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보론 도우핑된 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 열에 의한 준안정성 연구
이이상,추혜용,장진,Lee, Yi-Sang,Chu, Hye-Yong,Jang, Jin 대한전자공학회 1989 전자공학회논문지 Vol. No.
보론이 도우핑된 수소화된 비정질 실리콘을 이용한 박막 트랜지스터를 플라즈마 CVD 방법으로 제작하여 트랜지스터의 특성 및 준안정성에 관한 연구를 수행하였다. 보론이 도우핑된 비정질 실리콘 ambipolar 트랜지스터를 열평형 온도 이상에서 급냉하면, active dopants가 증가하고 경계면 상태밀도가 감소하여 정공채널에 의한 드레인 전류가 증가하고 전자채널의 드레인 전류는 급냉 온도에 따라 증가하다 감소되는 현상을 측정하였다. 이런 급냉 효과는 실리콘내에 있는 수소의 운동과 밀접한 관계가 있고 active dopants, 댕글링 본드 및 경계면 상태밀도의 변화로 해석된다. Electrical transport and thermally induced metastability in hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) thin film transistors (TFTs) using boron-doped amorphous silicon as an active layer have been studied. The device characteristics n-channel and p-channel operations. The thermal quenching experiments on amorphous silicon-silicon nitride ambipolar TFT give clear evidence for the co-existence of two distinct metastable changes. The densities of metastable active dopants and dangling bonds increase with the quenching temperature. On the other hand, the interface state density appears to decrease with increasing quenching temperature.
이이상,Lee, Lee-Sang 한국정보디스플레이학회 2001 한국정보디스플레이학회지 Vol.2 No.1
TFT-LCD는 그 상업화의 역사가 이제 겨우 10여년으로 일천함에도 불구하고 괄목할만한 시장성장과 더불어 우리 생활에 많은 변화를 야기했고, 그 변화의 정도는 앞으로 더욱 더 심화 될 것으로 예상된다 . 요즘 유행처럼 이야기되어지는 정보화 기술 (IT: Information Technology), 디지털 기술이란 의미도 궁극적으로 따져보면 영상정보의 효율적 전달을 의미하며, 그 정보의 실체를 사람의 눈으로 보는 것은 결국 디스플레이 인 것이다. 여러 가지의 디스플레이 가운데 특히 TFT-LCD는 노트북 컴퓨터를 시발점으로 모니터 등 그 웅용분야를 점차 넓혀 가고 있으며, 디스플레이 산업의 시장을 주도하고 있다. 현재 디스플레이의 가장 큰 부분을 차지하고 있는 TV 시장에 대한 접근도 활발히 하고 있어 그 동안 CRT 를 사용한 TV 시장에도 향후 각 디스플레 이간의 주도권 및 영역 다툼이 더욱 심화 되리라고 예상된다. 본고(本稿)에서는 TFT-LCD를 중심으로 TV 에 응용 되기 위한 기술적 요구 사항과 현재 LCD maker들의 개발 현황 및 향후 전망 등 에 대해 정리해 보고자 한다.