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- 저자 : 안남준 (검색결과 4 건)
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MOCVD에 의한 Ti 금속 기판 위의 비정질 Ga₂O₃ 박막 형성과 다이오드 특성
안남준,안장범,안형수,김경화,양민 한국결정성장학회 2023 한국결정성장학회지 Vol.33 No.4
Ga₂O₃ thin films were deposited on Ti substrates using metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) at temperatures ranging from 350 to 500°C. Lower deposition temperatures were chosen to minimize thermal deformation of the Ti substrate and its impact on the Ga₂O₃ film. Film surfaces tended to become rough at temperatures below 500°C due to three-dimensional growth, but the film formed at 500°C had the most uniform surface. All deposited films were amorphous in structure. Vertical Schottky diodes were fabricated and I-V and C-V measurements were performed. I-V measurements showed higher operating voltages compared to a typical SBD for films grown at different temperatures. The sample grown at 500°C, which had the most uniform surface, exhibited the lowest operating voltage. Higher growthtemperatures resulted in higher capacitance values according to C-V measurements Ga₂O₃ 박막은 금속 유기 화학기상증착법을 사용하여 Ti 기판에 350~500°C 범위의 비교적 낮은 온도로 증착되었다. 낮은 온도를 선택하여 Ti 기판의 열적 변형과 Ga₂O₃ 박막에 미치는 영향을 최소화하였다. 500°C 이하에서 박막 형성시, 기판 표면에서 원자들의 확산에너지가 충분하지 못하여 박막 표면이 3차원 성장으로 인해 거칠어지는 경향을 보였다. 그러나 500°C에서 형성된 박막은 2차원 박막 형태로 형성되었으며 비교적 균일한 표면을 가지고 있음을 확인하였다. 모든 증착된 박막은 비정질 구조였다 . Ti 금속 기판 위에 형성된 Ga₂O₃ 박막 위에 금속 전극을 형성하여 수직 쇼트키 다이오드를 제작하였으며 , 제작된 다이오드의 전류-전압 (I-V) 및 캐패시턴스-전압 (C-V) 특성을 평가하였다. I-V 측정 결과, 대부분의 다이오드 소자에서 매우 높은 동작 전압을 나타냈으며, 비교적 균일한 표면을 갖는 500°C에서 성장한 샘플은 가장 낮은 동작 전압을 가짐을 확인할 수 있었다. 또한, C-V 측정 결과, 박막의 성장 온도가 높을수록 커패시턴스 값이 증가하는 것을 확인할 수 있었다.
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MOCVD에 의한 Si 기판 위의 Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 박막 저온 결정 성장과 전기적 특성
이정복,안남준,안형수,김경화,양민,Lee, Jung Bok,Ahn, Nam Jun,Ahn, Hyung Soo,Kim, Kyung Hwa,Yang, Min 한국결정성장학회 2022 한국결정성장학회지 Vol.32 No.2
Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin films were grown on n-type Si substrates at various growth temperatures of 500, 550, 600, 650 and 700℃. The Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin films grown at 500℃ and 550℃ were characterized as featureless flat surface. Grown at higher temperatures (600, 650, and 700℃) showed very rough surface morphology. To figure out the annealing effect on the thin films grown at relatively low temperatures (500, 550, 600, 650 and 700℃), the Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> films were thermally treated at 900℃ for 10 minutes. Crystal structure of the Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> films grown at 500 and 550℃ were changed from amorphous to polycrystalline structure with flat surface. Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> film grown at 550℃ was chosen for the fabrication of a Schottky barrier diode (SBD). Electrical properties of the SBDs depend on the thermal treatment were evaluated. A MSM type photodetector was made on the low temperature grown Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin film. The photocurrent for the illumination of 266 nm wavelength showed 5.32 times higher than dark current at the operating voltage of 10 V.
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RFA 치료 시 CT MIP 재구성 영상을 통한 종양의 정확한 Targeting 방법을 위한 연구
김동현,서정범,안남준,이정범,박상우,장일수,박희선 대한인터벤션영상기술학회 2011 대한인터벤션영상기술학회지 Vol.14 No.1
목 적 간동맥화학 색전술(Transcatheter Arterial Chemoembolization:TACE)을 시행한 환자를 대상으로 고주파 열 치료술(radiofrequency ablation:RFA)을 시행하는 경우, Lipiodol CT 검사를 통해 종양(Lipiodol 침착 결절부위)의 위치를 파악하고, 투시 영상에 종양의 위치를 표시하여 RFA시술 시 보다 정확한 위치를 Guide 함으로, 높은 치료 성과를 얻고자 한다. 대상 및 방법 본원 영상의학과에서 TACE를 시행한 환자 중 RFA 적응증 환자를 대상으로 하였으며, RFA 시술 전 시행한 Lipiodol CT 검사를 MIP영상으로 재구성 하여 이를 바탕으로, 기준점(Spine)과 종양의 거리를 측정하였다. Intervention 투시 장비에 MIP 재구성을 통해 얻어진 측정값과 동일한 위치에 표시하고 정확한 결절부위에 Targeting 할 수 있도록 Guide 한다. 평가 방법은 RFA 시술 후 시행한 CT 검사를 통해 시술 결과를 얻는다. 결 과 RFA 시술 전 시행한 CT MIP 영상을 통해 종양의 위치를 정확하게 파악하고 투시영상에 표시하여 Guide함으로써 종양의 크기가 작거나 다발성 간세포 암(3개 이하)의 경우에도, 정확한 targeting으로 재치료율을 감소시키고 RFA 치료 시간을 단축시켜 환자의 위험 부담을 줄일 수 있었다. 결 론 투시 장비를 이용한 RFA 시술시 종양의 위치가 정확히 확인되지 않는 경우, 대조도 분해능이 우수한 CT검사 통해 기준점을 정하여 투시 영상에 표시함으로 치료 성과를 높일 수 있다고 생각된다. 이를 위해 보다 다양한 기준점을 찾는 연구를 계속 해야 할 것이다.
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진단용방사선발생장치의 안전관리에 관한 규칙 개정에 따른 이동형 방사선검사의 개선방안
최준구(Jun-Gu Choi),김경수(Gyeong-Su Kim),김병기(Byeong-Gi Kim),안남준(Nam-Jun Ahn),김형선(Hyeong-Sun Kim),김상건(Sang-Geon Kim),임시은(Si-Eun Lim) 대한방사선과학회(구 대한방사선기술학회) 2007 방사선기술과학 Vol.30 No.1
방사선종사자와 환자 및 보호자의 안전을 위해 개정된 진단용방사선발생장치의 안전관리 규칙이 2006년 2월 10일 공포되었다. 이 규칙에는 중환자실, 수술실, 응급실을 제외한 곳의 방사선검사 시 반드시 방사선방어 용칸막이를 설치하도록 하고 있다. 이 연구의 목적은 이동형 진단용방사선발생장치를 안전하게 관리하여, 방사선으로 인한 위해를 방지하고, 환자 및 보호자들로부터 발생될 수 있는 고객 불만사항들을 최소화 하는데 있다. 조사대상은 병실 이동형 방사선검사환경과 본원의 의료정보시스템(KIS) 및 의료영상전송시스템(PACS)의 통계 데이터를 조사하였다. 그리고 병실 이동형 방사선검사 시 환자 상태 및 감염 등 관련 정보를 조사하여 자료화 하였다. 자료 분석을 통한 이동형 방사선검사에 대한 개정된 규칙을 적용할 경우 고려되는 문제점은 공간적인 측면에서의 제약, 운영적인 측면에서의 인력 및 비용, 업무적인 측면에서 환자 및 보호자 만족도저하 등의 문제가 예상되었다. 따라서 위와 같은 문제를 해결하기 위해 다인병실의 검사를 제한하고, 각 병동에 있는 치료실을 이용하여 검사하도록 하였다. 그 결과 전체 병실 이동형 방사선검사율이 50% 가까이 감소하였고, 거동이 양호한 환자의 병실 이동형 방사선검사율도 85% 이상 감소하였다. 이 결과는 새로운 법 규정에 따라 예상되는 인력, 비용, 고객만족도 저하의 문제들을 해결할 수 있는 대안이 될 수 있었다. 또한 병실 이동형 방사선검사로 인한 환자 및 보호자를 방사선노출로부터 보호하고, 검사로 인한 주위 환자 및 보호자의 불편을 최소화하는데 의의가 있다. A safety management rule of the diagnosis radiation system which opened a court 2006 February 10th was promulgated for safety of the radiation worker, patients and patients" family members. The purpose of this study is to minimize injury by radiation that can happen to patients and people around a sick ward when managing mobile X-ray system. This study analyzed sickroom environment of mobile X-ray examination and the statistical data of the Konkuk medical Information System(KIS) and the Picture Archiving Communication System(PACS). This study also investigated patient conditions, infection, relation information and related data, when the sickroom mobile X-ray examination is used. Through data analysis, many problems were expected such as restriction of space side, manpower and expense of business side, satisfaction degree decline of patient and protector of operation side. Therefore, we tried to restrict examination of multi bed sickroom, and to use treatment room in each ward to solve problem mentioned. As a result, the whole sickroom mobile X-ray examination rate decreased to near 50%, and mobile X-ray examination rate for inpatients decreased to more than 85%. This study shows that several attempts we did should be helpful for manpower, patients satisfaction and expenses. Also, they should protect patients in sickroom from unnecessary radiation exposure and could minimize inconvenience of patients and their family members from x-ray examination.
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