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Effusion-cell evaporation을 이용한 열전박막 제조와 소형 열전 냉각소자 설계
전성재(Seong-jae Jeon),오민섭(Minsub Oh),현승민(Seungmin Hyun),이후정(Hoo-jeong Lee) 대한기계학회 2011 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2011 No.4
본 연구는 Bi-Te 박막과 Sb-Te 박막을 co-evaporation 공정을 사용하여 제조하고 박막의 열전, 전기적 특성을 평가하였다. 앞서 제조한 박막을 이용하여 박막형 열전 냉각 소자를 설계하였다.