확산펌프 기반의 BCl<SUB>3</SUB> 축전결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식 식각

이성현,박주홍,노호섭,최경훈,송한정,조관식,이제원,Lee, S.H.,Park, J.H.,Noh, H.S.,Choi, K.H.,Song, H.J.,Cho, G.S.,Lee, J.W. 한국진공학회 2009 Applied Science and Convergence Technology Vol.18 No.4

본 논문은 확산펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3$ 플라즈마를 사용하여 GaAs와 AlGaAs를 건식 식각한 연구에 관한 것이다. 실험에서 사용한 압력 범위는 $50{\sim}180$ mTorr, CCP 파워는 $50{\sim}200\;W$, $BCl_3$ 가스 유량은 $2.5{\sim}10$ sccm 이었다. 식각 후에 GaAs와 AlGaAs의 식각 속도와 표면 거칠기분석은 표면 단차 측정기를 이용하여 하였다. GaAs의 식각 벽면과 표면 상태는 전자현미경으로 분석하였다. 식각 중 플라즈마의 광 특성 분석은 광학 발광 분석기를 이용하였다. 본 실험을 통하여 5 sccm의 소량의 $BCl_3$ 가스 유량으로 공정 압력이 130 mTorr이내인 경우에는, 100 W CCP 파워의 조건에서 GaAs는 약 $0.25{\mu}m$/min 이상의 우수한 식각 속도를 얻을 수 있었다. AlGaAs의 경우는 GaAs의 식각 속도보다 조금 낮았다. 그러나 같은 유량에서 공정압력이 180 mTorr로 높아지면 GaAs와 AlGaAs의 식각 속도가 급격히 감소하여 거의 식각되지 않는 것을 알 수 있었다. 또한 CCP 파워의 경우에는 50 W의 파워에서는 GaAs와 AlGaAs 모두 거의 식각되지 않았다. 그러나 $100{\sim}200\;W$의 조건에서는 $0.3{\mu}m$/min 이상의 높은 식각 속도를 주었다. 두 결과를 보았을 때 축전결합형 $BCl_3$ 플라즈마 식각에서 GaAs와 AlGaAs의 식각 속도는 CCP 파워가 $100{\sim}200\;W$ 범위에 있으면 그 값에 비례하지 않고 거의 일정한 값이 된다는 사실을 알았다. 75mTorr, 100 W의 CCP 파워 조건에서 $BCl_3$의 유량 변화에 따른 GaAs와 AlGaAs의 식각 속도의 경우, $BCl_3$의 유량이 2.5 sccm의 소량일 때는 GaAs는 식각 속도가 높았지만 AlGaAs는 거의 식각되지 않는 흥미로운 결과를 얻었다. 플라즈마 발광 특성을 보면 $BCl_3$ 축전 결합 플라즈마는 주로 $500{\sim}700\;mm$ 범위를 가지는 넓은 분자 피크만 만든다는 것을 알 수 있었다. 전자 현미경 사진 결과에서는 5 sccm과 10 sccm의 $BCl_3$ 플라즈마 모두 식각 중에 GaAs의 벽면을 언더컷팅 하였으며, 10 sccm의 $BCl_3$유량을 사용하였을 때 언더컷팅이 더 심했다. We report the etch characteristics of GaAs and AlGaAs in the diffusion pump-based capacitively coupled $BCl_3$ plasma. Process variables were chamber pressure ($50{\sim}180$ mTorr), CCP power ($50{\sim}200\;W$) and $BCl_3$ gas flow rate ($2.5{\sim}10$ sccm). Surface profilometry was used for etch rate and surface roughness measurement after etching. Scanning electron microscopy was used to analyze the etched sidewall and surface morphology. Optical emission spectroscopy was used in order to characterize the emission peaks of the $BCl_3$ plasma during etching. We have achieved $0.25{\mu}m$/min of GaAs etch rate with only 5 sccm $BCl_3$ flow rate when the chamber pressure was in the range of 50{\sim}130 mTorr. The etch rates of AlGaAs were a little lower than those of GaAs at the conditions. However, the etch rates of GaAs and AlGaAs decreased significantly when the chamber pressure increased to 180 mTorr. GaAs and AlGaAs were not etched with 50 W CCP power. With $100{\sim}200\;W$ CCP power, etch rates of the materials increased over $0.3{\mu}m$/min. It was found that the etch rates of GaAs and AlGaAs were not always proportional to the increase of CCP power. We also found the interesting result that AlGaAs did not etched at 2.5 sccm $BCl_3$ flow rate at 75 mTorr and 100 W CCP power even though it was etched fast like GaAs with more $BCl_3$ gas flow rates. By contrast, GaAs was etched at ${{\sim}}0.3{\mu}m$/min at the 2.5 sccm $BCl_3$ flow rate condition. A broad molecular peak was noticed in the range of $500{\sim}700\;mm$ wavelength during the $BCl_3$ plasma etching. SEM photos showed that 10 sccm $BCl_3$ plama produced more undercutting on GaAs sidewall than 5 sccm $BCl_3$ plasma.

3D Cell Printing of Pre-vascularized Adipose Tissue Assembly: a New Strategy for Large-volume Soft Tissue Regeneration

W. W. Cho(조원우),M. J. Ahn(안민준),D. W. Cho(조동우) Korean Society for Precision Engineering 2019 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2019 No.5월

용융철중의 텅스텐의 거동

이계완,조정완,김길무 대한금속재료학회(대한금속학회) 1972 대한금속·재료학회지 Vol.10 No.1

CO·CO₂가스 분위기하에서의 Fe-W 용융체에 대한 슬래그-용강간의 반응을 1,650℃ 및 1,750℃에서 검토하였다. Pco/Pco₂=5.0 이상에서 텅스텐의 슬래그-용강간의 분포, [W]/(WO₃)는 다음 반응평형에 따라 결정된다. (WO₃)+3[Fe]=[W]+3(FeO) log K_f=-22,300/T+10.66 슬래그-용강간의 반응에 대한 평형항수, K_f는 1,650℃의 경우 Pco/Pco₂=3.3이하에서 점차로 감소하고, 1,750℃의 경우는 Pco/Pco₂=5.0 이하에서 급격히 감소한다. 슬래그상중의 (FeO)함량은 Pco/Pco₂가 감소함에 따라 다음 반응에 의하여 증가한다. [Fe]+CO₂=(FeO)+CO 공기중에서 용해할 때 슬래그-용강간의 반응을 다음과 같이 추정하였다. (WO₃)+2.5[Fe]=[W]+2.5(FeO_(1.2)) log K_i=-14,288/T+6.31 Slag-metal reactions for iron-tungsten melts under CO·CO₂ gas atmosphere are investigated at 1,650℃ and 1,750℃. When Pco/Pco₂ is more than 5.0, slag-metal distributions of tungsten, [W]/(WO₃), can be determined by the following reaction equilibriclm. (WO₃)+3[Fe]=[W]+3(FeO) log K_f=-22,300/T+10.66 The equilibrium constant, K_f, for the slag-metal reaction slightly decreases when Pco/Pco₂ is less than 3.3 at 1,650℃, and suddenly decreases below Pco/Pco₂=5.0 at 1,750℃. (FeO) contents of slag phase increase, as Pco/Pco₂ decrease according to the following reaction, [Fe]+CO₂=(FeO)+CO, An estimation for slag-metal reactions on open melting is as follows; (WO₃)+2.5[Fe]=[W]+2.5(FeO_(1.2)) log K_i=-14,288/T+6.31

공작기계용 개방형 HMI Platform 기반 사용자 라이브러리 운용, 관리 모듈 설계

손진호(J. Sohn),조정훈(J. H. Cho),이학철(H. C. Lee),정태근(T. K. Jung),이경태(K. T. Lee),박진욱(J. W. Park),나수인(S. I. Na) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.11월

공작기계용 개방형 HMI Platform 은 하나의 단일 S/W Application 으로 구성되는 기존의 일반적인 HMI 시스템과 달리, 새로운 S/W Application 을 설치하거나, 기존 Application 이나 기능 혹은 모듈을 삭제할 수 있어 개별 생산 제조 현장에 최적화된 공작기계 사용 환경을 구성할 수 있다. 또한, 단위 기능이나 모듈을 라이브러리 형태로 만들고 이를 설치하여 다른 App 들이 공용으로 사용할 수 있는 기능을 제공할 수 있도록 지원한다. 이를 위해 공작기계용 개방형 HMI Platform 은 사용자 라이브러리를 설치 및 삭제할 수 있는 기능을 제공하며, 일관된 인터페이스와 데이터 교환 모델을 통해 손쉽게 주요 정보를 교환하고 이를 처리한 결과를 수용할 수 있도록 지원한다. 이 뿐만 아니라, 라이선스 관리 기능을 함께 제공하여 라이브러리에 대한 접근 권한 관리 기능도 지원한다. S/W Application 을 자유롭게 설치. 삭제할 수 있도록 함으로써 HMI 사용환경을 최적화할 수 있는 것과 마찬가지로 라이브러리를 설치 삭제함으로써 단위 App 의 기능을 확장하거나 최적화할 수 있게 지원하여 공작기계 HMI 환경을 좀 더 세밀하게 최적화 할 수 있는 수단을 제공한다 또한 각종 App 들이 공통으로 사용할 수 있는 필수 기능들을 라이브러리 형태로 제공함에 따라 공작기계용 S/W Application 개발을 활성화할 수 있으며, 라이선스 관리 기능 지원을 통해 라이브러리를 통한 과금 정책 운영의 수단을 제공함으로써 개방형 HMI 플랫폼 기반 소프트웨어 생태계 조성의 기반을 갖추게 된다.

W 강에 형성된 탄화물의 Ostwald Ripening 에 대한 정량조직학적 분석

이상윤,김한군,김진원 대한금속재료학회(대한금속학회) 1987 대한금속·재료학회지 Vol.25 No.6

The Ostwald ripening behaivor of carbide particles precipitated in 1-3% W steels at a temperature range from 660℃ to 700℃ has been investigated by using various quantitative metallographic examinations. The value for the slope of each straight line obtained from the relation between the log of the average particle size and the spheroidizing time is approximately 0.27 which indicates that the growth of precipitate particles in tungsten steels is mainly governed by the mechanism of non-volume diffusion. An average activation energy of 69.6 Kcal/mole for W steels was found, which was interpreted as an indication of the interdiffusion mechanism of Fe, C and W in steel. As the spheroidizing time increases, the carbides formed in the tungsten steel with an atomic ratio of 0.12 become a mixture of Fe₃C and WC. In the carte of tungsten steels with an atomic ratio of 0.25 and 0.36 respectively, however, the final stable carbide mixtures of Fe₃C and WC and formed after an intermediate stage where the semi-stable carbides of Fe₄W₂C and Fe_(21)W₂C type are coarsened.

모듈화 구조 모바일 하버의 구성을 위한 셔틀 모듈의 개념 설계에 관한 연구

조성욱(S.W. Cho),최영(Y. Choi),양상욱(S.W. Yang),김승욱(S.W. Kim),성문현(M.H. Seong),정창교(C.K. Jung),이건우(K.W. Lee) (사)한국CDE학회 2010 한국 CAD/CAM 학회 학술발표회 논문집 Vol.2010 No.1

Mobile harbor system is a new concept of the system for harbor loading and unloading operation at open sea. This new concept is being developed as an alternative plan for harbor loading and unloading operations instead of expanding capacity of existing quay or new construction of quay. Lack of proper coastal lines for building new quays and increasing environmental concerns justify the open sea loading and unloading of containers to and from containerships. Current approaches, which are still in the stages of idea conception, are divided in two directions. The first is the idea of building a unified vessel that has cranes and container barge in a single unit. The second idea is separating crane vessel and container transport vessel as separate modules, thus called as modular mobile harbor system. This paper describes the issues related to the container transport vessel, which we call shuttle module, that is designed for receiving containers from the crane module, transporting container to the quay, and unloading at the quay. The reverse operations are considered in the design of the shuttle module as well. Important issues related to the design of shuttle module are discussed and initial concept design is proposed in the paper.

Herbicidal efficacy of Streptomyces formicae strain W-200 for the biocontrol of invasive weeds

B. B. Aung,K. M. Cho,J. S. Choi,K. W. Park 한국잡초학회 2021 한국잡초학회 별책(학술대회 초록집) Vol.41 No.1

Chemical herbicides are primarily used to control of invasive weeds. However, chemical herbicides pose to environmental problems, can persist in soil, and are related to weed resistance. Furthermore, invasive weeds are generally managed physical control such as cutting in Korea. There is a limit to physical control because the invasive weeds are highly regenerative. Secondary metabolites produced by microorganisms cause phytotoxic symptoms such as necrosis, chlorosis, deformation, and stunting on the plant. Therefore, this study aimed to investigate the herbicidal activity of Streptomyces formicae strain W-200 culture filtrate against the growth stages of three invasive weeds: Sicyos angulatus, Ambrosia trifida, and Ambrosia artemisiifolia. In case of soil application for the seed growth, culture filtrate of S. formicae stain W-200 were observed against S. angulatus, A. trifida, and A. artemisiifolia. Form the results, it can be seen that the higher concentrations the greater inhibition. The highest seed growth inhibition was found on A. artemisiifolia at 75% and 100% culture filtrate concentrations. S. angulatus did not showed highly differences compared to untreated control by percentage of seed germination. However, though some seeds still germinated at low concentrations, the roots and shoots were substantially shorter than untreated control plant. In the foliage application on the different growth stages, the highest herbicidal activity (85-100%) was observed at 2-3 leaf stages of treated weeds. The control efficacy of S. formicae strain W-200 declined as growth stages of plants increased. In the middle and late leaf stages, the control efficacy of Streptomyces was lower than 85% and 50% in all concentrations. In addition, the greenhouse trials showed that A. artemisiifolia has higher susceptibility to culture filtrate of S. formicae strain W-200 than S. angulatus and A. trifida in all concentrations at different leaf stages. As the results of herbicidal activity in foliage application, the results were showing the culture filtrate of S. formiace strain W-200 has potential as a bio-herbicidal agent against the A. artemisiifolia especially in early leaf stage of plant growth.

In-bath 3D Cell Printing of Metastatic Melanoma Model for Studying Blood and Lymphatic Vessel Invasion

W.-W. Cho(조원우),M. Ahn(안민준),B. S. Kim(김병수),D.-W. Cho(조동우) Korean Society for Precision Engineering 2022 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2022 No.10

LIGA-like 공정을 이용한 마이크로 부품 복제용 Ni과 Ni-W 금형 제조 및 특성

황완식,박준식,강영철,조진우,박순섭,이인규,강성군,Hwang, W.S.,Park, J.S.,Kang, Y.C.,Cho, J.W.,Park, S.S.,Lee, I.G.,Kang, S.G. 한국재료학회 2003 한국재료학회지 Vol.13 No.1

Electroplated Ni and Ni-W micro-molds using LIGA-like process for replication of micro-components such as microfluidic parts and micro optical parts have been investigated. In general, it is hard to produce micro-parts using conventional mechanical processes. Micro-mold formed by LIGA-like process could fabricate micro-parts with high aspect ratio. In this paper, fabrication and properties of electroplated Ni molds with varying applied current types as well as those of Ni-W molds were investigated. Ni molds fabricated under pulse-reverse current showed the highest hardness value of about 160 Hv. Ni-W molds showed the hardness of about 500 Hv which was much harder than that of Ni electroplated molds. The above results suggested that high quality micro-molds could be fabricated by using Ni electroplating of pulse-reverse type for core molds and sequential Ni-W alloys coating.

완전 이식형 인공중이용 마이크로폰의 위치 결정을 위한 물리적 귀 모델의 구현

김동욱(D. W. Kim),성기웅(K. W. Seong),임형규(H. K. Lim),김민우(M. W. Kim),정의성(E. S. Jung),이장우(J. W. Lee),이명원(M. W. Lee),이정현(J. H. Lee),김명남(M. N. Kim),조진호(J. H. Cho) 한국재활복지공학회 2009 재활복지공학회논문지 Vol.2 No.1

일반적으로, 완전 이식형 인공중이의 이식형 마이크로폰은 측두골 부근에 이식되어진다. 이 경우, 마이크로폰의 진동막이 외부 충격이나 생체 노이즈의 영향 받을 수 있으며 이런 문제를 해결하기 위하여 이식용 마이크로폰을 외이도 내에 이식하는 방법을 고려할 수 있다. 그러나 이소골에 이식된 진동 트랜스듀서에 의해서 고막으로부터 외이도 방향으로 음향 반향이 발생할 가능성이 있다. 본 논문에서는 사람의 귀와 유사한 특성을 가지는 귀 모델을 제작하여 프로브 마이크로폰의 위치를 변경해가며 외이도의 음향 반향을 측정하였고 실험결과를 통하여 외이도 내에서의 마이크로폰의 이식 위치를 추정해 보았다. 분석 결과 외이도에 마이크로폰을 이식할 경우 고막에서 멀어질수록 반향 신호가 감소함을 확인할 수는 있었으나, 반향 신호를 완전히 제거할 수 없기 때문에 외이도에 마이크로폰을 이식하기에는 부적합한 것으로 예상된다. Generally, implantable microphone has been implanted in the temporal bone for implantable middle ear hearing devices (IMEHDs). In this case, the microphone"s membrane can be damaged and can be generated biological noise. In order to overcome the these problems, the location of implanted microphone should be changed. As an alternative, the microphone can be implanted in the external auditory canal. However, the sound emission can be produced because of vibration transducer toward reverse direction from the tympanic membrane to the external auditory canal. In this paper, an amount of the emitted sound is measured using a probe microphone as the changing the position of microphone in the external auditory canal of a physical ear model, which is similar to acoustical and vibratory properties of the human ear. Through the measured value, the location of the microphone was assumed in the external auditory canal. According to the analysis, the microphone input sound can be decreased when microphone position become more distance from the tympanic membrane in the auditory canal. However, the external auditory canal is not appropriated to implantable microphone position, because sound emission is not completely eliminated.