. [Methodology] For this purpose, we used two research methodologies. Word frequency analysis of text mining was used to analyze the research trends of previous studies, and the expected effect was investigated through AHP. [Findings] This study found that the research trends of membrane is mainly to improve performance through various processes and expected effect focus on environmental problem solving arising from bioenergy process. [Implications] It was confirmed that main research trends of membrane is performance of membrane and expected effect is performance improvement by introduction of membrane in bioenergy processes. This shows that research on membrane is well reflected in actual needs. This methodology can be helpful in presenting the consumer-oriented R&D strategy.

DNA topoisomerase 억제제인 β-lapachone에 의한 인체 간암 및 방광암세포 증식억제에 관한 연구

최다연,이재일,정협섭,서한결,우현주,최영현,Choi Da Yean,Lee Jae Il,Chung Hyun Sup,Seo Han Gyeol,Woo Hyun Joo,Choi Yung Hyun 한국생명과학회 2005 생명과학회지 Vol.15 No.3

남미지역에서 자생하는 Tabebuia avellanedae라는 나무의 수피에서 동정된 quinone계 물질이며, DNA topoisomeras억제제로 알려진 $\beta-lapachone$의 항암작용에 관한 부가적인 자료를 얻기 위하여 인체 간암(HepG2) 및 방광암(T24)세포를 대상으로 조사한 결과 다음과 같은 결과를 얻게 되었다. MTT assay 및 flow cytometry 분석 등의 결과에서, $\beta-lapachone$의 처리에 따라 조사된 두 가지 암세포에서 $\beta-lapachone$처리 농도의존적으로 암세포의 심한 형태적 변형이 동반되면서 암세포의 증식이 억제되었으며, 생존율이 저하되었고 이는 apoptosis유발과 상관성이 있음을 알 수 있었다. $\beta-lapachone$처리에 의한 두 암세포의 증식억제는 종양억제 유전자 p53 및 Cdk inhibitor p21의 발현과는 큰 연관성이 없음을 RT-PCR 및 Western blot analysis를 통하여 확인하였다. 그러나 전사조절인자 Sp-1 및 세포증식 주요조절인자인 PCNA의 단백질 발현은 $\beta-lapachone$처리에 따라 매우 감소되었으며, telomere조절에 중요한 인자들의 선택적 발현 저하 현상도 관찰되었다. 이상의 결과들은 인체 암세포에서 $\beta-lapachone$의 항암작용을 이해하는 중요한 자료가 될 것이며, $\beta-lapachone$과 유사한 화학적 구조 및 성질을 가지는 항암제 후보물질들의 항암기전 비교 및 항암제 개발을 위한 기초 자료로서 응용될 것이다. The objective of the present study was to investigate the effect of $\beta-lapachone$, a quinone obtained from the bark of the lapacho tree (Tabebuia avellanedae) in South America, on the cell growth of human hepatoma (HepG2) and bladder (T24) carcinoma cells. Exposure of cancer cells to $\beta-lapachone$ resulted in growth inhibition, morphological changes and apoptosis in a concentration-dependent manner, which could be proved by MTT assay and flow cytometry analysis. Reverse transcription-polymerase chain reaction (RT-PCR) and Western blot analyses revealed that $\beta-lapachone$ did not affect the levels of tumor suppressor p53 and cyclin-dependent kinase (Cdk) inhibitor p21 (WAFl/CIPl) expression. However, the transcriptional factor Sp-l and proliferating cell nuclear antigen (PCNA) protein levels were significantly down-regulated by $\beta-lapachone$ in both cell lines. Moreover, $\beta-lapachone$ treatment caused a dose-dependent inhibition of the expression of telomere regulatory gene products such as human telomere reverse transcriptase (hTERT) and telomerase-associated protein-l (TEP-l). Taken together, these findings suggest that $\beta-lapachone$-induced inhibition of human hepatoma and bladder carcinoma cell proliferation is associated with the induction of apoptotic cell death via modulation of several major growth regulatory gene products, and provide important new insights into the additional mechanisms of the anti-cancer activity of $\beta-lapachone$.

바이어싱을 적용한 Muti-functional 플라즈마 모듈 개발

신정우(J. W. Shin),양병찬(B. C. Yang),이성제(S. Lee),서한결(H, Seo),김근식(K. Kim),김상훈(S. Kim),최학영(H. Choi),안지환(J. An) 한국생산제조학회 2019 한국생산제조시스템학회 학술발표대회 논문집 Vol.2019 No.5