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산의 분포 및 농도가 EUV 리소그래피 공정의 패턴에 미치는 영향: 멀티스케일 전산 모사 연구
박호현(Ho Hyeon Park),김태겸(Tae Gyeom Kim),이형우(Hyung Woo Lee),박성우(Sung Woo Park),김무영(Mu Young Kim),이병훈(Byung Hoon Lee),조맹효(Maeng Hyo Cho) 대한기계학회 2021 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2021 No.8
최근 반도체 소자의 크기가 줄어듦에 따라 기존의 광원보다 더 짧은 파장을 가지는 EUV에 대한 관심이 늘어나고 있다. 하지만 EUV가 가지는 광학적 특성으로 발생하는 스토캐스틱 효과(stochastic effect)는 최종 패턴에 부정적인 영향을 줄 수 있다. 이는 광자의 샷 노이즈(shot-noise)와 이산성 그리고 레지스트 재료의 특성으로 인한 것이며 정확한 예측이 불가능하다. 본 연구에서는 EUV 광자의 스토캐스틱 효과와 레지스트에 포함된 산의 분포 및 농도가 리소그래피 공정의 최종 패턴에 어떤 영향을 미치는지 멀티스케일 시뮬레이션 해석을 통해 정량화하였다. Recently, as the size of semiconductor devices has become smaller, interest in EUV, which has a shorter wavelength than conventional light sources, is increasing. However, stochastic effects due to the optical properties of EUV can negatively affect the final pattern. This is due to the photon’s shot noise, discontinuities and properties of the resist material and cannot be predicted accurately. In this study, the stochastic effect of EUV photons and the effect of acid distribution and concentration in the resist on the final pattern of the lithography process were quantified through multiscale simulation analysis.
제대혈 분리방법의 차이에 따른 단핵구 및 조혈모세포의 수득 효과에 관한 비교연구
박정숙,이영호,최안홍,노신애,김태겸,한진영 대한조혈모세포이식학회 1998 대한조혈모세포이식학회지 Vol.3 No.1
연구배경 : 최근에 보고된 변형적 Ficoll-Hypaque 방법을 이용한 제대혈 분리방법이 지금까지의 고식적 Ficoll-Hypaque 분리방법에 비하여 조혈모세포의 수득효과면에서 얼마나 차이가 있는지 또한 비교적 수득효과가 크다고 알려져 있는 3% gelatin을 이용한 분리방법에 비하여 얼마나 효과적인지를 알아보고, 제대혈 분리방법의 차이에 따라 단핵구와 조혈모세포 사이에 어떤 상관관계가 있는지 알아보기 위하여 본 연구를 시행하였다. 방법: 21명의 건강한 산모로부터 정상 질식 및 제왕절개 분만 후 제대정맥에서 해파린 처리한 주사기를 사용하여 제대혈을 채취하였다 채취한 제대혈은 동일하게 3개월 시험관에 나누어 실온에서 24시간 이내에 고식적 Ficoll-Hypaque분리법, modified Ficoll-Hypaque 분리법, 3% gelatin 분리법을 이용하여 각각 단핵구 분리를 시도하였으며 이들의 단핵구수 및 생존률, CD34 양성세포수, 집락수를 측정 비교 하였다. 또 상관분석을 이용하여 단핵구수, CD34양성세포수와 CFU-GM집락수 사이의 상관관계를 알아보았다. 결과: 1) 세포 생존률은 고식적 Ficoll-Hypaque 분리법, 변형적 Ficoll-Hypaque 분리법, 3% gelatin 분리법 사이레 통계적 차이가 없었다. 2) 단핵구수는 3% gelatin으로 분리했을 때가 4.56±1.86 (×10^(6)/mL)로 수득효과가 가장 높았으며 (P=0.0001), Ficoll-Hypaque으로 분리했을때는 각각 1.54±0.06(×10^(6)/mL), 1.36±0.67(×10^(6)/mL)로서 고식적 방법과 변형적 방법 차이에 통계적 차이가 없었다. 3) CD34 양성세포수는 3%gelatin으로 분리했을 때가 6.08±3.99(×10⁴/mL)로 수득효과가 가장 높았으며 (P=0.0001), Ficoll-Hypaque으로 분리했을 때는 각각 2.18±2.17(×10⁴/mL), 2.24±1.63(×10⁴mL)로서 고식적 방법과 변형적 방법사이에 통계적 차이가 없었다. 4) CFU-GM 집락수는 3% gelatin으로 분리했을 때가 15.72±8.93(×10³/mL)로 수득효과가 가장 높았으며 (P=0.0002), Ficoll-Hypaque으로 분리했을 때는 각각 3.12±1.45(×10³mL), 2.35±0.82(×10³/mL)로서 고식적 방법과 변형적 방법 사이에 통계적 차이가 없었다, 5) 제대혈 고식적 Ficoll-Hypaque 방법으로 분리하였던 경우는 단핵구수와 CFU-GM집락수 사이에 상관관계가 없었으며CD34 양성세포수만 CFU-GM집락수와 상관관계가 있었다. (r=0.57). 또 변형적 Ficoll-Hypaque 방법에 의하여 분리하였던 경우는 단핵구수나 CD34 양성세포수 모두가 CFU-GM 집락수와 상관관계가 없었다. 그러나 제대혈을 3% gelatin법으로 분리하였던 경우는 CFU-GM집락수 가 단핵구수 (r=0.88) 및 CD34양성세포수(r=0.86)양자 모두와 상관관계가 있었다. 결론 : 3%gelatin을 이용하여 제대혈을 분리하는 것이 단핵구 및 조세모세포의 수득효과면에서 가장 효과적이었다. 한편 변형적 Ficoll-Hypaque 분리법이 고식적 Ficoll-Hypaque 분리법보다 시간과 경비면에서 비효율적이면서 수득효과도 높지 못하였다. 또 제대혈 분리법의 차이에 따라 단핵구나 CD34 양성세포와 VFU-GM사이에 상관관계에 차이가 있었으며, 실제로 제대혈이식 후에 생착 여부를 예측할 수 있는 인자가 제대혈 분리법의 차이에 따라 달라지는지에 관해서 보다 많은 임상적 연구가 필요할 것으로 사료된다. Background : Cord blood banking for stem cell transplantation requires volume reduction and red cell depletion for cost effective storage. To determine which technique could minimize the loss of progenitor cells during cord blood processing, we compared the efficacy of cord blood separating methods which were conventional Ficoll-Hypaque method, modified Ficoll-Hypaque method, and 3% gelatin method. Methods : Twenty-one cord blood samples were obtained with heparinized syringes from the umbilical vein following delivery. Three aliquots of each 20mL cord blood were stored at room temperature and processed by 3 different techniques within 24 hours after collection. We compared mononuclear cells(MNCs) counts and their viability, CD34+ cells counts, and CFU-GMs counts and also observed their correlations among three techniques. Results : 1) The yield of MNCs or CD34+ cells was highest in the cord blood processed with 3% gelatin method than conventional or modified Ficoll-Hypaque method(P=0.0001). 2) There were no significant difference in the yield of MNCs and CD34+ cells between conventional and modified Ficoll-Hypaque method. 3) Both MNCs counts (r=0.800) and CD34+ cells counts (r=0.86) were significantly correlated with CFU-GM counts in the cord blood processed with 3% gelatin method. 4) CD34+ cells counts were significantly correlated with CFU-GM counts in the cord blood processed with conventional Ficoll-Hypaque method (r=0.57), but MNC counts were not. 5) Both MNC counts and CD34+ cell counts were not correlated with CFU-GM counts in the cord blood processed with modified Ficoll-Hypaque method. Conclusion : Cord blood separation with 3% gelatin method could provide better yield of progenitor cells than with FICOLL_Hypaque methods. And between two Ficoll-Hypaque methods, modified method is more laborsome but not better in terms of clonogenic potential than conventional method.