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      • KCI등재

        컨테이너 운송용 AGV의 운동궤적에 관한 연구

        박정보,김민주,이승수,김중완,전언찬 한국공작기계학회 2004 한국생산제조학회지 Vol.13 No.5

        In this study, we have developed the simulation tool in order to investigate driving trajectory of AGV for container transport. AGV for container transport is different from the indoor AGV in that it is a large size structure at being loaded the weight of 40 ton. And AGV for container transport is applied to front wheel steering, rear wheel steering, all wheel steering, and crap steering. Therefore, we have developed the simulation tool considering dynamic problems and a center of turning in accordance with fourth ways of steering mode. As the result of this study, we have confirmed that this tool is useful and cost-effective in the dynamic analysis or large size vehicles. Also, it is useful to calculate the minimum radius of turning for large size vehicles.

      • KCI등재
      • KCI등재

        타원편광 조명에 의한 초점심도 향상에 관한 연구

        박정보,김기호,이성묵 한국광학회 1998 한국광학회지 Vol.9 No.3

        광학적 분해능의 한계에 도달한 크기를 갖는 패턴의 분해능과 초점심도를 향상시키기 위해서 여러 가지 결상 방법들이 시도되고 있다. 일반적으로 선형 편광에서는 패턴 방향에 따라 TM mode 와 TE mode 사이에 contrast gap이 존재한다. 하지만 기존의 연구에서 이러한 conteast gap을 해결해 줄 수 있는 방법으로 타원편광 조명법이 제안하였다. 본 연구에서는 서로 방향이 수직인 패턴이 함께 있는 임의의 마스크에 타원편광을 포함한 여러 편광 조건을 적\ulcorner해 봄으로써, 초점심도를 향상시킬 수 있는 편광 조명 상태를 찾았보았다. 각 편광 조건에 따른 초점심도는, 허용 가능한 노광량(Exposure Dose0과 Critical Dimension(CD)의 오차 범위에 대한 ED-Tree(Exposure-Defocus Tree)를 통해 구하였다. 그 결과, 광학계의 조건에 따라 타원편광 조명이 초점심도를 향상시키는 효과가 있음을 알 수 있었다. To enhance the resolution and the depth of focus of the patterns whose size reaches the optical resolution limits, the various imaging methods are being tried. Generally in the linear polarization illumination methods, the contrast gap exists between TE mode TM mode according to the pattern direction. However, through the previous research, the elliptical polarization illumination(EPI) method was proposed to overcome this contrast gap. In this research, we investigated the optimal polarization condition to be able to enhance the depth of focus(DOF) for the optional mask which is containing the opposite direction patterns by applying the various polarization conditions including EPI. The DOF according to each polarization condition was obtained by ED-Tree(Exposure-Defocus Tree) for the given exposure dose and CD error boundaries. As the result, we can ascertain th effect of EPI for the enhancement of DOF in some condition of optical system.

      • KCI등재

        패턴 분해능 및 초점심도 향상에 대한 사입사 조명

        박정보,이성묵 한국광학회 1999 한국광학회지 Vol.10 No.6

        본 연구에서는 파장 0.248$\mu$m의 KrF Eximer Laser를 광원으로 하고 NA가 0.65인 광학계를 사용하는 리소그래피 시스템에서, 환형(annular)조명과 4구(quadrupole)조명의 조건들을 바꾸어 가며 구현하고자 하는 패턴의 분해능과 초점심도 향상에 어떠한 영향을 주는지 알아보았다. 그 결과, 환형 조명에서는 원형 마스크와 광학적 근접효과를 보정하기 위해 보조 패턴을 삽입한 마스크의 경우, 최적의 분해능과 초점심도를 보이는 조명조건이 다름을 알 수 있었다. 또한, 사구 조명의 경우에는 일반적으로 사용되는 45$^{\circ}$위치의 X자형 배치를 주요 패턴의 방향에 따라 적절히 바꾸어 주면 분해능과 초점심도를 향상시킬 수 있음을 확인하였다. In this paper, we have studied on the effects of annular and quadrupole illuminations by changing their conditions for enhancing the pattern resolution and depth of focus (OaF) in the optical lithography system using KrF Eximer laser 0.248$\mu$m and 0.65 NA. As a result, it is revealed that each illumination condition to optimize the resolution and the OaF for the mask containing the assistance pattern is different under the annular illumination. And in case of quadrupole illumination, we could ascertain that the resolution and the OaF would be enhanced through changing the arrangement of each pole from the conventional X type (45 degrees) to some proper type according to the main pattern direction. ction.

      • KCI등재

        하중에 의한 위치 결정오차와 테이블 처짐에 관한 연구

        박정보,전언찬 한국공작기계학회 1999 한국생산제조학회지 Vol.8 No.6

        As the accuracy of manufactured goods needed high accuracy processing has made the efficiency of NC and measurement technology development, the innovation of machine tools has influence the development of the semiconductor and optical technology. The movement errors can be expressed in terms of yaw, roll and pitch etc. In the case of expanding the error range, static, dynamic and servo gain errors can be included. Machining center might have twenty-one movement errors including three types of joint errors. Those errors have been measured on he condition of just loading of standard table. Regarding these measuring methods, the mechanical compliance of the structure has not been considered. In this paper, therefore, the influences of the additional load on the positioning accuracy are investigated. The results and the techniques proposed in this study can be considered very effective and useful to compensate more correctly the positioning motion.

      • KCI등재

        레이저를 이용한 테이블 처짐 측정과 시뮬레이션에 관한 연구

        박정보,김민주,전언찬 한국공작기계학회 1999 한국생산제조학회지 Vol.8 No.6

        The acceleration of the performance of machine tools influences the development of the semi-conductor and optical technology as the development of NC and measurement technology. Because the measurement has been done to unload condition without considering of mechanical stiffness in the case of machining center as we measure the quasi-static error of machine tools on general studys, people who works on the spot has many problems on the data value. Also there are no satisfiable results until now in spite of many studys about this because the deflections of the table and the shaft supporting a workpiece influence the accuracy of the workpiece. And there is doubt about the inspection method of measured error. In this paper, Therefor, we will help working more accurately on the spot by measuring, analyzing, displaying the deflection of the table and support shaft when we load on the table and the support shaft of machining center using laser interferometer. Also we try to settle new conception of the measurement method and more accurate grasp of the deflection tendency by verifing the tendency of the error measured through the comparison of the simulated error using ANSYS, a common finite element analysis program, which is able to measure heat deformation, material deformation, and error resulted from this study.

      • 원호검사법을 이용한 진원도 및 직각도 측정에 관한 연구

        박정보,무순,김민주 三陟大學校 産業科學技術硏究所 2002 産業科學技術硏究論文集 Vol.7 No.3

        This study is a measurement of the circularity and orthogonality for machining center. We use the way that measures the circularity and orthogonality by remodeling and improvement the existing measure device. The measurement device consist of two-dimensional probe, master ring and square. We study that regulation velocity, trigger and data sampling method influence circularity of machining center table. and we study the measurement of orthogonality using two-dimensional probe and a square in this experiment.

      • KCI등재

        코로나-19 감염증의 확산과 공간적 특성: 숙주, 환경적 요인, 기존 신규 감염병과의 관계

        정보,김동현,홍성빈,소정,양성준 한국지리정보학회 2022 한국지리정보학회지 Vol.25 No.2

        The purpose of this study is to examine the spatial characteristics and factors in the occurrence of COVID-19 from January 20 to August 30 of 2020. The exploratory spatial data analysis and spatial econometrics model are used. The spatial unit of analysis is 255 si-gun-gu in Korea. As a result of the analysis, COVID-19 infection did not appear to be a significant factors(host and environment) influencing the emergence of existing new infectious diseases, but there was a relationship between spatially adjacent areas and their occurrence. It also showed a close relationship with the outbreak pattern of group 4 infectious diseases, another type of new infectious disease in Korea. The result of this study shows that COVID-19 is not a new pattern of emerging infectious diseases. It means that the properties of the space where new infectious diseases appear must be continuously managed in order to effectively control new infectious diseases. 본 연구의 목적은 2020년 1월부터 8월까지 발생한 COVID-19 감염증 발생의 공간적 확산의패턴을 파악하고 영향요인을 추정하고자 하는 것이다. 우리나라 시·군·구별 COVID-19 확진자를 대상으로 탐색적 공간자료분석과 공간회귀모형을 활용하여 분석하였다. 분석의 결과 COVID -19는 기존에 논의되던 감염병 출현의 요인이었던 숙주와 환경요인이 큰 영향을 미치는 것으로나타나지 않았으며 공간적으로 인접한 지역과의 관계가 높게 나타났다. 특히 신종 감염병인 4군감염병의 발생 패턴과 밀접한 관련이 있는 것으로 나타났다. 이 연구의 결과는 COVID-19가 새로운 감염병임에도 불구하고 기존에 발생하였던 신종 감염병의 발생과 전혀 다른 패턴이 아니라는점을 보여준다. 이는 신종 감염병을 효과적으로 통제하기 위해서 과거 새로운 감염병이 출현하였던 공간의 특성을 지속적으로 관리해야 함을 의미한다.

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