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전자 렌즈 Aperture 구조에 따른 마이크로칼럼의 전자빔 특성
최상국,이천희,Choi, Sang-Kuk,Yi, Cheon-Hee 한국광학회 2005 한국광학회지 Vol.16 No.5
마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈는 MEMS 공정으로 정밀하게 가공되어 기존의 전자칼럼에 비하여 광학수차를 최소화 할 수 있으며, 이는 전자칼럼의 성능 향상에 주요한 요소로 작용한다. 따라서 반도체 공정 방식(습식식각과 건식식각)에 의해 형성되는 렌즈구조에 따른 전자 광학계 연구는 중요한 의미가 있다. 마이크로칼럼을 구성하고 있는 전자방출원, 소스렌즈, 디플렉터, 포커스렌즈(Einzel lens) 중에서 전자빔의 특성에 가장 큰 영향을 주는 것은 소스렌즈이다. 본 연구에서는 소스렌즈의 extractor와 limiting aperture의 구조에 따른 전자빔 특성을 조사하였다. Microlens precisely fabricated by MEMS process, is a key component of the Microcolumn, Since, miniaturization can reduces aberrations, microcolumn is expected to have better performance than conventional columns. Depending on the fabrication techniques, the sectional view of micro lens has different shape. In the paper, the effect of the sectional shape of extractor lens and limiting aperture on the focusing property of microcolumns have been studied.
최상국(Choi, Sang-kuk),김진유(Kim, Jin-Yoo),윤효진(Yoon, Hyo-Jin) 대한국토·도시계획학회 2014 國土計劃 Vol.49 No.3
The purpose of this paper is to examines the construction effect of Seoul-Chuncheon highway on regional industries. Unlike most previous studies concentrating on the opening effect of highway, we focus on highway construction effect because industries can consider the locational advantage of a new interchange when they decide to relocate even before opening of the highway. The results show the significant change in neighbouring industries after starting highway construction in the end of 2004. Through the series of regression analyses, we conclude the Seoul-Chuncheon highway construction effect area is within about 10 kilometers from the nearest interchange and the magnitude is different by industries. The number of employees in `Construction` was most strongly affected by the highway accessibility during the construction period while the impacts on `Manufacturing`, `Accommodation and food service` and `Wholesale and retail trade` were marginal. The results provide some policy implications. First, the regional development plan related to the new highway should consider the time of construction as well as opening time because some market players take action before opening. Second, the regional government should take into account appropriate planning time for each industry because some industries are affected from the beginning of construction while the others are influenced after opening.
김호섭,김대욱,김영철,최상국,김대용,Kim, Ho-Seob,Kim, Dae-Wook,Kim, Young-Chul,Choi, Sang-Kuk,Kim, Dae-Yong 한국광학회 2003 한국광학회지 Vol.14 No.2
FCM(Fast moving least square reproducing kernel point collocation method) 방식의 simulation tool을 이용하여 전기장으로 구동되는 초소형 전자 렌즈의 구동 특성을 조사·분석하였다. Einzel 렌즈의 retarding mode와 accelerating mode구동에서 포텐셜 분포는 유사하지만, electric field strength는 서로 다른 방향을 갖게 되어 서로 다른 형태의 전자 궤적을 보인다. 동일한 working distance에서 accelerating mode로 구동되는 전자렌즈는 retarding mode로 구동되는 경우보다 매우 높은focusing 전압을 필요로 한다. The analysis of operation characteristics of a miniaturized electrostatic electron lens system called an Einzel lens was performed using a simulation tool of FCM method. The potential distributions of Einzel lenses operated both in retarding and accelerating modes show similar features. But the electric fields determined from the potential distributions show opposite directions, which results in different features in the electron beam trajectory in each mode of operation. For the same working distance, focusing voltage in the accelerating mode is higher than that in the retarding mode.
Monte Carlo 기법을 이용한 Enhancement MOS 구조의 2차원 물리적 모델링
이용희(Lee Yong-Hui),최영규(Choi Young-Gyu),최상국(Choi Sang-Kuk),이천희(Yi Cheon-Hee) 한국정보과학회 1991 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.18 No.1
시뮬레이션은 크게 두가지 형태로 분류 할 수 있다. 첫째는 시험, 분석하고자 하는 대상 시스템을 실제 존재하는 그대로 해석하거나 시험하기 어려워 실제 대상과 비슷한 모조물을 만들어 실제 대상이 필요한 환경이나 조건을 제시해 준후 수행된 결과를 토대로 하여 실제 대상물의 특성을 미리 유추해 보는 것이다. 둘째로는 최근에 컴퓨터의 사용이 보편화 되면서 컴퓨터를 이용하는 경우가 증가하고 있다. 따라서 이러한 컴퓨터를 사용하여 실험자가 관측하기 어려운 미세한 디바이스, 형태, 상태가 복잡한 시스템에 대하여 이를 컴퓨터 프로그램으로 작성한 후 이를 토대로 원하는 결과를 미리 예측해 볼 수 있다. 따라서 본 논문에서는 반도체 디바이스 시뮬레이터의 구성에 있어서 필요한 물리적 모델을 마련하여 PN 접합 다이오드를 시뮬레이션 하였고 이를 기초로 하여 MOS 구조를 2차원 적으로 시뮬레이션 할 수 있도록 프로그램 하여 디바이스 물리적 특성을 연구하는데 도움이 되도록 하였다.
李勇熙,許晋榮,崔相國,李天熙 청주대학교 산업과학연구소 1991 産業科學硏究 Vol.9 No.-
BiCMOS technology has been verified to be major technology for achiving high-speed and high density VLSI. This is due to the BiCMOS gate circuit can drive high load capacitances such as a word line and can compensate for the lack of output drive ability in CMOS circuits. In the paper we adopted the newly BiCMOS gate which operated on low power dissipation and high-speed. Therefore, this BiCMOS circuit gate may applicate on the analog circuit and the peripheral circuit.