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정성현(Sung-Hyeon Jung),김상우(Sang-Woo Kim),장민석(Min-Seok Jang),정지훈(Jee-hun Jeong),이호준(Ho-Jun Lee) 대한전기학회 2021 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2021 No.10
10mTorr, 13.56MHz, 1000W 조건에서 Ar gas를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 진행하였다. 전자석을 통해서 5G, 10G의 외부 자기장을 인가한 유도 결합 플라즈마 (MICP) 챔버 내부의 Magnetic flux density distribution를 확인하고, 유도 결합 플라즈마 (ICP)와 MICP의 Electron Density, Electric Potential에 대한 특성을 비교 및 분석하였다.
베이스 도핑 농도와 두께에 따른 BJT의 전류 이득 변화
김동혁(Dong-hyeck Kim),김미진(Mi-jin Kim),장민석(Min-seok Jang),정지훈(Jee-hun Jeong),김상우(Sang-woo Kim),이호준(Ho-jun Lee) 대한전기학회 2021 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2021 No.10
BJT(Bipolar Junction Transistor)가 전류 증폭 소자로 작동하기 위해서는 기판 내부의 베이스 영역의 두께가 충분히 얇아야 한다. 그러나 베이스 영역의 두께가 얇아질수록 BJT 소자의 항복 전압은 감소하게 되어 소자의 안정성이 저하되므로 적절한 베이스 영역의 두께를 선정해야 한다. [1] SILVACO 사의 Athena, Atlas를 사용하여 베이스의 도핑 농도에 따른 전류 이득 변화와 베이스 영역의 두께 변화에 따른 전류 이득 변화를 분석하였다. 그 결과 베이스 도핑 농도가 4.75×10<SUP>18</SUP>cm<SUP>-3</SUP>일 때 최대 전류 이득을 가지며, 베이스 두께가 85nm일 때 최대 전류 이득을 가진다. 그보다 높거나 낮은 도핑 농도에서는 전류 이득이 감소하는 특성을 보인다.