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TiS$i_2$ 박막의 열안정성에 미치는 막 스트레스의 영향
김영욱,김영욱,고종우,이내인,김일권,박순오,안성태,이문용,이종길,Kim, Yeong-Uk,Kim, Yeong-Uk,Go, Jong-U,Lee, Nae-In,Kim, Il-Gwon,Park, Sun-O,An, Seong-Tae,Lee, Mun-Yong,Lee, Jong-Gil 한국재료학회 1993 한국재료학회지 Vol.3 No.1
단결정 실리콘위에 스퍼터법으로 증착된 티타니움막을 급속가열로에서 고상반응에 의해 형성시킨 면저항 1.2 ohm/sq. 내외의 TiS$i_2$ 박막에 있어서 열안정성을 상부절연막의 유무 및 종류에 따라 조사하였다. 상부절연막은 상압 CVD로 증착한 USG(Undoped Silicate Glass, Si$i_2$) 막과 플라즈마 CVD법으로 증착한 PE-SiN(S$i_3$$N_4$)막을 사용했다. 열안정성 평가는 90$0^{\circ}C$에서 시간을 달리하여 TiS$i_2$막, PE-SiN막, USG막의 스트레스는 각각 1.3${\times}{10^{9}}$, 1.25 ${\times}{10^{10}}$, 2.26 ${\times}{10^{10}}$ dyne/c$m^2$의 인장응력을 나타내었다. 응집현상은 TiS$i_2$의 응집현상은 Nabarro-Herring 마이크로 크리프에 의한 원자의 확산관점에서 검토되었다. Abstract The effect of the film stress on the thermal stability of TiSi, films under the dielectric overcoat was investigated. TiS$i_2$ films with the sheet resistance of 1.2 ohm/sq. were produced by a solid-state reaction between sputtered Ti film and single-crystalline Si in an RTA (rapid thermal anneal) machine. Dielectric overcoats such as the USG (Undoped Silicate Glass, Si$O_2$) film and the PE-SiN(S$i_3$$N_4$) film were deposited by AP-CVD and PE-CVD, respectively, on the TiS$i_2$ film. The thermal stability of the TiSi, film was evaluated by changes in the sheet resistance, film stress and microstructure after furnace anneals at 90$0^{\circ}C$. Agglomeration of the TiSi2 film high temperatures results in the increase of sheet resistance and the decrease of tensile stress of TiSi, film. The stress level of the TiSi" PE-SiN and ~SG films at 90$0^{\circ}C$C was 1.3${\times}{10^{9}}$, 1.25 ${\times}{10^{10}}$, 2.26 ${\times}{10^{10}}$ dyne/c$m^2$ in tensile, respectively. Dielectric films deposited by CVD on TiSi, was effective on preventing agglomeration of TiSi,. The PE-SiN film mproved the thermal stability of TiSi, more effectively than the AP-CVD USG film. It is considered that agglomeration of the TiS$i_2$ film under the stress of dielectric overcoat at high temperature can be caused by a diffusional flow of atom called Nabarro-Herring microcreep.reep.
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김영욱 국립특수교육원 1994 현장특수교육 Vol.1 No.-
청각장애 교육대상의 정의와 분류체제는 청각장애인에 대한 이해의 정도에 따라 바뀌어 왔으며, 학문적 입장에 따라서도 달라져 있다. 청각장애에 대한 이해가 부족한 시기에는 '청각장애'(hearing impairment)라는 용어 대신에 모든 청각장애를 통칭하는 '농아'(聾啞 : deaf and dumb : deaf-mute)라는 말이 사용되었다. 고전적인 기록에서 뿐만 아니라 20세기 초반까지만 해도 농(deaf)이라는 용어는 흔히 비난의 의미를 함께 가지고 사용되었다. 농아자(deaf and dumb)와 같은 말투속에서는 농인을 업신여기고 조롱하는 듯한 의미가 포함되어 있었으며, 명사 또는 형용사로 사용된 농아(deaf-mute)라는 용어는 청각장애인을 이중의 결함을 가진 사람으로 인식하게 하였다. 그래서 선천농인은 당연히 지적인 결함도 함께 가진자로 인식되었다.(perier, 1987)
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국내 동물원 동물의 피부사상균 및 Mycoflora의 분포
김영욱,최원필 한국수의공중보건학회 2002 예방수의학회지 Vol.26 No.1
This study was carried out to determine the presence of dermatophytes and the skin mycoflora from animals in Dalseong park (D) of Daegu, Seoul grand park (S) of Seoul and Everland (E) of Kyonggi province, Korea. A total of 362 samples collected during the period from April 1999 to December 2000 were examined. Out of them, 26 (7.2%) dermatophytes were isolatied: 11 isolates of Trichophyton( T.) terrestre, 5 of Microsporum( M.) gypseum, 4 of M. canis, 2 of M. nanum, 2 of T. mentagrophytes, one of T. rubrum and one of T. ajelloi. Twenty-five (8.9%) dermatophytes were isolated from mammals and only one (1.2%) T. mentagrophytes was isolated from birds. Six dermatophytes were isolated from 24 animals with the suspected lesions of dermatophytosis: 1 of T. terrestre in Racoon Dog, 4 of M. canis in Japanese Macque and Pungsan Gea, 1 of T. mentagrophytes in Guinea pig. The dermatophytosis by T. terrestre, M. canis and T. mentagrophytes was first found from Racoon Dog, Japanese Macqueand Guinea pig in Korea, repectively. Thirteen out of 26 dermatophytes were isolated from Carnivores, and 9 out of the 13 dermatophytes were T. terrestre. T. terrestre was the most prevalent in Carnivores. Thirty-nine genera were collected during this investigation and the most common genera were Cladosporium (48.1%), Aspergillus (47.2%), Penicillium (37.3%), Alternaria (32.6%), Fonsecaea (24.0%), Scopulariopsis (20.4%) and Chrysosporium (20.2%).
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김영욱 서울대학교 일본연구소 2010 일본비평 Vol.- No.3
이 글은 삼성 창업자인 이병철의 용일(用日)에 관한 것이다. 이병철은 삼성의 성장 과 정에서 일본을 적극적으로 활용했다. 일본을 통해서 정보와 지식을 얻는 등 배움의 터 전으로 활용했다. 더불어 일본은 모방의 대상이었다. 부족한 자본과 기술, 경영방식 을 일본과의 제휴를 통해 보완하면서 일본처럼 되려고 노력했다. 1970년대 중반까지 일본에의 의존도가 매우 컸던 것은 이 때문이었다. 그러면서도 이병철은 일본을 극복 하려는 의지를 가지고 있었다. 일본을 모방하면서 자본과 기술력이 어느 정도 축적된 1970년대 후반부터 이병철은 기술 및 자본 제휴선을 미국과 유럽 쪽으로 돌렸다. 더 불어 이병철은 일본을 추월할 수 있다는 자신감을 가지고 있었다. 하지만 이병철은 생 전에 극일을 이루지 못했으며, 아들이자 후계자인 이건희에 와서야 이룰 수 있었다. 한편 이병철의 일본인식은 식민지기를 살았던 대부분의 한국인들처럼 이중적이었던 것으로 추정된다. 그가 남긴 단편적인 기록에 따르면 한편으로는 피해의식을, 또 다른 한편으로는 경외감을 갖고 있었던 것으로 해석된다. 하지만 설령 이병철의 일본인식 이 매우 부정적이었다고 해도 이것이 이병철의 용일에 큰 영향을 미치지는 않았을 것 으로 짐작된다. 기업경영은 인식보다 실리를 추구하는 경제적 영역이기 때문이다.
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