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리더십 유형이 조직 유효성에 미치는 변인간의 구조적 관계 분석 -새마을금고 직원을 중심으로
황국현 ( Kughyeon Hwang ) 한국협동조합학회 2010 韓國協同組合硏究 Vol.28 No.2
The purpose of this thesis is analyzing how manager’s leadership types influence organization effectiveness through the survey about employees of Community Credit Cooperative (CC). This thesis reveals that intellectual stimulus affect direct positive influence to job satisfaction and job satisfaction result in indirect positive influence to organization performance. Otherwise charisma provokes direct negative influence to job satisfaction and that kind of situation results in poor organization performance. Situational reward and job satisfaction give direct positive influence on organization performance. Individualization consideration has a direct negative effect on organization performance. Also both the transactional leadership and transformational leadership affect organizational effectiveness of CC.
일체형 분광편광간섭모듈 기반 분광타원편광계의 정확도 향상
김대석,황국현,심준보,최인호,최석현,헤리저데헌거흐 사이드 한국반도체디스플레이기술학회 2023 반도체디스플레이기술학회지 Vol.22 No.3
We describe an optimal alignment method for improving accuracy of dynamic spectroscopic polarimeter based on monolithic polarizing interferometer. The dynamic spectroscopic polarimeter enables real-time measurements of spectral ellipsometric parameters by using a spectral carrier frequency concept. However, the non-polarizing beam splitter used in the monolithic polarizing interferometer cannot maintain the polarization state perfectly due to phase retardation caused by optical anisotropic characteristics of the non-polarizing beam splitter, resulting in degraded measurement accuracy. The effect of the beam splitter can be minimized through optimal alignment of the polarizers used in the polarizing interferometer and the analyzer. We demonstrate how much the proposed alignment method can enhance the measurement accuracy by comparing with previous alignment approach.
이중 파장 보정방법 기반 다이나믹 분광타원편광계의 안정도 최적화
최인호,헤리저데헌거흐 사이드,최석현,황국현,심준보,김대석,Choi, Inho,Kheiryzadehkhanghah, Saeid,Choi, Sukhyun,Hwang, Gukhyeon,Shim, Junbo,Kim, Daesuk 한국반도체디스플레이기술학회 2021 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.3
This paper describes a dynamic spectroscopic ellipsometry based on dual-wavelength calibration. DSE provides ellipsometric parameters at rates above 20 Hz, but the interferometer's sensitivity to temperature makes it difficult for that proposed system to maintain stable 𝜟k over long periods of time. To solve this problem, we set up an additional path in the DSE to perform simulations of the polarization phase calibration method using dual wavelengths. Through simulation, we were able to eliminate most of the polarization phase error and maintain a stable 𝜟k in the long-term stability experiment for 10 hours. This is the result that the 𝜟k stability of the proposed system is improved tens of times compared to the existing system.
김청송(Cheong Song Kim),최인호(InHo Choi),헤리저데헌거흐 사이드(Saeid Kheiryzadehkhanghah),최석현(Sukhyun Choi),황국현(Gukhyeon Hwang),김대석(DaeSuk Kim) 대한기계학회 2020 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2020 No.8
최근 국내 반도체 DRAM 및 NAND flash 메모리 제조 기술 고도화로 인하여 wafer 상단에 수 나노 스케일 수준의 박막증착 및 패턴 제작이 이루어지고 있으며, 이에 공정라인에서 제작되는 시편을 검사/계측하기 위한 기술에 대한 필요성이 요구되는 추세이다. 반도체 생산 제조 공정라인의 검사/계측 기술로 활용되는 ellipsometry 기술은 산란을 이용한 비파괴성 광학적 측정 기술로, 시편에 의해 변화된 편광정보(Ψ, △)를 획득하고, 이를 분석하여 제작 시편의 물성 및 박막 두께, 나노 패턴의 3D 형상을 계측하는 기술이다. 현 반도체 산업계에서 제작되는 wafer의 균일도는 기업의 수율과 관계하므로 측정속도에 대한 솔루션의 필요성이 크게 증대되고 있는 상황이며, 이에 기존 ellipsometry 기술이 지닌 기계적 메커니즘 및 전기 변조 장치 등의 구동부로 인한 초 단위 이상의 측정속도 제한 문제를 극복하기 위하여 본 연구팀은 2016년 마하젠더 scheme의 분광편광타원계측 기술을 제안한바 있다. 이는 간섭편광변조모듈로부터 발생된 분광편광간섭신호를 시스템 알고리즘을 통해 분광편광위상정보(△)를 20Hz 이상 고속으로 획득 가능하다. 본 연구팀은 최근 간섭편광변조모듈을 일체형 마이켈슨 간섭계로 구성함에 따라, 측정 반복능을 ±1˚ 수준의 외란에 강인성을 지닌 시스템으로 성능을 크게 개선하였다. 아래 figure(a)의 Blue, Red line은 각각 reference(bare wafer), SiO2 30nm를 제안된 시스템으로 획득된 간섭spectrum이고, figure(b)의 Blue, red line은 각각 간섭계 기반 분광편광타원계와 상용 ellipsometer를 이용하여 측정된 분광편광위상정보(△)이다. SiO2 30nm 측정결과를 통해 간섭계 기반 분광편광타원계는 측정 반복능 뿐만 아니라, 측정에 사용된 전체파장에 대해서 상용장비 수준의 높은 정확도가 확보됨을 검증하였다. [그림 본문 참조]