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RTP 어닐과 추가 이온주입에 의한 저-저항 텅스텐 비트-선 구현
이용희,이천희,Lee, Yong-Hui,Lee, Cheon-Hui 대한전자공학회 2001 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.38 No.5
디바이스의 크기가 0.25㎛이하로 축소됨에 따라 DRAM(Dynamic Random Access Memory) 제조업체들은 칩 크기를 줄이고 지역적인 배선으로 사용하기 위해서 기존의 텅스텐-폴리사이드 비트-선에서 텅스텐 비트-선으로 대체하고 있다. 본 논문에서는 다양한 RTP 온도와 추가 이온주입을 사용하여 낮은 저항을 갖는 텅스텐 비트-선 제조 공정에 대해 다루었다. 그 결과 텅스텐 비트선 저항에 중요한 메계변수는 RTP Anneal 온도와 BF₂ 이온 주입 도펀트임을 알 수 있었다. 이러한 텅스텐 비트-선 공정은 고밀도 칩 구현에 중요한 기술이 된다. As the device geometry continuously shrink down less than sub-quarter micrometer, DRAM makers are going to replace conventional tungsten-polycide bit-line with tungsten bit-line structure in order to reduce the chip size and use it as a local interconnection. In this paper we showed low resistance tungsten bit-line fabrication process with various RTP(Rapid Thermal Process) temperature and additional ion implantation. As a result we obtained that major parameters impact on tungsten bit-line process are RTP Anneal temperature and BF$_2$ ion implantation dopant. These tungsten bit-line process are promising to fabricate high density chip technology.
우리나라 노인들을 대상으로 한 일상생활에서의 인간공학적 불편성 조사 연구
이용희,이동춘,이상도,Lee, Yong-Hui,Lee, Dong-Chun,Lee, Sang-Do 대한인간공학회 2004 大韓人間工學會誌 Vol.23 No.3
This paper reports the results on age and gender of Korean elderly people for the level of difficulty in performing household tasks (meal preparation, grocery shopping, house cleaning, laundry), personal tasks (dressing, bathing, grooming), transfer tasks (getting in and out of chairs, getting in and out of bath-tub, using stairs) and management tasks (using telephone, accessing mail, operating door locks). A questionnaire based on the Activities of Daily Living (ADL) scale was constructed and administered to 40 Korean elderly subjects aged from 65 to 84(mean age: 74.5, SD: 5.8) in Busan. Additionally, a logistic regression was performed with age (continuous variable) and gender as predictor variables, and reponses to individual questions as the categorical ordinal response variables. To determine appropriate age separation at which difficulty levels in performing activities of daily living change, a discriminant analysis was performed on the responses. All predictor variables were used in the analysis. Accommodating age related changes in functional abilities, and increasing functional independence of elderly people will entail significant design modifications to products, systems and environments for daily use and living.
이용희,이운동,Lee, Yong-Hui,Lee, Un-Dong 한국방위산업진흥회 1998 國防과 技術 Vol.- No.230
레이다는 저고도 표적에 대한 탐지능력 ECCM 능력, 대방사유도탄에 대한 대처능력이 우수해야 하며, 동시다발 표적에 대한 탐지와 추적능력을 보유해야 하고 다기능 및 다목적 용도를 위해서 또는 시시각각으로 변하는 상황에 대처하기 위해서는 시스템의 융통성과 잠재능력이 커야 한다.
이용희,이운동,Lee, Yong-Hui,Lee, Un-Dong 한국방위산업진흥회 1998 國防과 技術 Vol.- No.232
이제까지 레이다 시스템 기술과 레이다와 직간접으로 관련된 기술에 대한 발전방향과 동향에 대해 알아보기 위해 레이다의 발달 배경과 발전사를 살펴보았다. 또한 레이다가 광범위하게 사용되고 있는 것에 대한 설명과 현재 위상배열레이다의 기술수준을 가늠하기 위한 대표적 모델을 알아보았다. 이번호에서는 위상배열레이다 시스템 및 기술개발 동향에 대해 소개한다.
이용희,Lee, Yong-Hui 한국방위산업진흥회 1995 國防과 技術 Vol.- No.192
최근 러시아는 무기의 해외판매에 주력하고 있으며, 이의 일환으로 '93년에 무기전시회와 에어쇼를 통해 여러 종류의 무기를 공개전시하였으나 기술적 내용과 특징은 잘 알려져 있지 않다. 이 글에 소개된 내용은 S-300V, S-300 PMU, TOR 등 대공유도무기용 위상배열레이다를 중심으로 하여 우리 군과 방산종사자들의 관심이 많은 대공방어체계용 레이다 관련 자료를 모으고 기술적인 해석을 하였다.