TiS$i_2$ 박막의 열안정성에 미치는 막 스트레스의 영향

김영욱,김영욱,고종우,이내인,김일권,박순오,안성태,이문용,이종길,Kim, Yeong-Uk,Kim, Yeong-Uk,Go, Jong-U,Lee, Nae-In,Kim, Il-Gwon,Park, Sun-O,An, Seong-Tae,Lee, Mun-Yong,Lee, Jong-Gil 한국재료학회 1993 한국재료학회지 Vol.3 No.1

단결정 실리콘위에 스퍼터법으로 증착된 티타니움막을 급속가열로에서 고상반응에 의해 형성시킨 면저항 1.2 ohm/sq. 내외의 TiS$i_2$ 박막에 있어서 열안정성을 상부절연막의 유무 및 종류에 따라 조사하였다. 상부절연막은 상압 CVD로 증착한 USG(Undoped Silicate Glass, Si$i_2$) 막과 플라즈마 CVD법으로 증착한 PE-SiN(S$i_3$$N_4$)막을 사용했다. 열안정성 평가는 90$0^{\circ}C$에서 시간을 달리하여 TiS$i_2$막, PE-SiN막, USG막의 스트레스는 각각 1.3${\times}{10^{9}}$, 1.25 ${\times}{10^{10}}$, 2.26 ${\times}{10^{10}}$ dyne/c$m^2$의 인장응력을 나타내었다. 응집현상은 TiS$i_2$의 응집현상은 Nabarro-Herring 마이크로 크리프에 의한 원자의 확산관점에서 검토되었다. Abstract The effect of the film stress on the thermal stability of TiSi, films under the dielectric overcoat was investigated. TiS$i_2$ films with the sheet resistance of 1.2 ohm/sq. were produced by a solid-state reaction between sputtered Ti film and single-crystalline Si in an RTA (rapid thermal anneal) machine. Dielectric overcoats such as the USG (Undoped Silicate Glass, Si$O_2$) film and the PE-SiN(S$i_3$$N_4$) film were deposited by AP-CVD and PE-CVD, respectively, on the TiS$i_2$ film. The thermal stability of the TiSi, film was evaluated by changes in the sheet resistance, film stress and microstructure after furnace anneals at 90$0^{\circ}C$. Agglomeration of the TiSi2 film high temperatures results in the increase of sheet resistance and the decrease of tensile stress of TiSi, film. The stress level of the TiSi" PE-SiN and ~SG films at 90$0^{\circ}C$C was 1.3${\times}{10^{9}}$, 1.25 ${\times}{10^{10}}$, 2.26 ${\times}{10^{10}}$ dyne/c$m^2$ in tensile, respectively. Dielectric films deposited by CVD on TiSi, was effective on preventing agglomeration of TiSi,. The PE-SiN film mproved the thermal stability of TiSi, more effectively than the AP-CVD USG film. It is considered that agglomeration of the TiS$i_2$ film under the stress of dielectric overcoat at high temperature can be caused by a diffusional flow of atom called Nabarro-Herring microcreep.reep.

技術開發의 特性化·地方化 : 未來와 世界를 향한 우리의 技術開發戰略

김영욱 釜山大學校 아시아문제연구소 1994 아시아硏究 Vol.12 No.1

[시조부문 신인상_김영욱 당선작] 석류가 비명을 지를 때

김영욱 고요아침 2023 열린시학 Vol.28 No.3

[시조부문 신인상_김영욱 당선소감] 가장 저다운 노래를 부르겠습니다

김영욱 고요아침 2023 열린시학 Vol.28 No.3

풍선을 활용한 우주영상 촬영 및 궤적 추정

김영욱,김종명,박성용,이현재 한국항공우주학회 2015 한국항공우주학회 학술발표회 논문집 Vol.2015 No.4

본 연구는 로켓에 비해 비교적 구조가 간단한 기상관측용 풍선을 활용한 지구의 곡선을 촬영하는 방법에 대해 논하였다. 본 기술은 상대적으로 저비용으로 고품질의 우주영상을 획득할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 다만, 무인자유기구로서 하늘로 부양 시 조종 할 수 없어 공역을 사용하는 항공기에게 위험요소로 작용할 수 있으므로 이와 같은 연구는 항공법의 테두리 안에서 안전하게 진행되어야한다. 따라서 본 연구를 통해 이러한 문제에 대한 안전한 운용절차에 대하여 연구하였다. 또한, 한반도의 기상특성을 통한 기구의 발사장소 선정과 기구의 회수를 위한 최종착륙지점을 예측하는 방법에 대하여 연구하였고 직접 실험을 통해 GPS 신호로부터 예상한 지점과 가까운 곳에서 장비를 회수하는 데에 성공하였다. 본 논문에서 제시하는 수식적으로 검증한 착륙지점 예측방법과 회수방법 또, 항공법 안에서 안전하게 부양할 수 있는 행정절차를 통하여 향후 이와 같은 프로젝트를 진행할 때에 기초자료가 될 수 있을 것으로 판단된다. In this paper a simple approach for obtaining the picture of the earth curvature using weather balloons is addressed. The advantage of this approach is that the system to taking the high-quality space images is relatively simple than any other approach, and it can be built with low cost. However, according to the Aviation Act on the unmanned free balloon, it must be carried out safely within the related laws and regulations. Therefore the safety operational procedures of the balloon is investigated to meet the regulations in Korea. Furthermore, The predicting the landing site of the falling weather ballon is one of the most challenging technologies in the unpredictable atmospheric environment. In this paper, a simple idea to predict the final landing spot of the balloon considering the Korea’s atmospheric environment is addressed and proven through actual experiment using GPS. Finally, it is believed that this study will be basic data for decreasing the risks to launch the balloon and predict the landing location, keeping the related regulations and administrative procedure for the safe operations.

Machine Learning 기반 레이다 표적 식별 기술

김영욱 한국전자파학회 2018 전자파기술 Vol.29 No.4

경구 당부하 검사시 공복혈당과 인슐린 반응 상관곡선에 의한 췌장베타세포의 대상부전 혈당농도 예측

김영욱,송창호,정춘희,원영준,신영구,김홍승,이미덕 대한당뇨병학회 1998 Diabetes and Metabolism Journal Vol.22 No.4

페로니켈슬래그 미분말을 사용한 모르타르의 응결시간 및압축강도특성에 관한 실험적 연구

김영욱,김도빈,최세진 한국건축시공학회 2018 한국건축시공학회지 Vol.18 No.6

본 연구에서는 페로니켈슬래그 미분말의 시멘트 대체재로서의 가능성을 평가하기 위하여 페로니켈슬래그 미분말 사용 모르타르의 압축강도 및 건조수축특성을 비교·분석하였다. 연구결과 페로니켈슬래그 미분말을 사용한 배합의 경우동일한 양의 고로슬래그 미분말 및 플라이애시를 사용한 배합에 비해 미소수화열량이 낮게 나타났으며 모르타르 플로우는 상대적으로 다소 높은 것으로 나타났다. 또한 페로니켈슬래그 미분말을 사용한 모르타르의 압축강도의 경우 초기강도발현은 고로슬래그 미분말 및 플라이애시와 유사하게나타났으나 재령 28일에서는 상대적으로 낮은 압축강도를발현하였다. 건조수축의 경우 페로니켈슬래그 미분말을 사용한 배합에서 고로슬래그 미분말을 사용한 배합에 비해 낮은 건조수축값을 나타내었으며 플라이애시를 혼입한 배합의건조수축과 유사하게 나타났다. This study evaluate the fluidity and hardening properties of mortar by replacement ratio of ferronickel slag powderto estimate the applicability of ferronickel slag powder for cement replacement materials. Ferronickel slag powder wasreplaced by 0, 5, 10, 15 and 20% of the cement weight. In addition, blast furnace slag powder and fly ash were alsoused for comparing with the mixtures using ferronickel slag powder. As the test results, the micro-hydration heat ofthe mixture containing the ferronickel slag powder was lower than that of the mixtures containing the same amountof blast furnace slag powder and fly ash. The flow of the sample with ferronickel slag powder was relatively higherthan the other mixtures. In all ages, the compressive strength of the mixture with ferronickel slag powder and fly ashwas similar to that of the mix containing only fly ash. In case of drying shrinkage, the mixture containing ferronickelslag powder exhibited lower drying shrinkage than the mixture using blast furnace slag powder, and similar to themixture containing fly ash.

뉴스미디어 시장의 변화와 연합뉴스의 역할

김영욱 한국언론학회 2009 한국언론학회 심포지움 및 세미나 Vol.2009 No.9-2

미세먼지를 둘러싼 핵심 공중 간 위험 인식 차이 및 갈등 요인 분석 - 충남지역 핵심 공중을 대상으로 한 인간심리모델의 적용 -

김영욱,이현승,김혜정,한지원,이성주 위기관리 이론과 실천 2022 Crisisonomy Vol.18 No.1

This study adopted the Mental Models as a research framework to explore the perceptions toward particulate matter (PM) in Chungnam among the key publics represented by experts, local residents, and employees who work at PM-producing organizations. Interview results showed that experts, local residents, and workers all acknowledged that industrial districts are one of the major contributors to PM emissions in Chungnam. However, there were clear perceptual differences on the level of contributions. Experts identified the industrial districts as the main cause of PM emissions in Chungnam. On the other hand, company employees acknowledged a certain amount of contribution from the industrial districts, but the transboundary PM pollution from China was considered the most significant contribution to the concentration of PM in Chungnam. Local residents recognized the causes of PM in a complex way. However, they believed that realistic efforts to reduce the level of PM should be conducted centering on the industrial districts. These differences in perceptions among the key publics are linked to the conflicting issues related to the way of formulating industry regulations as a solution to the PM problem in Chungnam. 이 연구는 인간심리모델을 연구 틀로 활용하여 전문가, 지역주민, 사업장으로 대표되는 핵심 공중들간에 충남지역 미세먼지 상황, 발생 원인, 건강 영향, 해결방안에 대한 인식이 어떻게 나타나는지탐색한 후, 핵심 공중들의 위험 인식 도표를 작성하여 가시화되거나 잠재된 갈등 요인을 파악하였다. 연구 결과, 전문가, 지역주민, 사업장은 모두 화력발전소를 비롯한 제철소, 석유화학단지 등 산업영역이 충남지역 미세먼지 배출의 한 축이라는 점을 인정하고 있었다. 다만, 그 기여도를 두고는 입장차가 분명히 나타났는데, 전문가들이 사업장을 충남지역 미세먼지 발생의 주요 원인으로 파악한반면, 사업장은 기여도를 인정하면서도 중국발 미세먼지가 미치는 영향을 더 비중 있게 보고 있었다. 지역주민들은 미세먼지 발생 원인을 복합적으로 인식하면서도 미세먼지를 줄이기 위해 현실적으로할 수 있는 노력은 사업장을 중심으로 전개되어야 한다고 믿고 있었다. 핵심 공중 간의 이러한 인식차이는 미세먼지 해결방안에 대한 입장 차이로 연결되며 갈등의 쟁점이 되고 있었다. 이러한 결과를토대로 미세먼지 문제와 갈등을 해소하기 위한 위험 커뮤니케이션을 제안하였다.