PECVD법으로 증착된 $Ta_2O_5$박막의 누설전류에 미치는 RTA의 영향

김진범,이승호,소명기,Kim, Jin-Beom,Lee, Seung-Ho,So, Myeong-Gi 한국재료학회 1994 한국재료학회지 Vol.4 No.5

본 연구에서는 반응기체 $PaCl_5$ (99.99%)와 $N_2O$(99.99%)를 사용하여 PECVD법으로 P-type(100) Si기판위에 $Ta_2O_5$ 박막을 증착시킨후 RTA 후처리를 통하여 누설전류를 개선시키고자 하였다. 실험결과, 증착온도 증가에 따라 굴절율은 일정하게 증가하였고 $500^{\circ}C$에서 최대 증착속도를 보였다. 증착된 $Ta_2O_5$막의 FT-IR 분석결과 증착온도 증가에 따라 Ta-O bond peak intensity가 증가함을 알 수 있었으며, 누설전류 특정결과 증착온도가 증가함에 따라 누설전류값이 감소함을 알 수 있었다. 또한 증착된 $Ta_2O_5$막을 RFA방법을 이용하여 후처리 한 결과, as deposited 상태보다 누설전류가 감소함을 알 수 있었으며 이는 RTA처리후 AES와 FT-IR 분석을 통하여 $Ta_2O_5$막 내의 oxygen농도와 Ta-O bond peak intensity를 측정한 결과 RTA 후처리에 의하여 $Ta_2O_5$막내의 존재하는 O-deficient 구조들이 감소한 때문이었다. The effects of RTA treatment on the leakage current have been studied for tantalum pentoxide( $Ta_2O_5$) films deposited by PECVD on P-type(100) Si substrate using $TaCl_5$(99.99%) and $N_2O$(99.99%) gaseous mixture. The refractive index increased with increasing the deposition temperature and the maximum deposition rate was obtained at $500^{\circ}C$. The Ta-0 bond peak intensity of as-deposited $Ta_2O_5$ increased with increasing the deposition temperature through FT-IR analysis and the leakage current value was decreased with increasing the deposition temperature. The small leakage current value obtained after RTA treatment of as-deposited $Ta_2O_5$ was found to be due to the reduction of 0-deficient structure in the film. The increases of the oxygen coacentration and the Ta-0 bond peak intensity in the film after RTA treatment were measured by AES and FT-IR analyses.

초저온 냉각튜브 내 수소기체의 액체수소로의 상변환 분석

이대원,홍하이응우엔,소명기,나인욱,박동화,김교선,Lee, Dae-Won,Nguyen, Hoang Hai,So, Myeong-Ki,Nah, In-Wook,Park, Dong-Wha,Kim, Kyo-Seon 한국화학공학회 2018 Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHA Vol.56 No.1

에너지 위기 시대를 맞이하여 수소에너지가 가장 가능성 있는 대체에너지 중의 하나로 고려되고 있다. 액체수소는 기체수소와 비교하여 단위 부피당 에너지 밀도가 월등히 높으며 수소에너지의 탁월한 저장 방법으로 간주되고 있다. 본 연구에서는 2 상 모델에 기초를 둔 Navier-Stokes 식을 전산유체역학 프로그램을 이용하여 풀었으며, 초저온 냉각 튜브를 통과하면서 기체수소가 액화되는 과정을 분석하였다. 열전도율이 높은 구리관을 초저온 냉각을 위한 관의 재질로 가정하였다. 기체수소의 유입속도를 5 cm/s, 10 cm/s, 20 cm/s로 변화시키면서 냉각튜브 내 유체 온도분포, 축방향 및 반경방향 유체 속도, 기체 및 액체 수소 부피분율 분포를 각각 분석하였다. 본 연구 결과는 향후 액체수소 제조를 위한 기체수소 초저온 냉각기의 설계 및 제작을 위한 기초자료로 활용이 될 것으로 기대된다. Under the era of energy crisis, hydrogen energy is considered as one of the most potential alternative energies. Liquid hydrogen has much higher energy density per unit volume than gas hydrogen and is counted as the excellent energy storage method. In this study, Navier-Stokes equations based on 2-phase model were solved by using a computational fluid dynamics program and the liquefaction process of gaseous hydrogen passing through a cryogenic cooling tube was analyzed. The copper with high thermal conductivity was assumed as the material for cryogenic cooling tube. For different inlet velocities of 5 m/s, 10 m/s and 20 m/s for hydrogen gas, the distributions of fluid temperature, axial and radial velocities, and volume fractions of gas and liquid hydrogens were compared. These research results are expected to be used as basic data for the future design and fabrication of cryogenic cooling tube to transform the hydrogen gas into liquid hydrogen.

수소화처리가 다결정 $\textrm{Si}_{1-x}\textrm{Ge}_{x}$박막의 전기적특성 및 표면거칠기에 미치는 영향

이승호,이규용,소명기,김교선,Lee, Seung-Ho,Lee, Gyu-Yong,So, Myeong-Gi,Kim, Gyo-Seon 한국재료학회 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.1

RTCVD법으로 증착된 다결정 Si$_{1-x}$Ge$_{x}$박막에서 Ge조성 증가에 따른 결정립크기변화가 표면거칠기 및 cluster크기에 미치는 영향에 대해 알아본결과, Ge조성 증가에 따라 결정립크기가 증가했으며 증가된 결정립에 의해 Cluster 크기와 표면거칠기값(RMS)들이 증가함을 알 수 있었다. 또한 증착된 다결정 Si$_{1-x}$Ge$_{x}$박막을 RF power와 온도변화에 따라 Ar/H$_{2}$플라즈마를 이용한 수소화처리를 행하여, 수소화 효과와 표면거칠기값 그리고 비저항값 변화에 대해 조사하였다. 수소화처리 후 cluster크기와 표면거칠기값은 기판온도와 RF power 증가에따라 감소함을 알 수 있었으며 특히 기판온도 30$0^{\circ}C$에서는 비저항값이 상당히 증가하였다.

RTCVD에 의한 다결정 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 증착

김재중,이승호,소명기,Kim, Jae-Jung,Lee, Seung-Ho,So, Myeong-Gi 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.6

The Poly-S $i_{1-x}$G $e_{x}$ thin films were deposited on oxidized Si wafer by RTCVD(rapid thermal chemical vapor deposition) using Si $H_4$and Ge $H_4$, at 450 ~5$50^{\circ}C$. The variation of Ge mole fraction and the deposition rate of S $i_{1-x}$G $e_{x}$ thin film were studied as a function of the deposition temperature and the Ge $H_4$/Si $H_4$input ratio, and the crystal phase and the surface roughness were studied by XRD and AFM(atomic force microscopy), respectively. The experimental results showed that the activation energy for the deposition of poly-S $i_{1-x}$G $e_{x}$ was about 32~37Kca /mol and the deposition rate of S $i_{1-x}$G $e_{x}$ thin films was increased with increasing the deposition temperature and the input ratio. From the analysis of composition, it was known that the Ge mole fraction within the poly-S $i_{1-x}$G $e_{x}$ thin film was decreased with decreasing the input ratio and increasing the deposition temperature. As-deposited S $i_{1-x}$G $e_{x}$ thin films were polycrystalline over the entire experimental range. But those were amorphous at the deposition temperature of 450, 475$^{\circ}C$ and the input ratio of 0.05. By adding the Ge $H_4$, poly-S $i_{1-x}$G $e_{x}$ thin film were deposited at relatively lower deposition temperatures($\leq$ 5$50^{\circ}C$) than those of conventional poly-Si(>$600^{\circ}C$). From surface roughness measurement of poly-S $i_{1-x}$G $e_{x}$ it was found that the surface roughness( $R_{i}$ ) increased with increasing the deposition temperature and input ratio.and input ratio. Oxidized Si wafer 위에 반응가스로 Si $H_4$과 Ge $H_4$을 사용하여 RTCVD(rapid thermal chemical vapor deposition)법으로 증착온도 450~5$50^{\circ}C$에서 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막을 증착하였다. 증착된 S $i_{1-x}$, G $e_{x}$ 박막은 증착온도와 Ge $H_4$Si $H_4$입력비 변화에 따른 Ge몰분율 변화와 증착속도에 대해 고찰하였으며, XRD와 AFM(atomic force microscopy)등을 이용하여 결정상과 표면거칠기 등을 조사하였다. 실험결과, 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막은 32~37 Kcal/mole의 활성화에너지 값을 가졌으며 증착속도는 증착온도와 입력비 중가에 따라 증가하였다. 또한 조성분석으로부터 입력비 감소와 증착온도 증가에 따라 Ge몰분율이 감소함을 알 수 있었다. 증착된 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막은 450, 475$^{\circ}C$에서 임력비가 0.05일때 비정질 형태로 존재하였으며 그 이외의 실험영역에서는 다결정 형태로 존재하였다. 기존의 다결정 Si 중착온도($600^{\circ}C$이상)와 비교하여 Ge $H_4$을 첨가함으로써 비교적 낮은온도(5$50^{\circ}C$이하) 영역에서 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막을 얻을 수 있었다. 또한 증착층의 표면거칠기를 측정한 결과, 증착온도와 입력비가 증가함에 따라 표면 거칠기( $R_{i}$ )가 증가함을 알 수 있었다.을 알 수 있었다.

非線形 시스템의 퍼지 모델링과 퍼지 시스템의 安定度 解析에 관한 연구

李浚柝(Joon Tark Lee),蘇明玉(Myeong Ok So),朴英式(Young Sik Park) 한국지능시스템학회 1994 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 Vol.4 No.2

非線型 시스템의 퍼지 모델링과 퍼지 시스템의 安定度 解析에 관한 연구

李浚柝(Joon Tark Lee),蘇明玉(Myeong Ok So),朴英式(Young Sik Park) 한국지능시스템학회 1994 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 Vol.- No.-

비가시적 요소의 감각적 형상화 : 연구자의 작품을 중심으로

이소명 ( So Myeong Lee ) 한국기독교철학회 2014 기독교철학 Vol.19 No.-

현대인들은 포스트모더니즘의 시대적 흐름 속에서 모더니즘 시대의 보편 적인 정의와 일정한 규정, 통제로 억압 받았던 개인의 작은 이야기들을 점차 다양한 양식으로 표출한다. 이 흐름에 맞추어 기독교 미술가의 정체성을 모색해보는 것은 중요하다. 이 논문에서는 개인의 ‘예술적 서사’(소서사 형식의 스토리텔링)를 통해 그 논의를 전개한다. 이에 있어 ‘나’라는 특수한 개인을 통한 예술적인 이야기(절대자와의 만남과 비가시적 요소)가 어떤 특징들을 가지고 감각적 형상화로 표현되는지 살펴본다. 이를 위해 연구자의 작품을 세 가지 특징으로 분석한다. 첫 번째, 형상의 반복이다. 반복을 어떤 이념과 원칙, 객관적인 법칙이 아닌 끊임없이 변화하는 동일한 것의 재생산으로 바라본다. 이에 있어 쇠얀 키에르케고르(SØren Kierkegaard)의 ‘정신적 반복’을 살펴보고 질 들뢰즈(Gilles Deleuze)의 차이와 반복’, 반복의 창조성, 집중성, 확장성이라는 특성들을 통해 반복을 재해석한다. 이는 반복에 대한 새로운 시각을 가져다주며 그 의미를 풍부하게 만든다. 나아가 종교적 실존 개념의 반복을 기독교 미술과 연관하여 살펴볼 수 있다. 두 번째, 찰나적 순간의 형상화이다. 여기서 롤랑 바르트(Roland Barthes)의 푼크툼(punctum) 개념을 연구자의 작품에서 나타나는 즉흥적이며 일시적, 순간적인 표현과 연결하여 설명한다. 즉 연구자의 삶에서 체험한 절대자와의 접촉 지점(절대자의 수직적 만남과 인간의 수평적 만남의 교차 지점)을 예술로 가시화하는 것이다. 세 번째, 사이영역의 형상화이다. 여기에서 사이영역은 살과 세계와의 접촉을 통해 작품에서 구체화되는 지점을 의미한다. 이를 설명하기 위해 성경과 모리스 메를로-풍티(Mau rice Merleau-Ponty)의 철학에 근거하여 ‘살’의 존재론적 특성을 중심으로 살펴 본다. 결국 연구자의 작품 활동에서 언급하는 살은 곧 회화가 됨을 발견한 다 또한 회화 속에서 나를 발견하고, 내가 회화가 되는 것을 작업 과정에서 경험한다. 살을 통해 가시화된 작품은 비가시적인 세계를 창조하는 예술적 실제이다. 이 논문의 목적은 성경의 진리가 인간의 제한된 이성의 영역을 넘어 예술이라는 영역을 통해 새롭게 드러나는 하나의 장을 마련하는데 있다. 과거에는 진리를 발견하고 알리기 위하여 예술이 종교의 보조적 수단으로 사용되었다. 이러한 미학적 신학의 개념은 현대 기독교 마술의 영역에서 새롭게 재조명되어야 할 필요가 있다. 나아가 신앙고백으로서 절대자와의 만남을 가시화할 수 있는지 모색하고자 한다. 따라서 이 논문은 학문의 보편적 측면을 강조하기보다는, 연구자의 작업 과정과 정체성을 개별적인 앎의 형태로 전개한다. 이를 통해 기독교 예술가로서 삶의 의미와 작품 제작의 이유, 기독교 미술가의 정체성을 발견할 수 있으리라고 기대한다. In today's post-modern era, people tell their stories in diverse formats, freed from universal meaning, uniform regulations and control of modern era. Without doubt, it is significant to explore one's identity as a Christian artist based on this trend. This dissertation, therefore, develops the argument through personal 'artistic narratives' or storytelling in a form of petit narrative and looks into the sensate embodiment of the first person point of view narrative which covers a meeting with God and features invisible elements. My work has three characteristics. Firstly, it is the repetition of figures. By repetition, it means that an ever-changing object reproduced in the same pattern, not according to certain ideas, principles, or objective rules. While the "mental repetition" of SØren Kierkegaard is examined, the term 'repetition' is reinterpreted by looking into the "difference and repetition" of Gilles Deleuze and other features of repetition, namely creativity, convergence, and extension. These attempts provide a new perspective on repetition, enrich its meaning, and enable observers to view the repetition of existence in religion in association with Christian art. Secondly, it is the embodiment of a moment. The concept of "punctum" of Roland Barthes is used to explain the impromptu, temporary, and momentary expressions found in the work. That is, my encounter with God (an intersection between a vertical meeting with God and a horizontal meeting with fellow men) is visualized in art. Thirdly, it is the embodiment of an area in-between flesh and the world. For an explanation, focus is given to the ontology of "the flesh of the world" of Maurice Merleau - Ponty and the Bible. Eventually, the flesh in my work becomes a painting. Furthermore, I discover myself through the painting, and the painting and I become one. The work visualized through the flesh is the essence of art that creates an invisible world. This dissertation aims at providing a platform where the truths in the Bible are viewed from artistic perspectives, going well beyond a sphere of rationality which is limited by the nature of human perceptive capacity. In the past, art was merely regarded as a supplementary tool for religious activities carried out to discover and communicate truths. These days, however, the concept of aesthetical theology needs to be redefined in the context of modern Christian art. While attempting to find ways to visualize my experience of God as a confession of faith, this dissertation unveils my work process and describes identity as a form of individual knowledge, instead of emphasizing the universal aspects of learning. By doing so, it is expected that my identity and meaning of life as a Christian artist as well as the reason behind the production of my work would be uncovered.

Waxy 유전자 좌위 분자마커를 이용한 아밀로스 함량별 벼 품종 분류

이소명(So-Myeong Lee),권영호(Young-Ho Kwon),강주원(Ju-Won Kang),이지윤(Ji-Yoon Lee),조수민(Sumin Jo),신동진(Dongjin Shin),차진경(Jin-Kyung Cha),박동수(Dong-Soo Park),조준현(Jun-Hyeon Cho),이종희(Jong-Hee Lee) 한국육종학회 2021 한국육종학회지 Vol.53 No.4

A total of 285 Korean rice cultivars were used for amylose content and genetic analyses using KASP markers related to the amylosecontent. We used three polymorphic KASP markers targeting the Waxy (Wx) gene and compared the genotyping efficiency with previouslyreported molecular markers. The rice cultivars were raised in Miryang, Korea, for one period. Genetic analysis of the rice cultivars revealedthat the three KASP markers on the Wx gene were functional for genomic selection of SNPs related to amylose content variation. Therefore,the three KASP markers targeting different Wx alleles can be used for genomic selection. In addition, KASP markers were more efficientthan previously reported molecular markers that target the same alleles. These findings can be beneficial for the breeding and genomic selectionof high-quality rice in Korea.

동할미 발생이 적은 고품질 중만생종 벼 ‘영진’

이종희(Jong-Hee Lee),조준현(Jun-Hyeon Cho),이지윤(Ji-Yoon Lee),송유천(You-Chun Song),박동수(Dong-Soo Park),신동진(Dongjin Shin),이소명(So-Myeong Lee) 한국육종학회 2021 한국육종학회지 Vol.53 No.1

The rice variety ‘Youngjin’ is a japonica rice (Oryza sativa L.) with good eating quality, lodging tolerance, and resistance to therice stripe virus (RSV) and bacterial blight disease (BB). It was developed by the rice breeding team of the Department of Southern Crop,NICS, RDA, in 2016. This variety was derived from a three-way cross between ‘Iksan486’, ‘YR22722-B-B-B-25-1’, and ‘Chengmu,’ withgood eating quality, in the summer of 2007. The pedigree of ‘Youngjin’ was YR27874Acp46-1, and was designated as ‘Miyang283’ in 2012. After local adaptability tests at five different locations from 2014 to 2016, it was released under the name ‘Youngjin’ in 2016. ‘Youngjin’is a mid-late maturing ecotype with a short culm length of 67 cm. This variety was found to be resistant to the K1, K2, and K3 races ofBB, and RSV, and moderately resistant to leaf blast disease. The milled rice kernels of ‘Youngjin’ were translucent and clear, without whitecore and belly, and had good eating quality, according to a panel test. This variety showed a lower percentage of cracked kernels comparedto other susceptible cultivars. The milled rice yield of ‘Youngjin’ was 568 kg/10a, under normal levels of fertilization, determined by thelocal adaptability tests. This cultivar is adaptable to the Yeongnam plain area (Registration No. 7653).

요양보호사가 입소노인에게 제공하는 구강관리실태

정윤미 ( Youn Mi Jung ),김소명 ( So Myeong Kim ),이효진 ( Hyo Jin Lee ),조연희 ( Yeon Hee Cho ),이선구 ( Sun Gu Lee ),김남희 ( Nam Hee Kim ) 한국치위생학회 2010 한국치위생학회지 Vol.10 No.4