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      • 박막 태양전지의 기술개발 동향

        윤선진,정용덕,임정욱,박헌균,김제하,Yun, S.J.,Chung, Y.D.,Lim, J.W.,Pak, H.K.,Kim, J.H. 한국전자통신연구원 2012 전자통신동향분석 Vol.27 No.1

        박막 태양전지 기술은 현재 가장 큰 시장점유율을 보이고 있는 결정질 Si 태양전지와 비교되는 차세대 태양전지 기술로서 큰 관심을 받고 있다. 결정질 Si 태양전지의 효율보다 높은 효율로서, 훨씬 저가로 생산할 수 있는 수준을 목표로 하여 다양한 종류의 박막 태양전지들이 개발되고 있는데, 본고에서는 그 중에서 가장 많이 연구개발되고 있는 세 종류의 박막 태양전지, 즉, 화합물 반도체 박막 태양전지 중 가장 대표적인 CIGS(Cu(InGa)Se2) 태양전지, 지구상에 가장 풍부한 무기 소재인 Si를 기반으로 하는 비정질 Si 박막 태양전지, 그리고 유기물 기반 태양전지 중 가장 높은 효율을 나타내는 DSSC에 대해서 중점적으로 기술하였다.

      • 이차원 전이금속 칼코겐화합물 반도체 소재 및 소자 기술개발 동향

        윤선진,임정욱,조대형,정용덕,Yun, S.J.,Lim, J.W.,Cho, D.H.,Chung, Y.D. 한국전자통신연구원 2014 전자통신동향분석 Vol.29 No.6

        수 원자층 두께의 전이금속 칼코겐화물 이차원 반도체 소재는 스위칭 소자 등에 활용하기에 적합한 밴드갭 에너지를 가지며, 높은 이동도와 우수한 광반응성으로 인해 최근 큰 관심을 끌고 있다. 특히 이차원 소재이므로 dangling bond가 없다는 점, 구조적 안정성, 실리콘에 뒤지지 않는 고이동도, 직접천이 특성 등으로 인해 차세대 전자소자용, 더 나아가 실리콘 반도체 대체 소재로써의 가능성도 점쳐지고 있다. 본고에서는 전이금속 칼코겐화물 이차원 반도체의 소재 특성과 제조방법, 소자 응용면에서의 기술개발 동향, 시장전망 등에 대해 소개하고, 이 소재가 현재 기대하는 만큼 중요하게 활용되고 기술이 발전하기 위해서 반드시 해결해야 할 숙제 등에 대해 논의하고자 한다.

      • KCI우수등재

        표면 조성분석의 정량화를 위한 Pt - Co 합금박막 표준시료의 개발 및 공동분석

        김경중(K. J. Kim),문대원(D. W. Moon),한명섭(M. S. Han),강희재(H. J. Kang),김준곤(J. K. Kim),한승희(S. H. Han),이중환(J. H. Lee),윤선진(S. J. Yun),신광수(K. S. Shin),김차연(C. Y. Kim),김태형(T. H. Kim),이동석(D. S. Lee),김영남(Y. N. Kim),최홍 한국진공학회(ASCT) 1998 Applied Science and Convergence Technology Vol.7 No.3

        Si 기판 위에 3종의 Pt-Co 합금박막 (Pt66-Co34, Pt40-Co60, Pt18-Co82)과 순수한 Pt, Co 박막 시료를 제작하여 표면 조성분석의 정량화 및 표준화를 위한 표준시료로 제안하였다. in-situ X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) 분석에 의해 증착된 이원 합금박막의 조성이 정확히 조절되었으며, 합금박막의 실제 조성은 유도결합플라즈마-원자방출분광법 (inductively coupled plasma-atomic emission spectroscopy: ICP-AES)과 러더퍼드 후방산란분광법 (Rutherford back-scattering spectrometry: RBS)에 의해 결정되었다. in-situ XPS 결과와 ICP에 의한 조성을 비교한 결과 매질 효과를 고려하면 비교적 정확한 조성을 구할 수 있음이 확인되었다. 이 시료를 이용한 XPS와 Auger electron spectroscopy(AES)에 의한 국내 공동분석 결과는 약 4% 내외의 큰 편차를 보이고 있지만, 평균 조성 값은 약 1%의 오차 범위 내에서 두 방법에 의한 결과가 서로 잘 일치하였다. 이온빔 스퍼터링에 의해 Pt 조성이 증가된 표면층이 형성되어 정확한 조성분석을 위해서는 선택스퍼터링에 의한 표면 변형을 정량적으로 이해하여야 함을 알았다. Pure Pt, Co and their alloy thin films with three different compositions (Pt66-Co34, Pt40-Co60 and Pt18-Co82) were deposited on Si(100) wafers and proposed as a set of certified reference materials (CRM) for the quantification and standardization of surface compositional analysis. The compositions of the binary alloy thin films were controlled by in-situ XPS analyses and the certified compositions of the films have been determined by ICP-AES and RBS analyses after thin film growth. Through comparison of the compositions determined by in-situ XPS with those by ICP, relatively accurate compositions could be obtained with a matrix effect correction. Standard deviations of XPS and AES round robin tests with the Pt-Co alloy thin films were large up to about 4%. On the other hand, the average compositions of the Pt-Co alloy thin films by two methods were in a good agreement within 1 %. The formation of a Pt rich surface layer by ion beam sputtering indicates that the surface modification by preferential sputtering must be understood for a better compositional analysis.

      • KCI등재

        Fe - Zr - N 연자성 박막의 자기적 성질

        김택수(T. S. Kim),김종오(C. O. Kim),이중환(J. W. Lee),윤선진(S. J. Yun),김좌연(J. Y. Kim) 한국자기학회 1996 韓國磁氣學會誌 Vol.6 No.5

        Thin films of Fe-Zr-N were fabricated by rf magnetron reactive sputtering method. The saturation magnetization and coercivity as functions of annealing temperature and partial pressure of nitrogen gas, effective permeability at high frequencies, and thermal stability were investigated. Magnetic softness was exhibited in the composition range of Fe_(72-78)Zr_(7-10)N_(15-18) which was boundary between polycrystalline and amorphous structure. These films exhibited magnetic softness with saturation magentic flux density of 1.55 T and effective permeability of about 3000 at 1 ㎒. These films also exhibited thermal stability by sustaining effective permeability of 2500 or above as the temperature was raised to 550 ℃. It is assumed that good magnetic softness is obtained because grain growth of α-Fe is prohibited due to the precipitation of ZrN nanocrystals. The grain sizes of α-Fe films were 40~50 Å and the grain sizes of ZrN nanocrystals were 10~15 Å.

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