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곽문규,정경권,신재호,Kwak Moon-K.,Chung Kyung-Kwon,Shin Jae-Ho 한국공학교육학회 2000 공학교육연구 Vol.3 No.2
This paper is concerned with the development of remote engineering laboratory using the internet. Recently, various virtual laboratories are introduced using the multimedia technologies but the internet laboratory using the real hardware system is not present. In this study, we developed the remote engineering laboratory by combining the GPIB program which controls the hardwares with the web programming which controls the internet. The function generator, LCR meter, and oscilloscope were considered as the measurement devices. The client program includes the user-interface which carry out experiment remotely. Several electrical experiments were set up to verify the experimental process. It has been found that the remote engineering experiments are feasible and valid. The methodologies will be discussed in detail. 본 논문은 인터넷을 이용한 공학 교육의 효과를 높이기 위한 수단으로서 원격 계측 실험실의 구축에 대하여 연구한 결과를 포함하고 있다. 최근에 멀티미디어를 이용한 가상 실험 실습실의 축이 가시화되고 있으나 실제 시스템을 대상으로 한 인터넷 실험 실습실은 널리 보급되고 있지 않다. 본 논문에서는 실험실 자동화를 위하여 사용된 GPIB제어 기술과 인터넷 연결 기술을 결합하여 원격으로 실험 실습이 가능한 시스템을 구축하였다. 함수발생기, LCR미터, 오실로스코우프에 대한 제어 프로그램을 구축하고 몇 가지 전자 회로를 대상으로 실험을 수행해 본 결과 다양한 종류의 실험을 원격으로 수행할 수 있으며 교육 효과 또한 매우 높음을 발견할 수 있었다. 본 연구에서는 원격 계측 실험실 구축과 관련된 기술을 소개하고 문제점을 토의하고자 한다.
롤타입 마스크를 이용한 연속 포토리소그래피 기술과 그 응용
곽문규(Moon Kyu Kwak) 대한기계학회 2012 大韓機械學會論文集B Vol.36 No.10
본 논문에서는 롤타입 마스크를 사용한 마이크로/나노 구조 제작용 광학 리소그래피 방법을 소개한다. 이 생산 방법은 다양한 목표 해상도에 따라 위상지연 리소그래피방법과 포토리소그래피로 나뉜다. 사용되는 빛의 파장대보다 작은 해상도를 갖는 패턴을 제작하기 위해서 실린더 형태의 위상지연 마스크를 활용한 근거리 노광 방식을 사용한다. 또한 필름 형태의 금속 마스크를 써서 포토리소그래피를 연속 방식으로 수행하였는데 이 방식은 실린더 마스크의 회전수를 조절함으로써 노광 결과 패턴의 주기를 실시간으로 조절할 수 있다. 이 기술의 응용으로 금속 그물패턴으로 만들어진 100 ㎟ 넓이의 투명전극을 제작하였다. We report the development of an optical micro-/nanolithography method by using a roll-type mask. It includes phase-shift lithography and photolithography for realizing various target dimensions. For sub-wavelength resolution, a structure is achieved using the near-field exposure of a photoresist through a cylindrical phase-mask, allowing highthroughput continuous patterning. By using a film-type metal mask, continuous photolithography was achieved, and this method could be used to control the period of resultant patterns in real time by changing the rotating speed of the cylinder mask. As an application, we present the fabrication of a transparent electrode in the form of a metallic mesh by using the developed roll-type photolithography process. As a result, a transparent conductor with good properties was achieved by using a recently built cylindrical phase-shift lithography prototype, which was designed for patterning on 100-mm2 substrates.