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SOI를 이용한 하드 디스크 드라이브용 정전형 트랙 추적 마이크로 액추에이터의 제작
김봉환,전국진,성우경,이효정,Kim, Bong-Hwan,Chun, Kuk-Jin,Seong, Woo-Kyeong,Lee, Hyo-Jung 대한전자공학회 2000 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.37 No.8
0.3 g의 하드디스크 드라이브에 사용될 수 있는 마그네틱 헤드를 장착할 수 있는 트랙 추적용 마이크로 액추에이터를 제작하였다. 이 액추에이터는 정전방식을 적용하였으며 2${\mu}m$ 두께의 열산화막과 20${\mu}m$ 두께의 실리콘 막이 직접접합된 SOI 웨이퍼를 이용하여 단지 3장의 마스크만을 사용하여 제작하였다. 고유진동수는 18.5 kHz이고 15 V DC와 15 V AC 전압이 동시에 가해진 상황에서 그 변위가 1.4 ${\mu}m$이였고 이때 30 V일 때 50 N의 정전력을 나타내었다. 또한 2.21 kHz의 서보 주파수 대역에서 이득여유가 7.51 dB이고 위상여유가 50.98$^{\circ}$이였다. 따라서 이 트랙추적 마이크로 액추에이터는 10 Gb/in$^2$의 기록밀도를 요구하는 하드디스크 드라이브에 충분히 이용될 수 있을 것이다. We have achieved a high aspect ratio track-following microactuator (TFMA) which is capable of driving 0.3 ${\mu}m$ magnetic head for hard disk drive (HDD). it was fabricated on silicon on insulator (SOI) wafer with 20 ${\mu}m$ trick active silicon and 2 ${\mu}m$ thick thermally grown oxide and piggyback electrostatic principle was used for driving TFMA. The first vibration mode frequency of TFMA was 18.5 kHz which is enough for a recording density of higher than 10 Gb/in$^2$. Its displacement was 1.4 ${\mu}m$ when 15 V dc bias plus 15 V ac sinusoidal driving input was applied and its electrostatic force was 50 N. The fabricated actuator shows 7.51 dB of gain margin and 50.98$^{\circ}$ of phase margin for 2.21 kHz servo-bandwidth.
김대현(Kim, Dae Hyun),성우경(Seong, Woo Kyeong),김홍국(Kim, Hong Kook) 한국음성학회 2015 말소리와 음성과학 Vol.7 No.4
In this paper, several experiments are performed according to deep neural network (DNN) based features for the performance comparison of speaker verification (SV) systems. To this end, input features for a DNN, such as mel-frequency cepstral coefficient (MFCC), linear-frequency cepstral coefficient (LFCC), and perceptual linear prediction (PLP), are first compared in a view of the SV performance. After that, the effect of a DNN training method and a structure of hidden layers of DNNs on the SV performance is investigated depending on the type of features. The performance of an SV system is then evaluated on the basis of I-vector or probabilistic linear discriminant analysis (PLDA) scoring method. It is shown from SV experiments that a tandem feature of DNN bottleneck feature and MFCC feature gives the best performance when DNNs are configured using a rectangular type of hidden layers and trained with a supervised training method.
이국녕(Kook-Nyung Lee),정석원(Suk-Won Jung),성우경(Woo-Kyeong Seong) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.7
떠 있는 열선 구조를 채택한 고온 구동 마이크로 MEMS히터의 특성을 평가하고 분석하였다. 고온 MEMS 히터는 적외선을 이용한 광학식 가스센서의 주요한 핵심 부품인 적외선 발광원으로 활용할 수 있다. MEMS 기술을 이용하여 대량생산이 가능하여 가격을 낮출 수 있고 소비전력이 작아 적외선 센서의 광원으로 응용되는 등 관련 분야의 연구가 많이 이루어지고 있다. 본 논문에서는 실리콘 기판으로부터 떠 있는 실리콘 지지구조물 위에 형성된 백금 저항성으로 고온 발열 동작하는 새로운 구조의 MEMS 히터에 대한 온도 특성을 고해상도 적외선 카메라로 측정한 이미지를 이용하여 분석하였다.
정석원(Suk-Won Jung),박빛나(Bit-Na Park),이국녕(Kook-Nyung Lee),이민호(Min-Ho Lee),성우경(Woo-Kyeong Seong) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.11
The Si nanowire's piezoresistive effect can be extremely large due to its tiny cross-sectional area. In this research, Si a nanowire piezoresistor is fabricated on an accelerometer structure by all top-down MEMS based process and its piezoresistive effects were investigated.