FBAR 소자제작을 위한 ZnO 박막 증착 및 특성

신영화,권상직,김형준,Shin, Young-Hwa,Kwon, Sang-Jik,Kim, Hyung-Jun 한국전기전자재료학회 2005 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.2

This paper gives characterization of ZnO thin film deposited by RF magnetron sputtering method, which is concerned in deposition process and device fabrication process, to fabricate solidly mounted resonator(SMR)-type film bulk acoustic resonator(FBAR). A piezoelectric layer of 1.1${\mu}{\textrm}{m}$ thick ZnO thin films were grown on thermally oxidized SiO$_2$(3000 $\AA$)/Si substrate layers by RF magnetron sputtering at the room temperature. The highly c-axis oriented ZnO thin film was obtained at the conditions of 265 W of RF power, 10 mtorr of working pressure, and 50/50 of Ar/O$_2$ gas ratio. The piezoelectric-active area was 50 ${\mu}{\textrm}{m}$${\times}$50${\mu}{\textrm}{m}$, and the thickness of ZnO film and Al-3 % Cu electrode were 1.4 ${\mu}{\textrm}{m}$ and 180${\mu}{\textrm}{m}$, respectively. Its series and parallel frequencies appeared at 2.128 and 2.151 GHz, respectively, and the qualify factor of the resonator was as high as 401.8$\pm$8.5.

ALD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자의 ZnO 박막증착 및 특성

신영화,권상직,윤영수,Shin, Young-Hwa,Kwon, Sang-Jik,Yoon, Young-Soo 한국전기전자재료학회 2005 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.2

Piezoelectric ZnO thin films were for the first time formed on SiO$_2$/Si(100) substrate using 2-step deposition, atomic layer deposition(ALD) and RF magnetron sputtering deposition, for film bulk acoustic resonator(FBAR) applications. The ZnO buffer layer by ALD was deposited using alternating diethyl zinc(DEZn)/$H_2O$ exposures and ultrahigh purity argon gas for purging. The ZnO films by 2-step deposition revealed stronger c-axis-preferred orientation and smoother surface than those by the conventional RF sputtering method. The solidly mounted resonator(SMR)-typed FBAR fabricated by using 2-step deposition method revealed higher quality factor of 580 and lower return loss of -17.35dB. Therefore the 2-step deposition method in this study could be applied to the FBAR device fabrication.

여성사 교육, 왜 무엇을 가르칠 것인가

辛英和(Shin Young-Hwa) 역사교육연구회 2002 역사교육 Vol.81 No.-

Recent discourses on history teaching have focused on the importance of the nature of history. Their views were within the limits of traditional assumptions of the discipline, such as fact-discovering work, positivistic methodology, and objective truth seeking. The social contexts of producing historical knowledge have been overlooked in the field so far. But the interpretations of the past vary subjected to present ideological positions, and history teachers should reveal the very context of the history they are dealing with. Writing feminist history divulges and also embodies the ideological nature of historical knowledge, for it"s based on feminist critiques and visions. Feminist history challenges the objectivity and neutrality claims of the traditional historical scholarship, in attempts to disclose its ideological exclusion of women from history. Contesting the existing frameworks and conceptualizations, feminist history pursues a new general history from the feminist perspective, through "gender" as a primary category of critical analysis. Gender history points to gender acting on social and symbolic institutions in various historical contexts, even within the historiography. With gender, we are able to examine the changing meanings of sexual difference and femininity/masculinity as social constructions, and also gendered identities structured through language. Feminist history teaching shares the basic features with the gender history, ultimately envisioning the gender-eqaul society through teaching activities. By searching for the construction of gender and gender identities in specific historical contexts, students can be more sensitive to the ways that meanings, past and present, are assigned to their sexaul identities as well as in which these meanings change. More over, they can be offered the possibilities of empowerment for more gender-equal future. When a feminist teacher tries to organize her/his content knowledge in terms of gender history, one should consider the existing history curriculum first, of which the framework follows the male-centered traditional historical conventions. The attempts to incorporate content knowledge of feminist history in the existing history curriculum can be grouped in two ways. One is synthesizing, the other including. Although both deserve their own merits, they cannot transcend the frameworks and assumptions of existing curriculum. Hence, the need to find some original ways of constructing content knowledge proper to feminist history teaching, along with sharing the necessity of feminst approaches in history teaching and learning.

발목 관절 근육 피로와 피로 유발 방법이 외발서기 자세제어에 미치는 영향

신영화 ( Young Hwa Shin ),염창홍 ( Chang Hong Youm ) 大韓舞踊學會 2013 대한무용학회논문집 Vol.71 No.3

이 연구의 목적은 등속성 동력계를 이용하여 발목 관절 근육 피로와 피로 유발 방법이 건강한 성인 여성의 외발서기 자세제어 능력에 어떠한 영향을 미치는지 알아보고자 하는 것이었다. 전후 요인 결과, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s 내에서는 피로 후 압력중심점 전후rms 거리(17.3%), 질량중심점 전후속도(8.0%), 질량중심점 전후rms거리(19.7%)가 유의하게 증가하였으나, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 120°/s 내에서는 피로 후 모든 변수에서 유의한 차이가 나타나지 않았다. 또한 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s와 120°/s 간에서는 모든 변수에서 유의한 차이가 나타나지 않았다. 따라서 피로 유발 방법 간에는 차이가 없는 것으로 판단된다. 그러나 이 연구의 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s에서 최대 저측굴곡 토크 50% 이하의 발목 관절 근육 피로는 외발서기 시 전후 방향의 자세제어 능력 감소에 영향을 미치는 것으로 판단된다. 좌우 요인 결과, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s 내에서는 피로 후 압력중심점 좌우rms 거리(8.1%)와 질량중심점 좌우속도(25.8%)가 유의하게 증가하였으나, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 120°/s 내에서는 피로 후 모든 변수에서 유의한 차이가 나타나지 않았다. 그리고 피로 유발 방법 간에서는 저측굴곡·배측굴곡 각속도 120°/s와 30°/s에서는 압력중심점 좌우rms 거리와 질량중심점 좌우속도에서 유의한 차이가 나타났다. 이러한 결과는 저측굴곡·배측굴곡 각속도 120°/s에서는 압력중심점 좌우rms거리와 질량중심점 좌우속도가 감소하는 경향이 나타났으나, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s에서는 압력중심점 좌우rms거리와 질량중심점 좌우속도가 증가하는 경향이 나타난 결과에 의한 것으로 판단된다. 그리고 이 연구의 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s에서 최대 저측굴곡 토크 50% 이하의 발목 관절 근육 피로는 외발서기 시 좌우 방향의 자세제어 능력 감소에 영향을 미치는 것으로 판단된다. Lundin et al.(1993)은 건강한 남자 8명을 대상으로 저측굴곡근과 배측굴곡근 피로 후 외발서기 자세제어 변화를 연구하였다. 그결과, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s의 고강도 단 시간 피로는 좌우 동요는 유의한 증가가 나타났으나, 전후 동요는 유의한 차이는 나타나지는 않았다고 보고하였다. Yaggie & McGregor(2002)는 건강한 남자 24명을 대상으로 저측굴곡·배측굴곡 각속도 60°/s에서 최대 저측굴곡 토크 50% 피로 후 외발서기 자세제어 변화를 연구하였는데, 외발서기 시 압력중심점의 전후·좌우 요인에서 유의한 차이가 나타났다고 보고하였다. Gribble & Hertel(2004a)은 성인 13명(여 9명, 남 4명)을 대상으로 저측굴곡·배측굴곡 각속도 60°/s에서 최대 저측굴곡 토크 50% 피로 후 외발서기 자세제어 변화를 연구하였는데, 압력중심점 좌우 요인은 유의한 차이가 나타나지 않았으나, 전후 요인은 유의한 차이가 나타났다고 보고하였다. Boyas et al.(2011)은 성인 16명(남 8명, 여 8명)을 대상으로 저측굴곡 각속도 30°/s 피로 유발, 배측굴곡 각속도 120°/s 피로 유발, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30·120°/s 동시 피로 유발에 따른 세 가지 피로 유발 방법이 자세제어에 미치는 영향을 알아보고자 하였으며, 피로 수준은 최대 토크의 50%로 하였다. 그 결과 눈뜨고 외발서기 시 자세제어 능력의 변화는 나타나지 않았다고 하였다. 위에서 살펴본 선행연구 결과에서 다소 차이가 있음을 알 수 있다. 이러한 이유는 직립서기 시 신체동요를 제어하는 전략에는 발목 관절 전략과 엉덩 관절 전략이 있는데(Winter, 1995), 발목 관절 전략은 비교적 적은 동요가 발생되었을 때 발목 관절 움직임을 주로 하여 자세를 제어하는 전략으로 압력중심점 궤적 분석이 권장되나, 동요로 인하여 큰 신체 움직임이 발생되었을 때 발목 관절 운동에 의한 제어가 충분하지 않다면, 발목 관절과 엉덩 관절의 움직임이 동시에 일어나게 되며, 이러한 경우 압력중심 궤적의 분석에만 의존하는 것은 제어 능력 결함이나 정보의 해석에 오류가 발생될 수 있다는 것이다(Adlerton et al., 2003). 따라서 이 연구 결과에서 나타난 바와 같이 압력중심점과 질량중심점 변수들의 유의한 증가는 피로에 따른 효과인 것으로 판단되며, 이러한 발목 관절 피로는 자세제어 전략의 변화를 초래하는 것으로 여겨진다. 그리고 최근 보고된 연구에 의하면, 발목 관절 근육 피로시 발목 관절의 고유수용성 감각 손상으로 인하여 발목 관절 제어는 감소되고, 엉덩 관절 제어는 증가된다고 하였다(Bisson et al., 2011; Riemann, Myers, & Lephart, 2003). 근피로는 신경전달 속도를 감소시키기 때문에 신경근 제어 및 관절 위치의 큰 변화에 대응하는 부전에 의한 관절 주변의 효율적인 보상 수축을 만들어내는 능력이 감소된다(Gribble & Hertel, 2004a). 그 결과 관절의 고유수용성 감각 저하, 하지의 신경근 제어 손상, 관절의 위치 감각 감소를 초래하게 되며 이는 자세제어 능력의 감소로 연결된다(Gribble & Hertel, 2004a; Kazutomo et al., 2004; Yaggie & McGregor, 2002). 또한 각 관절에서 자세 동요가 일어나면, 피로는 동요에 반응하는 관절 주변 근육의 활동을 억제하는 것으로 여겨진다(Gribble & Hertel, 2004a). 따라서 피로 하지 않은 근육의 움직임을 통해 자세제어가 이루어지게 되며, 이러한 결과는 자세제어 전략의 변화를 초래하게 된다. 위에서 살펴본 선행연구 결과에서 차이는 시각 정보가 피로로 인하여 손상된 자세제어 능력을 보상할 수 있다는 이론을 통해서 설명할 수 있다(Bisson, Choprab, Azzi, Morgan, & Bilodeau, 2010). 이러한 시각의 보상 결과는 자세제어 전략의 변화로 연결되며, 시각정보가 차단되면 자세제어 전략의 변화는 나타나지 않게 된다(Bisson et al., 2011). 따라서 이 연구와 같이 피로 효과로 인한 자세제어 능력 평가를 위한 연구에서는 시각정보 차단을 통한 연구 설계가 바람직한 것으로 판단된다. 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s와 120°/s는 고강도 단시간 운동 형태와 저강도 장시간 운동 형태로 근기능 관련 연구에 흔히 이용되고 있다(Gerodimos et al., 2003; Oliveira et al., 2009). 이 연구 결과, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s와 120°/s간 전후 요인에서는 유의한 차이가 나타나지 않았으나, 좌우 요인에서의 유의한 차이가 나타났으며, 저측굴곡·배측굴곡 각속도 30°/s를 이용한 피로는 전후·좌우 요인 모두에서 유의한 차이가 나타났다. 이러한 결과는 고강도 단시간 운동 형태의 피로 유발이 저강도 장시간 운동 형태의 피로 유발 보다 외발서기 자세제어 능력을 보다 크게 감소시키는 것으로 판단된다. Garrandes, Colson, Pensini, Seynnes, & Legros(2007)은 지구력능력이 발달된 선수 14명과 순발력능력이 발달된 선수 7명을 대상으로 신경근 피로 형태를 알아본 결과, 경험한 트레이닝 속성과 근 수축 형태에 따라 차이가 나타났다고 보고하였다. 그리고 고강도 단시간의 운동 형태는 근피로 유발에 보다 크게 기여하는 것으로 보고하였다. 이와 같이 근수축 형태에 따른 피로 특성에 대한 이해와 근수축 형태와 피로 수준과의 관계를 이해하고 파악하는 것은 운동 수행 중 피로로 인해 발생되는 손상 및 수행력 감소 시점을 결정할 수 있으며, 선수 교체 시점 파악을 통한 선수 보호 및 상해 예방에도 도움이 될 것으로 판단된다. 또한 이러한 정보는 상해 예방 및 재활 프로그램 개발을 위한 기초자료가 될 것으로 판단된다. The purpose of this study was to investigate the effects of muscle fatigue on the fatigue protocols of postural control during single-leg stance. In summary, during high-intensity, short-duration exercise involving plantar and dorsiflexion at an angular velocity of 30°/s, fatigue at 50% of the maximum plantar flexion torque might result in reduced single-leg stance postural control. High-intensity, short-duration exercise with the plantar and dorsiflexion fatigue protocol at an angular velocity of 30°/s may be a determining factor for postural control impairment during single-leg stance compared to long-duration, low-intensity exercise with the fatigue protocol at an angular velocity of 120 °/s.

아동학대 위기 가족에 대한 이야기치료 접근의 사례연구

신영화(Young Hwa Shin) 한국가족치료학회 2020 가족과 가족치료 Vol.28 No.4

본 연구의 목적은 아동학대 위기에 처한 가족에 대한 이야기치료 접근의 사례연구에 의해 이야기치료의 과정과 결과가 어떠한지를 밝히고자 하는 것이다. 이야기치료는 11세 아들에 대한 아동학대 문제를 호소하는 한부모 어머니와 함께 한 10회기 면담으로 이루어졌다. 연구목적을 위해 이야기치료 개입 과정과 결과를 질적으로 분석하여 이야기치료 대화 지도와 표로 도식화하였다. 외재화 대화를 통해 한부모 어머니는 한부모가족에 대한 담론과 정체성을 해체하였고, 독특한 결과 대화를 통해 아들과 어머니 자신에 대한 대안적 이야기를 재구성하였다. 또한 다시쓰기 대화, 회원재구성, 정의예식을 통해 정체성을 재구성하였고 선호하는 대안적 이야기를 풍부하게 구성하였으며 가족의 사회심리적 지지체계를 확대하였다. 결론적으로 이야기치료는 아동학대의 중단과 가족관계의 향상에 효과적이고, 정체성 재구성과 대안적 이야기 다시쓰기에 효과적이며, 한부모 어머니의 정체성이 사회적으로 인정받고 힘을 갖는데 효과적인 것으로 나타났다. Objectives: This case study aims to understand how narrative therapy is applied to counseling sessions with a family at risk for child abuse. Methods: The narrative therapy was practiced in ten sessions of interviews with a single mom who is suffering from guilty conscience about abusing her 11-year-old son. The session transcripts and all therapeutic documents were analyzed qualitatively, and information is systematically organized according to a narrative therapy map and chart. Results: Through externalizing conversation, the single mom deconstructed her social discourse and identity of the single-family. She thereby discovered the alternative narrative of her son and herself through the conversation of unique outcomes. In addition, the alternative identity was reconstructed through re-authoring and re-membering conversations, definitional ceremony, and the family s social support system was expanded. Conclusions: Narrative therapy effectively stopped child abuse and improving family relationships. This was achieved by constructing and empowering an alternative narrative and identity in the community.

이혼 전 상담에 대한 탐색적 연구

신영화(Shin Young-Hwa) 비판과 대안을 위한 사회복지학회 2005 비판사회정책 Vol.- No.21

이 연구는 이혼 전 상담에 대한 탐색적 연구이다. 연구문제는 이혼 전 상담에 대하여 어떻게 규정할 것인가, 그 목적과 내용은 무엇인가, 전문가는 어떤 관점을 견지해야 하는가 그리고 이혼전 상담의 실제는 어떠한 가 등이다. 연구결과를 요약하면 이혼 전 상담은 이혼 전 의사결정단계와 이혼재구성단계를 경험하는 부부를 대상으로 한 상담이며, 결혼관계에 대한 개인과 부부의 욕구와 기대를 다루고 이혼과 관련된 부정적인 감정, 자녀양육문제, 경제적 문제, 법적 절차 등의 제반사항을 다루는 것이다. 이혼 전 상담을 제공하는 전문가는 내담자 중심 원리 및 결혼과 이혼에 관한 성인지적 관점을 가져야 하며 남편과 아내에게 동등하게 초점을 두고 중립을 지키는 것이 중요하다. 또한 두 편의 실제 사례연구의 분석을 통하여 부부면접의 중요성과 결혼관계 및 이혼 고려에 대한사정이 중요함을 발견하였으며, 결론적으로 실천적 측면에서 제언을 제시하였다. This study is the exploratory study of pre-divorce counseling. The questions are about the concept, goal and contents of pre -divorce counseling, the perspectives of practitioner, and the examination on case studies of pre-divorce counseling. The pre-divorce counseling treat coulpes who go through process of the before devorce stage and the devorce reorganization stage. Gender Awareness is deserves special emphasis in A clinical profession. A clinical profession is focused to wife and husband equally and adhere to neutrality. In review of Case studies, it is suggested that couple interview and the assessment of marital relationship and divorce consideration are important. At the conclusion, several suggestions are offered for the pre-divorce counseling.

발의 유형과 발목 관절 피로 수준이 외발서기 시 압력중심점과 질량중심점 궤적에 미치는 영향

신영화 ( Young Hwa Shin ),염창홍 ( Chang Hong Youm ),손민지 ( Min Ji Son ) 한국운동역학회 2013 한국운동역학회지 Vol.23 No.4

The purpose of this study was to investigate the effects of foot type and ankle joint fatigue levels on the trajectories of center of pressure and center of mass during a single-leg stance. The study subjects included 24 healthy women (normal foot group, n=10; pronated foot group, n=14). Ankle joint muscle fatigue was induced by using an isokinetic dynamometer, where the fatigue levels were measured on plantar flexion and dorsiflexion at angular velocities of 30°/s at 50% and 30% of the peak torque of ankle plantar flexion. Following assessments in the anteroposterior direction according to the level of fatigue, the pronated foot group showed decreased single-leg stance ability at 50% and 30% of the fatigue level. Moreover, the normal foot group showed better singleleg stance ability than the pronated foot group at 30% of the fatigue level. Following assessments in the mediolateral direction, we noted that the single-leg stance ability did not differ significantly according to the levels of fatigue or foot type. In conclusion, ankle plantar flexion at 50% and 30% of the peak torque reduced the ability of the pronated foot group to achieve a single leg stance in the anteroposterior direction. Moreover, the normal foot group showed better single-leg stance ability than the pronated foot group.

청소년의 임파워먼트에 영향을 미치는 요인

남궁은숙(Eun Sook Namgoong),신영화(Young Hwa Shin) 한국아동복지학회 2011 한국아동복지학 Vol.- No.34

본 연구는 청소년의 임파워먼트에 영향을 미치는 요인이 무엇인지 밝히기 위해 전북지역 전주시, 익산시, 군산시 내의 각각 2개 학교, 총 6개 중학교에 다니는 2학년 396명을 대상으로 조사하였다. 연구 결과 인구사회학적 특성 중 경제수준, 학교성적이 높을수록, 종교가 있는 경우 전체 임파워먼트가 높았다. 개인요인(자아존중감), 가족환경요인(가족지지), 학교환경요인 (친구 지지, 교사지지, 교과과정 외 프로그램 참여개수), 사회환경요인(다른성인 지지, 조직참여정도)이 각각 임파워먼트 하위요인(개인내적, 대인관계, 정치사회 임파워먼트)에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 개인내적 임파워먼트에 대한 영향력은 자아존중감, 다른 성인지지, 친구지지, 경제수준, 조직참여정도 순이었다. 대인관계 임파워먼트에 대한 영향력은 자아존중감, 친구지지, 다른 성인지지, 가족지지, 교사지지, 성적 순이었다. 정치사회 임파워먼트에 대한 영향력은 자아존중감, 경제수준, 조직참여정도, 교과과정외 프로그램 참여 개수 순이었다. 전체 임파워먼트에 대한 영향력은 자아존중감, 친구지지, 다른 성인지지, 경제수준, 조직참여정도, 가족지지, 교사지지 순이었다. 자아존중감이 청소년 임파워먼트에 가장 큰 영향 요인으로 나타났으며 친구지지, 다른 성인지지 외 여러 요인이 영향을 주는 것으로 밝혀졌다. 연구 결과를 토대로 청소년 임파워먼트 향상을 위한 생태체계요인에 대한 다면적인 사회복지실천 개입 필요성 및 방안을 제시하였다. This study was conducted using survey results from 396 second grade middle school students from six schools in Jeon-Ju city, Ik-San city, and Gun-San city, Jeollabuk-do(two schools from each city). The aim of this study is to identify factors affecting the empowerment of adolescents. The research found that, among demographic characteristics, household economic level, grades and religion have positive impacts on empowerment. Also, it is shown that individual factor(self-esteem), family environmental factor(familysupport), school environmental factor(peer support, teacher support, the number of extra-curricular program participation), and social environmental factor(other adult support, degree of participation in social organization) influence subdomains of empowerment (intrapersonal, interpersonal, sociopolitical empowerment). Intrapersonal empowerment is influenced by self-esteem, other adult support, peer support, household economic level, and degree of participation in social organization. Interpersonal empowerment is influenced by self-esteem, peer support, other adult support, family support, teacher support, and grades. Sociopolitical empowerment is influenced by self-esteem, household economic level, degree of participation in social organization, and the number of extra-curricular program participation. The whole empowerment is influenced by self-esteem, peer support, other adult support, household economic level, degree of participation in social organization, family support, and teacher support. Especially, self-esteem appeared to have the strongest influence on adolescent empowerment, and it seemed that peer support, other adult support and other several factors are significant influential factors. This study suggested the necessity and ways of multilateral social welfare practice for the improvement of adolescent empowerment based on the research result.

$RuO_2$박막의 미세 구조가 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 특성에 미치는 영향

김한기,윤영수,임재홍,조원일,성태연,신영화,Kim, Han-Ki,Yoon, Young-Soo,Lim, Jae-Hong,Cho, Won-Il,Seong, Tae-Yeon,Shin, Young-Hwa 한국재료학회 2001 한국재료학회지 Vol.11 No.8

All solid-state thin film micro supercapacitor, which consists of $RuO_2$/LiPON/$RuO_2$ multi layer structure, was fabricated on Pt/Ti/Si substrate using a $RuO_2$ electrode. Bottom $RuO_2$ electrode was grown by dc reactive sputtering system with increasing $O_2/[Ar+O_2]$ ratio at room temperature, and a LiPON electrolyte film was subsequently deposited on the bottom $RuO_2$ electrode at pure nitrogen ambient by rf reactive sputtering system. Room temperature charge-discharge measurements based on a symmetric $RuO_2$/LiPON/$RuO_2$ structure clearly demonstrates the cyclibility dependence on the microstructure of the $RuO_2$ electrode. Using both glancing angle x-ray diffraction (GXRD) and transmission electron microscopy (TEM) analysis, it was found that the microstructure of the $RuO_2$ electrode was dependent on the oxygen flow ratio. In addition, x- ray photoelectron spectroscopy(XPS) examination shows that the Ru-O binding energy is affected by increasing oxygen flow ratio. Furthermore, TEM and AES depth profile analysis after cycling demonstrates that the interface layer formed by interfacial reaction between LiPON and $RuO_2$ act as a main factor in the degradation of the cyclibility of the thin film micro-supercapacitor. $RuO_2$ 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판 위에 $RuO_2$ /LiPON/$RuO_2$의 다층 구조로 이루어진 전고상의 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 전극용 $RuO_2$박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 $O_2$/[Ar+$O_2$]비를 증가시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 상온에서의 충-방전 측정을 통해 $RuO_2$ 박막의 미세구조에 따라 슈퍼캐패시터의 사이클 특성이 영향을 받는 것을 알 수 있었다. Glancing angle x-ray diffraction(GXRD)과 transmission electron microscopy (TEM) 분석을 통해 산소 유량의 증가가 $RuO_2$박막의 미세 구조의 영향을 주는 것을 알 수 있었고, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 산소 유량 비의 증가가 Ru과 산소간의 결합에도 영향을 줌을 알 수 있었다. 또한 사이클 후 슈퍼캐패시터의 TEM 및 AES depth profiling 분석을 통해, 충-방전 시 $RuO_2$와 LiPON과의 계면반응에 의해 형성된 계면 층이 사이클 특성에 영향을 줌을 알 수 있었다.

RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 SMR 구조 FBAR 소자의 Bragg 반사층의 미세구조 특성에 관한 연구

박성현(Sung-Hyun Park),이순범(Sun-Beom Lee),이능헌(Neung-Heon Lee),신영화(Young-Hwa Shin) 대한전기학회 2005 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2005 No.7