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- 저자 : 임종혁(J. H. Lim) (검색결과 4 건)
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평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁,김경남,염근영,Lim, J.H.,Kim, K.N.,Yeom, G.Y. 한국진공학회 2006 Applied Science and Convergence Technology Vol.15 No.3
본 연구에서는 대면적 플라즈마 공정에 적용 가능한 고밀도 플라즈마를 발생시키기 위하여 기존의 내장형 serpentine-type 안테나와 새롭게 고안된 내장형 유도결합형 multiple U-Type 안테나를 1020mm X 920mm(기판 880 X 660mm)의 챔버에서 연구하였다. 내장형 유도결합형 multiple U-type을 적용한 플라즈마는 serpentine-type과 비교하여 더 높은 플라즈마 밀도, 높은 radical 밀도, 좋은 균일도를 관찰할 수 있었다. 이는 serpentine-type의 경우와 비교하여 보다 적은 정상파 효과와 높은 유도결합에 기인한다. 내장형 유도결합형 multiple U-type 안테나의 적용으로 $2\times10^{11}/cm^3$의 높은 플라즈마 밀도를 얻을 수 있었고 5000W의 입력전압과 Ar 가스 15mTorr 공정압력조건에서 4%의 균일도를 관찰할 수 있었다. In this study, the characteristics of large area internal linear ICP sources of 1020mm X 920mm(substrate area is 880 X 660mm) were investigated using two different types of antenna, that is, a conventional serpentine-type antenna and a newly developed multiple U-type antenna. The multiple antenna showed a higher plasma density, a higher radical density, and more plasma stability compared to the serpentine-type antenna, and it appeared from the higher inductively coupling and less standing wave effect compared to the serpentine-type antenna. Using the multiple U-type antenna, the plasma density of $2\times10^{11}/cm^3$ with the plasma uniformity of 4% could be obtained using 15mTorr Ar and 5000W of RF power.
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시분해 테라파 분광학을 이용한 고전도성 탄소나노튜브 박막의 광학계수 측정
문진영,박두재,임종혁,이상민,이순일,안영환,Moon, J.Y.,Park, D.J.,Lim, J.H.,Rotermund, F.,Lee, S.,Ahn, Y.H. 한국광학회 2010 한국광학회지 Vol.21 No.1
본 연구에서는 전도성이 매우 높은 탄소나노튜브 박막을 제작하고 테라파 영역에서의 광학상수를 측정하였다. 탄소나노튜브박막은 스핀코팅법 또는 진공여과법을 이용하여 연성플라스틱 기판 위에 증착되었다. 테라파 영역의 전자파 투과율은 박막의 두께조절을 통해 가능하며, 산처리 등의 후속공정을 통해서도 조절이 가능하다. 시분해 테라파 투과파의 진폭과 위상 측정을 통해유전상수를 포함한 광학상수의 스펙트럼을 측정하였다. 이를 통해 탄소나노튜브 박막이 Drude 자유전자 모델에 잘 부합하며, 높은 플라즈마 진동수를 가지는 등, 우수한 금속의 특성을 가지고 있음이 밝혀졌다. 또한 산처리 전후 유전상수가 변화하는 것을 직접확인할 수 있었다. 마지막으로 셀룰로즈 멤브레인에 증착된 CNT 필름의 경우엔 기판의 효과가 제거된 광학계수 측정이 가능함을 보여준다. We performed time-domain terahertz (THz) spectroscopy to determine optical constants of highly conductive carbon nanotube (CNT) films. The CNT films have been fabricated on a flexible plastic substrate by using spin-coating or vacuum filtration. We found that the transmission of THz waves can be controlled by manipulating the thickness of the films and by post-treatments. From amplitude and phase information of the transmitted THz waves, we obtain optical constants such as refractive indices and dielectric constants of the CNT films. The frequency dependent dielectric constants show good metallic behaviors, relevant to the Drude free electron models with high plasma frequencies. It is also found that the dielectric constants are higher for the acid-treated films. Finally, the frequency dependent dielectric constants which are free from substrate effects have been demonstrated by using CNT films deposited on cellulose membranes.
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임종혁,김종호,박일진,주관식 명지대학교 자연과학연구소 1995 자연과학논문집 Vol.12 No.-
차폐체의 종류에 따른 전자파의 차폐효과를 파장이 다른 두 광원을 사용하여 비교하였다. 그 결과 실효 원자 번호가 큰 Gold -Silver , Stainless Steel, Nickel-Chromium, Titanium순으로 차폐효율이 큰 것을 알 수 있었으며, 파장이 큰 적외선이 자외선이나 가시광선보다 차폐효율이 좋은 것으로 판명되었다. The absorptivities of electromagnetic wave shilding materials were measured at the two different wave lengthes.The absorptivity increases as the atomic number increases;the order of Gold-Silver, Stainless steel, Nickel-Chromium and Titanium. The absorption of imfrared ray is more effective than ultravioletor visible light in electromagnetic wave shilding.
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