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이찬미,전헌수,박민아,이찬빈,양민,이삼녕,안형수,김석환,유영문,신기삼,배종성,이효석,Lee, Chanmi,Jeon, Hunsoo,Park, Minah,Lee, Chanbin,Yang, Min,Yi, Sam Nyung,Ahn, Hyung Soo,Kim, Suck-Whan,Yu, Young Moon,Shin, Keesam,Bae, Jong Seong,Lee, 한국결정성장학회 2015 한국결정성장학회지 Vol.25 No.2
혼합소스 HVPE 방법을 사용하여 탄소 마이크로구를 합성하였다. 소스 물질로는 그래파이트 보트에 담겨 진 Ga, Al을 사용하였고 반응가스로 암모니아, 염산, 질소 가스를 사용하였다. 탄소 마이크로구의 합성은 $1090^{\circ}C$에서 실시하였다. 질소 가스는 5000, 염산 가스는 80, 암모니아 가스는 2000 sccm으로 공급되며 반응 시간은 3시간으로 하였다. 탄소 마이크로구의 SEM 측정 결과 수백 ${\mu}m$의 지름을 가지고 매끈한 표면을 가지는 완전한 구형 모양을 가짐을 알 수 있었다. XPS 결과 탄소 마이크로구의 내부는 탄소 71.78 wt%, 산소 15.37 wt%, 황 0.32 wt%, 규소 1.97 wt%로 구성되어 있었다. 또한 TEM 분석을 통해 탄소 마이크로구가 비정질임을 알 수 있었다. 탄소 마이크로구가 합성된 것은 에피 성장 과정 중에 배양판과 같이 홈이 파져 있는 공간에서 가스 간의 흡착 반응에 의해 탄소 마이크로구의 성분들이 합성된 것으로 판단된다. The carbon microspheres of a core-shell type were grown by the method of mixed-source hydride vapor phase epitaxy (HVPE). The surface and the cross section of the carbon microsphere grown by a new method were observed by scanning electron microscope (SEM). The characteristics of the carbon microsphere were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and a high resolution-transmission electron microscope (HR-TEM). From these measurements, the diameters of carbon sphere were about few hundred micrometers. Furthermore, we show that the carbon microsphere of the core-shell type by mixed-source HVPE method can be grown successfully with the larger size than those of the existing one. This mixed-source HVPE method is proposed a new method for making of carbon microsphere.
HVPE 방법에 의해 성장된 graded AlGaN 에피층의 특성
이찬빈,전헌수,이찬미,전인준,양민,이삼녕,안형수,김석환,유영문,Lee, Chanbin,Jeon, Hunsoo,Lee, Chanmi,Jeon, Injun,Yang, Min,Yi, Sam Nyung,Ahn, Hyung Soo,Kim, Suck-Whan,Yu, Young Moon,Sawaki, Nobuhiko 한국결정성장학회 2015 한국결정성장학회지 Vol.25 No.2
Compositionally graded AlGaN epilayer was grown by HVPE (hydride vapor phase epitaxy) on (0001) c-plane sapphire substrate. During the growth of graded AlGaN epilayer, the temperatures of source and the growth zone were set at $950^{\circ}C$ and $1145^{\circ}C$, respectively. The growth rate of graded AlGaN epilayer was about 100 nm/hour. The changing of Al contentes was investigated by field emission scanning electron microscope (FE-SEM) and energy dispersive spectroscopy (EDS). From the result of atomic force microscope (AFM), the average of roughness in 2 inch substrate of graded AlGaN epilayer was a few nanometers scale. X-ray diffraction (XRD) with the result that the AlGaN (002) peak ($Al_{0.74}Ga_{0.26}N$) and AlN (002) peak were appeared. It seems that the graded AlGaN epilayer was successfully grown by the HVPE method. From these results, we expect to use of the graded AlGaN epilayer grown by HVPE for the application of electron and optical devices. 본 논문에서는 Al 조성이 점진적으로 변화된 AlGaN 에피층을 HVPE (hydride vapor phase epitaxy) 방법에 의하여 성장하였다. 소스영역의 온도는 $950^{\circ}C$, 성장 영역의 온도는 $1145^{\circ}C$에서 연속적으로 (0001) 사파이어 기판위에 성장되었고, AlGaN 에피층은 시간당 100 nm의 성장률을 보였다. FE-SEM 측정과 EDS 측정으로부터 성장층의 Al 변화를 확인하였으며, AFM 측정결과 2인치 기판위에 성장된 graded AlGaN 에피층의 거칠기는 수십 nm였다. Al 조성의 변화는 XRD 측정에 의하여 확인하였으며, Al 조성 74 %의 (002) AlGaN의 주피크 관측과 함께 연속적으로 (002) AlN 층의 피크가 확인되었다. 이는 하나의 층에 사파이어 기판으로부터 Al 조성이 점진적으로 변화하는 에피층을 HVPE 방법으로 얻었음을 증명하며, 이 결과로부터 다양한 광소자 및 전자소자의 응용이 기대된다.
모형을 이용한 밀폐형 육계사의 환기 제어를 위한 유체 흐름 분석
유정상 ( Jung-sang Yoo ),이찬미 ( Chanmi Lee ),김재석 ( Jaesuk Kim ),박동혁 ( Donghyeok Park ),양도이 ( Doee Yang ),이중용 ( Joong Yong Rhee ) 한국농업기계학회 2020 한국농업기계학회 학술발표논문집 Vol.25 No.2
조류인플루엔자, 전염병을 방지하기 위해 무창형 밀폐형 계사가 늘어남에 따라 실내 환기 제어가 어느 때 보다 중요하게 여겨지고 있다. 이산화탄소 농도는 병아리 시절의 폐사율과 성장률에 영향을 미칠 뿐만 아니라 실내 작업자의 건강에도 해로운 영향을 미친다. 본 연구에서는 환기 입출구 위치에 따른 환기 효율성 비교와 CFD 시뮬레이션을 통한 실내 모형에서의 공기 흐름을 분석하기 위한 기초 기술을 개발하고자 한다. 실험을 위해 실제 밀폐 계사의 1:20의 축소 모형을 만들어 아두이노 우노(Arduino-UNO), 팬모터(SZH-GNP513, 5,000RPM) 그리고 이산화탄소 센서(Sensirion, SCD-30)를 사용하여 6,000ppm 이후의 팬모터 위치 변화와 1,500ppm, 3,000ppm에서의 릴레이 제어를 통한 환기 속도를 비교하였으며 이에 따른 유체 흐름을 분석하였다. 실험 결과 팬모터의 바람 출구가 아래에 있는 경우가 위에 있는 경우보다 약 117% 환기가 더 빨랐으며 3,000ppm 이하 1,500ppm 이상의 환기에서는 약 121% 환기가 빠른 것으로 나타났다. 유체 흐름 분석에서는 두 실험 모두에서 환기가 균등하게 되지 않은 것을 확인할 수 있었다. 이러한 결과는 실제 계사에서 육계와 작업자에게 쾌적한 이산화탄소 비율을 유지하기 위한 향후 밀폐형 계사 환기 연구에 활용이 될 수 있을 것이다.
고해상도 근접 센서, 자율 주행 및 차세대 통신 시스템을 위한 94GHz 대역 팬-아웃 웨이퍼 레벨 패키지(FOWLP)
주지호(Jiho Joo),이상흥(Sang-Heung Lee),김동영(Dong-Young Kim),최광문(Gwang-Mun Choi),신정호(Jungho Shin),이찬미(Chanmi Lee),장기석(Ki-seok Jang),오진혁(Jin Hyuk Oh),정지은(Ji-Eun Jung),이가은(Gaeun Lee),엄용성(Yong-Sung Eom),최광성(Kwa 대한전자공학회 2024 대한전자공학회 학술대회 Vol.2024 No.6