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공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가
문인호(In-Ho MOON),김동권(Dong-Kwon KIM),조상준(Sang-Joon CHO),황영규(Young-Kyu HWANG) 대한기계학회 2005 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2005 No.5
In this study, the wafer transportation speed was evaluated by numerical and experimental method for three injection nozzle array(face, front, rear) in an air levitation system. Test facility for 300 ㎜ wafer was equipped with two control tracks and a transfer track of 1.5 m length. The diameter and air velocity of injection nozzle are 0.8 ㎜, 50~100㎧ respectively. When the numerical results compared with experimental results of maximum wafer transportation speed, the numerical results are higher by 16%. The numerical result of mean wafer transportation speed is higher than experimental result about 20% in front array and 18% in face array.
선형 구동 시스템에 적용한 비접촉 전원장치에 관한 연구
황계호(Gye-Ho Hwang),이영식(Yeung-Sik Lee),문인호(In-Ho Moon),조상준(Sang-Joon Cho),이봉섭(Bong-Sub Lee),정도영(Do-Young Jung),김동희(Dong-Hee Kim) 대한전기학회 2006 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2006 No.7
최근 반도체 및 FPD 산업에서 Glass의 사이즈, 무게의 증가함에 따라 물류 이송 장비의 전원장치인 비접촉 전원장치의 크기와 용량이 증가하는 추세이며, 또한, 클린룸의 규모가 커짐에 따라 물류 이송 장비 시스템의 길이가 길어지고 Vehicle의 수가 증가하는 추세이다. 본 논문에서는 여러 대의 Vehicle간 독립제어가 가능하고, 물류 이송 장비의 구조가 직선 부분과 곡선부분이 혼용되어진 구조에서도 사용 가능한 정전류 비접촉 전원장치의 주요 전력변환 토플로지 별 해로해석, 제어방법을 제시하였고, 특히 직 · 병렬 공진 컨버터의 회로해석, 특성평가를 행하였다. 이 특성평가를 바탕으로 정전류 비접촉 전원장치의 시제품을 제작하여 저항성 부하와 선형 구동 시스템에 적용한 Vehicle 2대를 부하로 사용하여 실험을 행하여 실제 적용, 가능함을 보이고자 한다.
곡선 구간에 운행 가능한 선형 전동기 제어에 관한 연구
김원곤(Won-Gon Kim),김형균(Hyeung-Gyun Kim),윤영민(Yung-Min Yoon),박건우(Gun-Woo Park),문인호(In-Ho Moon),조상준(Sang-Joon Cho),김장목(Jang-Mok Kim) 대한전기학회 2006 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2006 No.7
본 논문에서는 곡선구간에서도 구동이 가능한 선형 전동기 제어방법을 제안하였다. 곡선구간에 선형 전동기를 적용할 때 전동기의 고정자와 이동자의 기구적인 위치 상호관계에 의해 각 상의 위상관계는 직선구간과 다르게 나타나게 된다. 따라서 직선구간의 제어방법을 그대로 곡선구간에 적용 시 제어성능이 저하되어 전동기의 발생추력은 감소하게 되고, 최악의 경우 곡선구간에서 구동이 불가능한 상태가 된다. 이러한 문제점을 개선하기 위하여 전동기의 역기전력 정보로부터 위상정보를 추출하여 곡선구간의 구동 제어알고리즘에 반영하였고, 제어시스템을 구성하여 곡선구간에서 전동기의 구동성능이 개선됨을 보인다.