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플라즈마 증착 형상 모의 실험기의 앞덮개 효과를 고려한 근사 해석적 모델에 관한 연구
이강환,손명식,황호정,Lee, Kang-Whan,Son, Myung-Sik,Hwang, Ho-Jung 대한전자공학회 1999 電子工學會論文誌, D Vol.d36 No.1
본 논문에서는 반응로 안에서 쌍극성 확산장의 거리 확장에 따르는 앞덮개(Presheath)영역에서의 효과를 고려하고, 앞덮개 영역 내에서 이온과 중성자간의 충돌을 고려한 입사각 분포에 따른 에너지 플럭스를 계산하였다. 이론의 각분포 현상과 에너지 플럭스 분포를 이온의 온도와 함께 앞덮개 효과를 고려된 새로운 근사 해석적 모델을 제시한다. 실제 식각 공정에 대한 실험결과 충돌이 없는 덮개에서도 이온의 입사각이 산란되는 현상이 나타난다. 이 현상은 이온의 앞덮개지역을 통과하면서 쌍극성 확산장(ambipolar diffusion field)에 의해 운동에너지를 얻게 되는데, 이때 얻어진 운동에너지가 가스 분자 충돌에 의해 변화는 효과 때문이라고 볼 수 있다. 제안된 근사적 해석모델을 이용하여 트렌치에서의 중착 형상을 모의실험 하였다. In this work, we consider the effect of the presheath on the ion angular distribution. The recent shows the ion-neutral collision in the presheath and the calculated energy flux with the ion angular distribution at the presheath edge in plasma reactor. We also propose a new approximation analytical model for the ion angular distribution and the energy flux distribution with ion temperature. The ion passing the presheath region, Shows a ion scattering effect without ion-neutral collisions. This because the kinetic energy by the ambipolar diffusion field is changed by the gas collision,. Using the proposed approximation analytical model, we show the simulated results of a deposit profile on variable trench shape.
코드형 디지털 이동통신 동기처리 기술의 FPGA 구현 연구
이강환 김천대학교 2002 김천대학교 논문집 Vol.23 No.-
In this paper, we proposed a new technology of the synchronized frame structure which is based on the CDMA technique , and it's implemented into the VLSI design by FPGA.
이강환 김천대학교 1996 김천대학교 논문집 Vol.17 No.-
Motion estimation reduces temporal redundancies in a video sequence, and becomes the most demanding part in video source encoders where motion compensated transform coding method is used. Block matching algorithm needs a large amount of computa-tional load, but its regular data flow structure is good to implement with various parallel processing architectures. There are many general purpose chips for motion estimator, but it does not satisfy the large search range as a HDTV or DTV vide codec systems. For this reason, the number of required chips are increased for motion estimation. In this paper, we present a new hardware architecture for block matching motion estimation in video encoding systems and develop the implementation. The proposed architecture is based on inter-leaving computation method and parallel processing architectures. The proposed architecture has 1) fully pipelining operation 2) effi-cient data input scheme for high input-rate video encoding systems, 3) glueless interfaces for easy extension of search range by cascaded multiple chip connections. We develop a single-board research prototype consisting of 6 chips with frame memory control using general purpose motion estima-tion. It can operate in real time for video conference applications, it has simple control based and modular in design, therefore may be suitable for VLSI implementation.
ICP소스의 대면적 LCD를 위한 수치 해석적 분석에 관한 연구
이강환 김천대학교 2001 김천대학교 논문집 Vol.22 No.-
In this paper, we analyzed electric field density and plasma condition to ICP reactor geometry structure, to generate plasma, to maintain plasma uniformity of large area LCD panel in ICP reactor.