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Diamond 박막 성장에 미치는 Si 표면 영향의 AES에 의한 연구
이철로(C. R. Lee),신용현(Y. H. Shin),임재영(J. Y. Leem),정광화(K. H. Chung),천병선(B. S. Chun) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.2
Si 기판 표면상태 변화와 관련된 핵생성 자유에너지 증가에 따른 다이아몬드 박막성장 거동을 관찰하였다. 표면 연마조건 변화에 따른 3가지 기판(A-Si, B-Si, C-Si) 위에 동일한 성장조건으로 다이아몬드를 성장하였으며, 이때 형상인자와 관련된 자유에너지 관계는 ΔG_(A-Si)<ΔG_(B-Si)<ΔG_(C-Si)이다. AES, SEM, XRD, RHEED에 의해 각각의 박막 A, B, C를 조사한 결과, 핵생성 자유에너지가 가장 적은 A 박막은 (100) (110) 면이 지배적인 고품위 다이아몬드 박막이다. 자유에너지가 A에 비해 다소 적은 B 박막은 (111) 면이 지배적인 8면체 다이아몬드 박막이고, 자유에너지가 가장 적은 C 박막은 흑연이 많이 함유된 구상의 다이아몬드이다. The effect of nucleation free energy related to Si surface states on diamond film growth behavior has been studied. At first, the three kinds of diamond thin films (A, B, C) were deposited on various Si substrates (A-Si, B-Si, C-Si) whose surfaces were polished with 1 ㎛ diamond paste, 6 ㎛ Al₂O₃ powder and 12 ㎛ Al₂O₃ powder respectively. And then, relative nucleation free energy calculated is ΔG_(A-Si)<ΔG_(B-Si)<ΔG_(c-Si) Although there are some difference in grain size, shape and nucleation site, the thin films on A-Si and B-Si were diamond including a small amount of DLC which was confirmed by AES, SEM, XRD and RHEED. Namely, the diamonds of films (B) were not nucleated in scratches but in dents and larger in grain size compare with the film (C) of which diamond were nucleated not only scratches but also dents. And, the sphere diamond which is not general shape was grown on C-Si. After all, the sphere was turned out to be the diamond including much graphite as a result of the AES in situ depth profiling. Consequently, the diamond shape and quality grown on Si were changed from the crystal which the (100) and (110) planes were predominent to the crystal in which (111) plane was predominent, and next to sphere shape diamond including much graphite according as the nucleation free energy increases.
Quadrupole Mass Spectrometer의 기체별 감도 특성
신용현(Y. H. Shin),홍승수(S. S. Hong),이철로(C. R. Lee),임재영(J. Y. Leem),박재홍(J. H. Park),정광화(K. H. Chung) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.1
부분압 분석 장비의 감도 측정 시스템을 설계 제작하였다. 이 시스템을 이용하여 부분압측정기기로 많이 쓰이는 Quadrupole Mass Spectrometer의 N₂, O₂, Ar, CO, H₂에 대한 감도를 10^(-4)~10^(-8)torr 영역에서 측정하여 감도의 압력 의존성을 보고 검출 방식, Emission current, Secondary Electron Multiplier 전압 등이 감도에 미치는 영향도 측정하였다. 실험 결과 기체 종류에 따라서는 물론 사용조건에 따라서도 감도의 절대값 변화 및 압력 의존성 변화가 아주 심한 것을 알 수 있었다. 따라서 Quardrupole Mass Spectrometer를 정량적인 측정에 이용하기 위해서는 이에 대한 감도 측정 및 특성조사가 반드시 선행되어야 한다. The calibration system for partial pressure analyzer was designed and set up. Using this system, the linearity of two commercial Quardrupole Mass Spectrometer and the influence of operating parameter (emission current, detection mode, SEM voltage) on the sensitivity has been investigated over the pressure range of 10^(-4)~10^(-8) torr for N₂, O₂, Ar, CO and H₂ gases. Sensitivities of Quadrupole mass spectrometers were greatly influenced not only by gas species but also by operating parameters. Thus for all the quantitive applications, it is necessary to characterize and calibrate quadrupole mass spectrometer carefully.
Al 2024를 이용한 Conflat Flange Gasket의 특성
이철로(C. R. Lee),박재홍(J. H. Park),홍승수(S. S. Hong),임재영(J. Y. Leem),신용현(Y. H. Sin),정광화(G. H. Chung) 한국진공학회(ASCT) 1992 Applied Science and Convergence Technology Vol.1 No.2
Al 2024-T4와 이것을 annealing한 Al 2024로써 2가지의 gasket을 제조하여, 이들을 XHV chamber에 이용하므로써 2×10¹²torr에 도달하였다. 그리하여 이 gasket들의 baking 전후 microstructure, 경도, 응력집중 등의 변화를 조사하였다. Al 2024-T4의 경우에는 edge 높이(H) 감소 및 edge angle(α) 증가 등과 같은 knife edge damage가 존재하나, Al 2024의 경우에는 전혀 damage가 없어서 완전한 capture seal을 할 수 있으리라 사료된다. Two gaskets of Al 2024-T4 and annealed Al 2024-T4 were made. We had acquired 2×10¹²torr in a chamber using them. Microstructures, hardness and stress concentration of the gaskets were examined before and after baking. Knife edge damages such as decrease of edge height(H) and increase of edge angle(α) were found on knife edges when the Al 2024-T4 gasket was used. But no damage was found with the annealed Al 2024 gasket.
19F MR Imaging of 5-FU Metabolism in Mice
Seung-C. Lee,Jae-G. Seo,Sung W. Kim,이철현,Chul S. Kim,양태견,정재준 한국자기공명학회 2001 Journal of the Korean Magnetic Resonance Society Vol.5 No.2
19F imaging of mice was carried out. For 19F imaging, 5-flouro-uracil (5-FU) was injected into a mouse and in vivo detection of the catabolism of 5-FU to -fluoro--alanine (FBAL) was carried out. The chemical shift selective (CHESS) imaging technique was employed. The 19F spectra and images give temporal and spatial information of the metabolism for 5-FU in mice. 영어논문
홍승수(S.S. Hong),신용현(Y.H. Shin),임재영(J.Y. Leem),박재홍(J.H. Park),이철로(C.R. Lee),정광화(K.H. Chung) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.1
당 연구실에서 개발 제작된 동적교정방법을 이용한 고진공표준기를 사용하여 10^(-6)~10^(-3) torr 영역에서 가장 널리 쓰이는 spinning rotor gauge와 열음극 전리 진공게이지들의 특성을 상품화되어 사용되는 방법대로 측정하여 조사하여 보았다. 게이지들의 직선성, 단기간(15일)에 행해진 반복측정에서의 scattering을 조사하였고 또한 N₂, CO, He, H₂, O₂, Ar 가스에 대한 감도와 압력을 올릴 때와 내릴 때의 hysteresis를 조사하였다. The characteristics of spinning rotor gauges and hot cathode ionization gauges, most widely used HV to UHV gauges, were studied in the pressure range of 10^(-6)~10^(-3) torr. The linearities and data scatterings in the time period of 15 days were investigated and also the sensitivities and the hysteresis in the up-down measurements in the N₂, CO, He, H₂, O₂, Ar gases.
홍승수(S. S. Hong),임재영(J. Y. Lim),박재홍(J. H. Park),신용현(Y. H. Shin),이철로(C. R. Lee),정광화(K. H. Chung) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.2
동적교정방법을 이용하여 10^(-7)~10^(-10)torr 영역에서 교정 가능한 초고진공 표준기를 제작하였다. 10^(-6)~10^(-9)torr L/s 영역의 극미세 유량은 고진공 표준기에 porous plug를 연결하여 발생 제어시켰으며 일정한 배기속도를 유지함이 알려져 있는 refrigerator type cryopump를 이용하여 3×10^(-11)torr의 base pressure를 얻을 수 있었다. 이 초고진공 표준기를 이용하여 두 개의 extractor gauge와 자체 제작한 nude 이온게이지들을 교정하고 그 직선성 및 재현도를 살펴보았다. The dynamic calibration system which can calibrate the ultrahigh vacuum pressure down to 10^(-10) torr has been fabricated. The production and control of minute flow of 10^(-6)~10^(-9)torr L/s range is done by a porous plug connected to the high vacuum standards system. The base pressure of the UHV standards system down to 10^(-11) torr range was obtained by refrigerator type cryopump, whose pumping speed is known to be constant. By using the UHV standards system, 2 extractor gauges and 1 nude ion gauge were calibrated and their linearities and scatterings were studied.
권영수(Y. S. Kwon),임재영(J. Y. Leem),이철로(C. R. Lee),노삼규(S. K. Noh),유연희(Y. H. Ryu),최정우(J. W. Choe),김성만(S. M. Kim),이욱현(U. H. Lee),류동현(D. H. Ryu),이동한(D. H. Lee),박장환(Jang-Hwan Park) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.4(1)
MBE(Molecular Beam Epitaxy) 방법으로 InAS 양자점의 크기를 달리하여 성장한 lnAs 양자점의 구조적 특성과 분광학적 특성을 조사하였다. 구조적 특성은 AFM(Atomic Force Microscopy)으로 하였으며, 광학적 특성은 PL(Photoluminescence)로 수행하였다. AFM 측정결과 양자점의 밀도는 2 ML에서 최대 값인 1.1×10¹¹/㎠이다. 양자점의 크기가 증가함에 따라 PL 피크는 적색편이를 하고 있었다. 발광피크의 온도의존성을 조사한 결과 온도의 증가에 따라 발광피크는 낮은 에너지로 이동하였으며, 20 K에서 180 K 구간에서는 발광피크의 FWHM(Full Width at Half Maximum) 값은 감소하였으며, 180 K 이상의 온도에서는 온도의 증가에 따라 FWHM도 증가하였다. 한편 Arrehenius-type function으로 구한 활성화 에너지는 InAs 양자점의 크기가 증가함에 따라 증가하였다. We present Photoluminescence (PL) and Atomic Force Microscopy (AFM) image on InAs quantum dots (QDs) having different size which grown by Molecular Beam Epitaxy (MBE). For different size QDs, analysis of the AFM profiles show that the density of QDs was the maximum value (1.1×10¹¹/㎠) at 2.0 ML. In the PL spectra of QDs, it is found that the peak energy decreases with increasing dot size due to the effect of quantum confinement. Temperature dependence of PL intensities show that the PL is quenching and Red shift as the temperature increase. The FWHM range of 20 K~80 K is narrowing with increasing temperature. When temperature is over 180 K, the line-width starts to increase with increasing temperature. At last, temperature dependence of the integrated intensities were fit using the Arrehenius-type function for the activation energy. Fit value of the activation energy was increased with increasing QDs-size.