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- 발행기관 : 호서대학교반도체제조장비국산화연구센터 (검색결과 21 건)
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FPD(Flat Panel Display) 스토커 GUI 개발
김성원,백두산,김석동,김우성 호서대학교반도체제조장비국산화연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
FPD Stocker System은 LCD를 포함한 평판 디스플레이 소자(FPD : Flat Panel Display)의 자동 자재 저장 반출 장치(FPD Automated Storage and Retriecal System)이다. FPD Stocker System은 그 특성상 생산라인의 구조에 따라 보유 디바이스와 디바이스의 설정이 다양해지는 특성이 있다. 본 논문은 FPD Stoker System 에 사용될 Stocker GUI의 개발을 목적으로 한다.
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박헌휘,이춘수,함승주 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
Anhydrous HF 가스와 CH₃OH vapor 를 사용하여 저압의 기상영역에서 산화막 식각공정을 수행할 수 있는 장치 기술을 개발하기 위하여, 기제작된 VPC 장치를 활용하여 산화막 식각공정 연구를 진행하였다. VPC 장비에서 가스 Flow시의 Chamber 내의 압력 변화를 측정하였으며, TC Wafer를 이용한 Wafer 상의 온도 Uniformity 측정하였다. 또한 RF-Plasma Generation 테스트를 실시하였다. 그리고 Oxide Wafer Etching 실험을 etching time, wafer 종류, 압력 등 여러 조건을 변화시켜 가면서 수행하였다. 또한 Etch Uniformity 를 향상시키기 위하여 Shower Head의 구조를 변경시켜서 실험하였으며, 컴퓨터 Simulation 을 이용하여 Reactor 내에서의 HF gas 및 CH3OH vaper의 분율을 예측하였다.
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오삼권 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
DVSG (Digital Video Signal Generator)는 LCD Aging Tester 검사장비의 핵심적인 Hardware 기술이며, OPerating Software와 더불어 장비의 가장 중요한 부분을 차지한다. 또한 유사한 LCD 검사장비의 감이 형태의 검사기의 역할도 가능함으로 기술 경쟁력의 확보에 우위를 갖기 위해서는 반드시 필요한 부분이다. 본 연구의 목표는 Single Board DVSG 개발과 OPerating Software 개발을 하여 기성품인 Aging Chamber에 탑재하여 운영하는 것이다.
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한광록 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
Spinner 장비는 Host와 장비간 중앙 집중식 감시 및 장비의 동작 제어가 필요하며 이를 위하여 현재 SECS-I 및 SECS-II 기반의 통신 프로그램이 사용되고 있다. 그러나 300mm 차세대 장비는 그 기능이 보다 다양해지고, 복잡해짐에 따라 신속한 모니터링, 특히 CMS(Central Monitoring System) 기능과 세부적인 장비의 공정 제어 및 대용량의 데이터 전달이 필요하기 때문에 기존의 SECS-I 및 SECS-II 를 대체할 새로운 기술 및 프로토콜이 요구된다. 따라서 SEMI에서는 SECS-I의 속도 문제와 SECS-II의 미흡한 기능을 보완하기 위하여 HSMS(High-Speed SECS Messags Services )와 GEM (Generic Equipment Model)의 사용을 권장하고 있고 기술적인 내용은 SEMI Standard로 정의하였다. 본 논문은 이와 같은 차세대 300mm Spinner 장비 개발에 필수적인 통신 시스템을 지원하기 위하여 HSMS 를 기본 네트워크 프로토콜로 설정하여 SECS-II 및 GEM 을 구현한다.
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방재철 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
세라믹 도포형 정전기척(electrostatic chuck, ESC)을 제조하기 위하여 ESC 작동에 적합한 특성의 상부절연층 세라믹 재료를 개발하였고 단계별 제조공정의 최적화를 통하여 사용화를 위한 샘플을 제작하였다. 개발된 상부절연층의 전기비저항과 유전상수 값은 요구조건을 만족하였으며 하부 절연층재료와 열팽창계수가 유사하여 구조적인 안정성이 확보되었다. 한편, 상 . 하부 절연층간의 접합을 견고히 하고 기존의 ESC 에서 발생된 입자오염 문제를 최소화 하기 위해 붕규산염 유리재료를 중간접합층으로 선택하여 조건별로 시험하였으며, 전극재료로는 은을 선택하여 여러조건에서 시험하였다. 붕규산염 유리는 상 . 하부 절연층과 사용된 은전극과의 젖음성이 우수하고 접합력도 강했으며 은전극은 우려되었던 유리층과의 확산 및 반응이 거의 없었다. 제조된 ESC의 척킹(chucking)특성은 상용 ESC 나 이전 연구에서 제작된 ESC 에 비하여 고착력이 우수하여 나타났다.
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설용태 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
반도체 제조장비는 매우 높은 정밀도와 신뢰성이 요구되는 초정밀 시스템으로서 개발이 완료되어 실제 Product line 에 투입되기까지는 오랜 시간 동안 엄격한 시험 평가를 통하여 신뢰성이 입증되어야 한다. 그러나 국내 중소 업계의 경우 고가 시험평가 설비를 보유하고 있지 않아 연구 개발에 많은 어려움을 겪고 있다. 이에 본 과제는 반도체 제조장비 국산화 연구 센터의 국내에서 개발된 반도체 제조장비, 부품/Module 등에 대한 신뢰성을 입증할 수 있는 시험 평가원 구축을 위한 기반 시설 구축과 방향 등에 대한 연구이다
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김준식 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
국내에서 생산되는 반도체의 주를 이루고 있는 메모리 소자는 한국을 대표하는 수출업종이 되었다. 이렇게 급변하는 반도체 제조 기술에 비해 검사장비 및 검사장비 개발은 국내 기술로는 아직 부족한 면이 많다. 특히 반도체 검사 장비 중 반드시 거쳐야 하는 DC parameter tester 에 관한 국내 기술 자료는 거의 없는 형편이다. 이에 본 연구개발에서는 제조된 반도체 소자를 제조공정중 혹은 불량 검사 시에 사용할 수 있는 DC parameter tester를 구현하였다. 기존에 제작된 검사 시스템에서는 여러 보상 회로 및 출력 안정회로, 고전압 검사 회로 등이 포함되어 회로가 복잡하고, PC와의 인터페이스 또한 어려웠으나, 본 연구에서는 적은 개수의 반도체 소자를 사용하여 DC parameter tester 를 구현하였으며, Altera EPM7064SLC44-10를 사용하여 아날로그 회로와 PC와의 인터페이스를 쉽게 구현하였다. 또한 동작의 안정성을 위하여 출력값을 입력값과 비교하여 그 차이를 다시 입력값과 더하거나 빼주어 출력을 안정시키는 방법을 사용하였다. 다이오드 1N4148에 대해서 VFCS(Voltage Force Current Sensing)와 CFVS (Current Force Voltage Sensing)모드로 검사하여 컴퓨터 모의실험 결과와 비교하였으며, 이를 통해 본 연구에서 개발한 겸사 시스템의 성능을 입증하였다.
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반도체 제조장비용 로봇 제어 시스템의 성능 평가 및 개선
정종대,이성준,류길하 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
본 과제는 장비 제조업체와 반도체 제조업체들에서 자용되는 4축 로봇을 대상으로 장기간 사용 중 발생되어 보고된 기구적인 문제점들 및 컨트롤러와 모터 드라이버들에서의 전기적인 문제점들을 분석하고 그 개선책을 유도함으로써 장비제조의 일관성 및 견실성을 확보하고 제조된 장비의 현장 생산성을 높이는데 그 목적이 있다. 이를 위해 본 과제에서는 실제 웨이퍼를 반송시키는 공정에 사용되는 4축 로봇 시스템을 대상으로 기구적인 강성, 진동, 반복정밀성 및 컨트롤러와 드라이버에 대한 전기적인 신호 테스트, 다양한 게인 설정 등을 수행하여 보고된 문제점들을 확인하고 현 상태에서 가장 경제적인 개선책을 제시하고자 한다. 지금까지 로봇 제어시스템의 기구적인 반복 정밀성을 조사하였으며, 컨트롤러 및 드라이버의 성능 평가와 제어기의 이득평가를 위해 램프형태의 속도명령 추종성 및 계단입력에 대한 응답을 테스트하였다. 현재까지의 결과로는 기존 시스템에서의 큰 결함을 발견할 수 없었는데 그 이유로는 그간 제어기 및 드라이버 제조회사에 의해 몇번의 성능개선(upgrade)이 있었기 때문인 것으로 사료된다.
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조남인,남형진,박순규 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
식각 공정은 반도체 침 제조공정 중 필수적인 공정이며 플라스마 식삭 공정을 위한 Etcher장치에서 요구되는 중요기술로는 고밀도 플라스마 원기술, 가스 공급 및 제어기술, 웨이퍼 반송제어 기술, 정전기 척 기술을 들 수 있다. 웨이퍼가 위치 하는 Subastrate holder 는 종래에는 기계적인 clamping 방식에 의하여 웨이퍼르 ㄹ고정하였으나 웨이퍼 온도 불균일성, 파티클 생성, 웨이퍼 휨 발생, 웨이 퍼 에취 사용불가 등 이 방식이 갖는 문제의 한계성을 개선하고 칩 웨이퍼의 생산수율향상을 위해 정전기를 이용한 웨이펴 고정 방식이 연구 개발되었다. 정전기 척 (ESC : Electro-Static Chuck)의 종류는 표면물질에 따라 Polyimide type ESC, Ceramic tyoe ESC, Anodizing type ESC 등으로 구분되며, 본 연구 개발에서는 이세종류의 정전기 척에 대한 각종 기술을 연차적으로 개발하였다. 이를 위하여 본 연구에서는 Polyimide type 정진기 척의 개발에 요구되는 기술 중 Polyimide 기판 위에 구리박막 형성 기술, 히터 내장형 정전기 척을 위한 박막 형 히터 내장형 정전기 척을 위한 박막형 히터 기술, 정전기 척 제작 및 성능 분석의 연구를 수행하였다.
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한광록,문세호 호서대학교반도체제조장비국산화 연구센터 2000 반도체 장비기술 논문집 Vol.2000 No.-
반도체 양산공정에 적용되는 장비에 있어서 선공정용 장비의 정밀한 온도의 제어는 반도체의 품질과 전체 반도체 제조 공정의 품질을 결정하는 주된 용인으로 작용되므로, 전공정 양산 장비에 대응할 수 있고, 특히 OXIDATION, ANNEAL 및 DEFFUSION 공정에 적용할수 있도록 예측기능을 갖는 온도제어 모듈을 설계 및 구현한다.
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