地域經濟 活性化를 爲한 벤처기업 育成政策에 關한 硏究

정지훈 建國大學校 2002 국내석사

고추에 발생한 Tobacco mild green mosaic virus-YP의 전체염기 서열 및 특성

정지훈 경북대학교 대학원 2007 국내석사

Unusual viral symptoms of yellow mosaic were observed on fruit of pepper (Capsicum annuum L.) grown in greenhouse at Miryang in Korea 2007. These samples were analyze by electron microscopy and reverse transcription-polymerase chain reaction (RT-PCR). As a result of electron microscopy, rod shaped of 300nm in length were observed. Pepper samples were subjected to RT-PCR with primer sets specific 8 different viruses involving PePMoV, PMMoV, BBWV, CMV, RMV, ToMV, TMV and TMGMV. The isolated virus was identified as TMGMV and designated as Miryang yellow pepper isolate, TMGMV-YP. The results of indicator plant tests from inoculated leaves showed necrotic local lesions in Chenopodium amaranticolor, C. quinoa, Nicotiana tabacum cv. Xanthi-NC and showed systemic symptoms in Nicotiana occidentales, Nicotiana clevelandii and Nicotiana benthamiana. Nicotiana tabacum cv. Samsun and Capsicum annuum showed local lesions and systemic infection. Capsicum annuum var. Cheongyang showed systemic infection only. The complete nucleotide sequence and coat protein(CP) gene showed 98.1%, 97.3%, 97.3% and 98.1% nucleotide identities and 98.7%, 98.1%, 98.1% and 96.9% amino acid identities with TMGMV-U2-TMV, TMGMV-Japanese, TMGMV-HP and TMGMV-P, respectively

진성리더십이 코칭행동에 미치는 영향 및 실제와 선호 코칭행동의 차이

정지훈 순천향대학교 교육대학원 2022 국내석사

본 연구의 목적은 선수들이 인식하는 선호 코칭행동과 실제 코칭행동의 차이를 알아보고, 지도자의 진성리더십이 코칭행동에 미치는 영향에 대해 알아보는 것이다. 연구대상은 학교급별 스포츠팀에 소속된 234명으로 설문지를 통해 진성리더십과 코칭행동평가체계를 활용하였다. 자료처리는 SPSS 26.0 프로그램을 이용하였으며, 변인간 미치는 영향을 알아보기 위하여 독립표본 t-검정, 일원배치분산분석(One-way ANOVE), 단계적 회귀분석을 실시하였다. 연구 결과 첫째, 코칭행동평가체계 범주간 정, 부적인 상관관계를 확인하였다. 둘째, 실제 코칭행동과 선호 코칭행동에서 강화, 설명, 조직, 처벌, 통제, 처벌 후 기술지도, 무강화에서 통계적으로 유의한 차이가 나타났다. 셋째, 경력에 따른 실제 코칭행동의 차이를 분석한 결과 강화, 무강화, 격려, 실수 후 기술지도, 처벌기술지도, 통제, 일반적 격려에서 유의미한 차이가 나타났다. 넷째, 경력에 따른 선호 코칭행동의 차이를 분석한 결과 강화, 무강화, 격려, 처벌, 처벌기술지도, 실수무시, 일반적 격려에서 유의미한 차이가 나타났다. 또한 진성리더십이 코칭행동에 미치는 영향을 알아본 결과 실제 코칭행동의 강화지도영역은 통계적으로 유의미한 영향을 미치는 것으로 나타났으며, 처벌통제지영역은 진성리더십에 부적인 영향을 미치는 것으로 확인됐다. 다섯째, 선호 코칭행동의 강화지도영역은 진성리더십에 통계적으로 유의미한 영향을 미치는 것으로 나타났으며, 처벌통제영역 증 인간적 소통은 진성리더십에 부적인 영향을 미치는 것으로 확인됐다. 결론적으로 처벌 통제영역을 보일수록 선수에게 부정적인 영향을 미치는 것으로 나타났으며, 강화지도영역을 바탕으로 지도를 할 때 긍정적인 영향을 미치게 된다. 따라서 선수들과 긍정적 관계 및 태도를 형성하기 위해 처벌통제영역 지도법 보다는 강화지도영역의 지도법을 활용한다면 지도의 효율성을 높일 수 있다.

범죄피해자의 인권보장 방안에 관한 연구

정지훈 경북대학교 행정대학원 2012 국내석사

범죄피해자들은 신체적, 경제적 피해뿐만 아니라, 극심한 충격과 고통, 혼란 등으로 인한 정신적 피해를 겪는다. 그럼에도 우리나라 형사사법체계에서 피의자(피고인)의 권리는 법적으로 보장되고 있는 반면, 피해자는 매우 부차적인 존재로 취급되어 왔다. 더욱이 범죄피해로부터의 치유는 온전히 피해자의 몫으로 남겨져왔다. 그러나 외국에서는 1950년대 이후 피해자학의 발달로 피해자 지원의 제도적 장치가 마련되어왔다. 더욱이 1985년 UN총회에서 채택된 ｢범죄와 권력남용 피해자에 대한 사법의 기본원칙선언에서는 피해자를 “각국의 실정형법 또는 국제적으로 승인된 규범에 반하는 작위 또는 부작위에 의하여 육체적, 정신적 상처, 감정적 고통, 경제적 손실을 입었거나 기본권을 중대하게 침해당한 개인 또는 집단”으로 정의하고, “각 국은 변화하는 상황에 확실히 대응하기 위해 법률과 실무를 정기적으로 점검해야 한다. 필요하다면 정치적 또는 경제적 권력 남용에 해당하는 행위를 예방․규제하기 위한 정책과 실무를 뒷받침할 법률을 제정, 시행해야 하며, 피해자의 권리를 밝히고 구제책을 마련하여 그들이 이 제도를 용이하게 이용할 수 있도록 해야 한다”고 규정하고 있다. 이러한 UN의 선언과 국내․외의 활발한 인권운동은 피해자를 보는 관점을 제시하고, 피해자의 권리확보를 위한 법․정책을 마련하는데 압력이 되었다. 우리나라에서는 1980년대 이후 민간단체를 중심으로 피해자 지원활동이 시작되면서 범죄피해자의 회복이 더 이상 개인적 차원의 문제가 아니라 사회적 책임으로 인식되고 있다. 초기에는 여성, 아동, 장애인 등 사회적 약자를 중심으로 한 범죄피해자 지원이 대부분이었지만, 2005년 범죄피해자보호법이 제정되었고 2010년 5월 14일에는 회복적 사법의 새로운 경향을 반영한 범죄피해자보호법의 전면개정이 이루어졌고, 범죄피해자보호기금법이 제정되었다. 그러나 범죄피해자는 가장 직접적인 당사자임에도 불구하고, 현행법상의 여러 절차에서 소외되어 이른바 ‘주변적인 인물’로만 취급되고 있는 실정이다. 범죄로 인해 직적 고통을 당한 피해자는 수사나 재판과정에서 주위의 차가운 반응을 받는 고통을 감수해야 하고, 심리적 외상 후 스트레스장애(PTSD) 등과 같은 심각한 병적 증세에 시달리곤 한다. 범죄피해자에게는 증인 신문 시 사생활 침해의 우려가 있는 부분에 대하여 진술 거부권과 수사종결 통지를 받을 권리 등을 보장하고 있지만, 이는 범죄피해자가 당하는 피해를 원상회복시켜 주는 것은 아니다. 그럼에도 오늘날의 범죄피해자의 권리보호를 위한 특별법의 제정 및 개정은 보편적이지 못한 특정한 권리만을 보호하고 있는 실정이다. 범죄피해자의 권리보호는 적어도 피의자․피고인의 권리보호와의 조화를 이루거나 또는 더 우선적으로 보호하여야 할 것이다. 본 연구는 이러한 관점에서 범죄피해자의 인권보장과 관련된 법․제도 등을 고찰하며, 이를 바탕으로 개선방안을 제시하고자 한다.

Serum alkaline phosphatase is a reliable marker for differentiating flare phenomenon from disease progression on bone scintigraphy : 뼈스캔의 발적확장 현상과 전이암의 진행을 구분하기 위한 지표로서의 혈청 내 알칼리성 인산분해효소의 이용

정지훈 경북대학교대학원 2021 국내박사

목적: 뼈 전이 환자에서 전신 치료 후 발생하는 뼈스캔의 발적확장 현상은 치료반응 평가를 복잡하게 만든다. 본 연구의 목표는 뼈스캔의 발적확장 현상을 전이암의 진행과 구별할 수 있는 임상적 및 생물학적 지표를 찾는 것이다. 재료 및 방법: 유방암이나 전립선암의 뼈 전이로 인해 새로운 전신 치료요법을 시작한 환자들을 대상으로 하였다. 나이, 병리학적 인자, 전신 치료의 유형, 알칼리성 인산분해효소의 수치, 뼈스캔 결과를 포함한 치료 전후의 정보들을 분석하였다. 뼈스캔의 발적확장 현상을 예측하기 위해서 위 인자들의 일변량 및 다변량 분석을 수행하였다. 결과: 전신 치료 이후 6개월 이내에 뼈스캔을 시행한 총 436명의 환자 중 160명의 환자가 치료 후 뼈스캔에서 뼈 전이 병변의 확장이나 새로운 병변이 발견되었다. 이 160명 중 절반인 80명의 환자는 후속 뼈스캔에서 개선을 보여 발적 확장으로 분류되었으며, 나머지 80명의 환자는 후속 뼈스캔에서도 지속적인 증가를 보여 진행암으로 분류되었다. 다중 회귀 분석을 통해서, 안정된 또는 감소된 혈청 알칼리성 인산분해효소의 수치가 발적확장 현상에 대한 독립된 예측 인자임을 밝혀냈다. 혈청 알칼리성 인산분해효소는 암종에 따른 부분군 분석을 추가적으로 시행하여 유방암군과 전립선암군에서 각각 의미있는 상관관계를 나타내었다. 결론: 혈청 내 알칼리성 인산분해효소가 뼈전이 환자에서 뼈스캔의 발적확장 현상과 전이암의 진행을 구별하는데 유용한 표지자임을 시사한다. 뼈스캔의 악화 소견에 대한 임상적 해석은 알칼리성 인산분해효소의 수치에 의해 추가로 개선될 수 있으며, 이는 잘못된 치료 변경이나 치료 중단을 방지할 수 있을 것으로 생각된다.

Adaptive noise filtering method for ultrasound spectral doppler using hankel singular value decomposition

정지훈 서강대학교 대학원 2019 국내석사

The velocity of the blood flow in the spectral Doppler system can be used to determine the extent of vessel stenosis. Compared to Computed Tomography (CT) and Magnetic Resonance Imaging (MRI), the cost of diagnostic tests is low, and real-time blood flow monitoring is possible and noninvasive and safe. The velocity of the blood flow is obtained by using ultrasonic waves transmitted / received to the blood vessel. At this time, it is important to accurately separate clutter (organ, blood vessel wall components), blood flow, and noise signals Spectral Doppler is usually used to diagnose the degree of vessel stenosis. The greater the stenosis of the blood vessel, the narrower the blood vessel walls and the faster the velocity of blood flow (PSV-Peak Systole Velocity) in the systolic period of heart. Therefore, accurate PSV detection is required in spectral Doppler to diagnose accurate stenosis. In order to diagnose the degree of stenosis of the blood vessel accurately, a conventional clutter removal filter, which is FIR Finite Impulse Response) filter and a noise removal method (Intensity Threshold) are used to separate only the blood flow signal. In this paper, we propose an algorithm to remove clutter and noise signals by applying Singular Value Decomposition. We verified the performance of the proposed method through computer simulation and phantom data. As a measure of PSV accuracy and SNR, we show that the performance of the proposed method is higher than that of the conventional method.

우리나라 성인에서 헬리코박터 파일로리 감염의 혈청 전환율

정지훈 울산대학교 대학원 2013 국내석사

Study aims Studies on seroconversion and its reversion rate in Korean adults with H. pylori infection are very rare. The purpose of this study was to evaluate the overall seroprevalence, seroconversion rate, and seroreversion rate of H. pylori infection in an adult population. Materials and Methods We performed this retrospective cohort study on healthy adults who had visited our health screening center at Asan Medical Center more than twice between January 2000 and December 2010. We reviewed the anti-H. pylori Ab IgG profiles of the enrolled people and their family members and the results of esophagogastroduodenoscopies and a self-reported questionnaire. Results A total of 67,212 people were enrolled in this study. The mean follow-up duration was 4.6 years, and each participant visited the center for a mean of 3.8 visits. The overall proportions of participants demonstrating persistent seropositivity, persistent seronegativity, seroconversion, and seroreversion were 53.1%, 32.5%, 4.3%, and 10.1%, respectively. The annual seroconversion rate was 2.79%. The annual crude and spontaneous seroreversion rates of the entire study population were 3.64% and 2.42%, respectively. According to multivariate logistic regression, old age (HR = 1.015), smoking (HR = 1.216), alcohol consumption more than 4 times per week (HR = 1.263), marriage (HR = 2.735), and living with H. pylori-infected family members (HR = 1.525) were identified as statistically significant risk factors associated with seroconversion. Conclusion The annual seroconversion rate was 2.79% in our study population. Marriage and living with H. pylori-infected family members were important risk factors affecting seroconversion in our adult population. 연구목적 우리나라에서 성인을 대상으로 헬리코박터 파이로리균 감염의 혈청 전환율과 혈청 회귀율에 대한 연구는 매우 드물다. 본 연구의 목적은 성인을 대상으로 헬리코박터 파이로리 감염의 전반적인 혈청 유병율과 혈청 전환율, 혈청 회귀율을 조사하고자 하였다. 연구 대상 및 방법 저자들은 2000년 1월부터 2010년 12월까지 서울 아산병원 건강증진센터에 2회 이상 방문한 사람들을 대상으로 후향적 코호트 연구를 시행하였다. 연구 대상자 및 함께 거주하는 대상자 가족들의 anti-H.pylori Ab Ig G 검사 결과와 상부 위장관 내시경 소견 그리고 설문지를 분석하였다. 결과 총 67,212 명을 대상자로 모집하였으며, 평균 추적 관찰 기간은 4.6년, 평균 수검 회수는 3.8회였다. 관찰 기간 전체를 통하여 지속적으로 혈청 양성을 보인 군과 지속적으로 혈청 음성을 보인 군, 혈청 전환군 그리고 혈청 회귀군은 각각 53.1%, 32.5%, 4.3% 그리고 10.1% 였다. 연간 혈청 전환율은 2.79% 였으며, 연간 전체 혈청 회귀율과 연간 자발성 혈청 회귀율은 각각 3.64% 와 2.42% 였다. 혈청 전환의 위험인자 탐색을 위한 단항 회귀분석 및 다항 회귀분석에서 고령 (HR=1.015), 흡연 (HR=1.216), 주 4회 이상 음주 (HR=1.263), 기혼 (HR=2.735) 그리고 헬리코박터 감염이 있는 가족과 함께 거주 (HR=1.525)가 헬리코박터균 감염으로 인한 혈청 전환의 의미 있는 위험인자로 나타났다. 결론 본 연구 대상자들의 연간 혈청 전환율은 2.79% 였으며 혈청 전환의 위험인자 중 기혼자, 같이 거주하는 가족 중 헬리코박터균 감염자가 있는 경우가 높은 hazard ratio 를 나타내는 중요한 위험인자였다. 이는 가족내의 전파가 성인의 헬리코박터균 감염의 중요한 역할을 한다는 것을 시사한다

시각중복장애학생 어머니의 양육환경과 양육부담감이 건강관련 삶의 질에 미치는 영향

정지훈 대구대학교 2012 국내박사

The purpose of this study is to examine the effect of parenting environment (communication method, problem behavior, functional level, residential status, use of services, monthly income, level of education, length of parenting, marital status, and number of children) and parenting burden of mothers of students with visual impairments and multiple disabilities on heath-related quality of life, providing basic data required for services to those mothers. 146 those mothers at 12 schools for the blind and 3 facilities for individuals with visual impairments and multiple disabilities were selected as subjects of this study. Data obtained from the Caregiver Strain Index (CSI), the Modified Barthel Index (MBI), the Short-Form Health Survey (SF-36) were statistically processed through t-test, F-test, correlation analysis, and multiple regression analysis. The results are as follows. First, health-related quality of life of mothers of students with visual impairments and multiple disabilities were not much affected by communication method, functional level, services of therapies, supportive living services, vocational services for students, and marital status of mothers but the quality of life was differed by monthly income, level of education, and length of parenting. Second, health-related quality of life was influenced by parenting burden of mothers of students with visual impairments and multiple disabilities. Among sub areas of quality of life on health there were differences in social performance, emotional limitation, mental health, vitality, pain, and awareness of overall health. Third, parenting environment and parenting burden affected quality of life related to health of mothers. Parenting burden was greatly affected and then monthly income and level of education were followed. Among sub areas of health-related quality of life, parenting environment and parenting burden influenced all the sub areas except for emotional limitation and awareness of overall health. Especially physical performance was greatly influenced by level of education and monthly income and parenting burden were followed. In social performance, parenting burden was significantly influenced, and physical limitation was affected by monthly income and level of education. Parenting burden influenced emotional limitation, mental health, and awareness of overall health. Vitality was influenced by length of parenting and parenting burden, and pain was influenced by monthly income. 본 연구는 시각중복장애학생 어머니의 양육환경 즉, 의사소통방법, 문제행동, 기능수준, 거주상태, 서비스 활용, 월수입, 교육수준, 양육기간, 결혼상태, 자녀수와 양육부담감이 시각중복장애학생 어머니의 건강관련 삶의 질에 어떠한 영향을 미치는지를 알아봄으로써 시각중복장애학생 어머니의 건강관련 삶의 질 향상을 위한 기초자료를 제공하는데 목적이 있다. 연구의 대상은 전국 12개 시각장애학교와 3개 시각중복장애생활시설에 거주하는 시각중복장애학생의 어머니 146명을 대상으로 하였으며, 양육환경 검사, 양육부담감 검사, 바텔 발달 검사(MBI), 건강관련 삶의 질 검사(SF-36)를 통해 얻어진 자료는 t-검증과 F-검증, 상관관계분석과 다중회귀분석으로 통계처리 하였다. 연구의 결과와 논의를 통하여 얻어진 결론은 다음과 같다. 첫째, 시각중복장애학생 어머니의 양육환경에 따른 건강관련 삶의 질은 시각중복장애학생의 의사소통방법, 기능수준, 치료지원서비스, 생활지원서비스, 직업지원서비스와 어머니의 결혼상태 요인에서는 건강관련 삶의 질 전체에 큰 영향을 미치지 못하나, 월수입과 교육수준, 양육기간 요인은 건강관련 삶의 질에 영향을 미친다. 둘째, 시각중복장애학생 어머니의 양육부담감은 건강관련 삶의 질에 영향을 미치며, 건강관련 삶의 질의 하위영역 중 사회적 수행능력, 감정적 역할제한, 정신건강, 활력, 통증, 전반적인 건강인식 영역에서 영향을 미친다. 셋째, 양육환경과 양육부담감은 어머니의 건강관련 삶의 질에 영향을 미치고, 그 중 양육부담감이 가장 큰 영향력이 있으며, 그 다음으로 월수입, 교육수준의 순으로 영향을 준다. 건강관련 삶의 질의 하위영역 중 감정적 역할제한과 전반적 건강인식 영역을 제외한 모든 하위영역에 양육환경 요인과 양육부담감이 영향을 미친다. 특히, 신체적 수행능력 영역에는 교육수준 요인이 가장 큰 영향을 주고, 다음으로 월수입, 양육부담감의 순으로 영향을 준다. 사회적 수행능력 영역에는 양육부담감이 유의미한 영향을 미치고, 신체적 역할제한 영역에는 월수입과 교육수준이 영향을 준다. 감정적 역할제한과 정신건강, 전반적 건강인식 영역에는 양육부담감 요인이 영향을 미치고, 활력 영역에는 양육기간과 양육부담감 요인이, 통증 영역에는 월수입 요인이 영향을 미친다.

Application of Electrokinetic Sealing Technique (EST) on Leaks of Geomembrane Liner in Landfill : 매립지 내 지오멤브레인 라이너의 누수부위에 동전기 봉합기술의 적용에 관한 연구

정지훈 서울시립대학교 대학원 2009 국내석사

Electrokinetic Sealing Technique (EST) is an innovative technique to seal leaks of geomembrane liner in operating landfill that does not require removal of the contained waste in landfill, locating the leaks, or exposure of workers. Clay particles in the cover materials are suspended with leachate in landfill. The basic design of EST in that the cathode (negative electrode) is placed inside and the anode (positive electrode) is placed outside the leaking geomenbrane in landfill. An electric field is generated across the geomembrane liner through the leaks. The negatively charged clay particles are repelled by the cathode and attracted by the anode toward the leaks. The clay particles migrated by the electric force make the clay cake to seal the leaks in the geomembrane liner. This study presents the result of laboratory experiments conducted to evaluate the feasibility on leaks of geomembrane liner in landfill. Then, this study was evaluated for concentration of clay particles in a suspension, size and type of leaks, applied electric field strength and time, and the concentration of contaminants and cake formation. The sealing stability of the clay cake were evaluated at the leaking points because most of the geomembranes are poor conductors of electricity, the two electrodes are connected electrically only through the leaks. The stability of the suspension was a key factor affecting the structural integrity of clay cake. The size of clay cake increased with increasing electrical energy and concentration of the clay particles in system. However, the size of clay cake decreased with increasing concentration of the contaminants in the suspensions. Therefore, the results of cake formation experiments indicated that cake growth rate was dictated by: (1) depending on the concentrations of clay particles, size and type of leaks, and applied electric field strength and time; (2) concentrations of the contaminants. The cake growth rate and pattern was complex due to continuously changing particle distribution and increasing particle interference with time. 운영중인 매립지 내 지오멤브레인 라이너의 누수를 봉합하기 위한 동전기봉합기술은 매립지 내 폐기물을 제거할 필요도 없으며, 누수된 부위를 찾을 필요도 없고, 봉합작업을 수행하기 위한 일력 소비도 요구되지 않는 혁신적인 기술이다. 복토층 내 봉합을 위해 사용되는 주재료인 점토입자는 침출수가 있는 매립지 내 부유상태로 존재한다. 동전기 봉합기술인 기본적인 설계는 음극은 매립지 내에 위치하고 양극은 누수하는 지오멤브레인의 외부에 위치한다. 전기장은 누수 부위를 통하여 지오멤브레인 라이너를 교차하여 발생한다. 음전하를 띄는 점토입자들은 음극에 반발력이 작용하고 누수된 부위를 향하여 양극에 의해 인력이 작용한다. 전기력에 의해 이동된 점토입자들은 지오멤브레인 내 누수하는 부위를 봉합하기 위해 점토케익을 만든다. 본 연구는 실험실 내 나타난 결과를 실제 매립지에 적용가능성을 평가하기 위해 실행되었다. 그리고 본 연국는 현탁액 내 점토입자의 농도, 누수된 부위의 크기와 형태, 가해진 전기장의 세기 및 시간, 그리고 오염물질의 농도와 케익형성에 대해 평가되었다. 실험결과인 점토게익의 봉합 안정성은 대부분의 지오멤브레인의 부도체로 오직 누수된 부위를 통해서만 두 전극이 전기적으로 연결되기 때문에, 누수된 지점을 관찰함으로써 평가되었다. 그 현탁액의 안정성은 점토케릭의 구조적인 고결상태에 영향을 주는 주요한 요소이다. 점토케익의 크기는 전기적인 에너지와 시스템 내 점토입자의 농도가 증가함에 따라 증가했다. 하지만, 점토케익의 크기는 현탁액 내 오염물질의 농도가 증가하면서 감소했다.

기판온도와 분위기 가스에 따른 IZO박막의 구조적, 전기적 특성

정지훈 한국기술교육대학교 대학원 2018 국내석사

투명전도성산화물(TCO)은 투명하면서도 전기가 통하는 특성 때문에 디스플레 이 및 광학소자의 투명전극으로 사용되고 있다. 그 중, ITO는 낮은 비저항과 가시광 영역에서의 높은 투과율이라는 특성 때문에 현재 가장 많이 사용되고 있는 TCO물질 중 하나이다. 하지만 ITO는 이러한 특성을 얻기 위하여 250℃ 이상에서 증착을 진행해야하고 증착 후에는 300℃ 이상에서 열처리를 하는 등의 고온공정이 요구되어진다. 이렇게 고온공정을 거치게 되면 박막의 결정 화가 증가하여 표면 거칠기가 커지기 때문에 소자의 안정성이 떨어지며, 플렉 서블 디스플레이용 기판인 고분자 기판에 적용이 어렵고, 높은 온도에서 진행 해야 하기 때문에 공정비용이 비싼 단점까지 가지고 있다. 최근에는 이러한 ITO의 문제를 해결하고 이를 대체하기 위한 새로운 TCO물질이 연구되어지고 있는데 그 중 IZO(ZnO doped In2O3)는 높은 화학적 안정성을 바탕으로 상온 에서 증착 시 약 4.0×10-4Ω·㎝의 비저항과 80%이상의 높은 투과율을 보여준 다. 이번 연구에서는 300℃와 상온에서 IZO박막을 증착하고 그 특성을 평가하여 ITO와 비교하였다. 이를 위해 RF-Magnetron Sputter를 이용하여 IZO박막을 증착하였으며, 기판의 온도와 수소유량을 변화시키면서 증착된 박막의 구조적, 전기적 특성이 어떻게 변화하는지를 확인해보았다. IZO 타겟은 In2O3 : ZnO의 비율이 90 : 10wt.%인 타겟을 사용하였으며 유리 기판 위에 증착하였다. 증착 시 기판 온도는 상온과 300℃로 하였고 온도별로 분위기가스인 수소가스를 0-5sccm으로 변화시키며 증착하였다. 증착된 박막의 구조적, 전기적 특성을 분석하기 위해 XRD(X-ray diffraction), FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope), AFM(Atomic Force Microscope), XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy), Hall effect measurement, UV-visible spectrophotometer 등의 장비를 이용하였다. 300℃에서 증착된 IZO 박막의 경우, (222)방향으로 우선성장하는 결정질 구 조를 보임을 확인할 수 있었다. 또한 수소유량이 증가할수록 sub peak이 증가 하다가 1.8sccm이상부터의 그 세기가 감소하는 경향을 보여주었다. FE-SEM이 미지는 다각형 모양의 IZO 결정입자를 보여주고 있으며 수소유량이 증가할수 록 입자 크기가 커지는 경향과 함께 다각형 모양이 동그란 모양으로 변화하는 경향을 보여주고 있는데 이는 챔버 내에 주입된 다량의 수소에 의한 수소플라 즈마의 영향으로 보여진다. 모든 IZO 박막의 표면 거칠기는 결정성 구조에 의해 최대 8nm정도의 높은 값을 보여주고 있다. 비저항은 수소유량이 증가할수록 감소하다가 일정하게 유지되는 경향을 보여 주었는데 이는 챔버 내에 주입된 수소에 의해 환원성 분위기가 형성되어 캐리 어 생성기구인 산소공공이 증가하여 캐리어 농도가 증가한 것과 수소플라즈마 에 의한 표면 손상으로 이동도가 감소한 것 때문에 나타난 것으로 보인다. 이 전기적 특성 중 캐리어 농도의 증가 원인을 분석해 보기 위해 XPS 분석 을 실시한 뒤 O1s spectra를 fitting하였다. 보통 산소성분의 spectra를 fitting 하게 되면 3가지의 peak으로 나누어지게 되는데 그 중 middle binding energy를 가지는 peak이 산소공공과 관련된 산소결함 peak이다. fitting 결과, 수소유량이 증가할수록 산소결함 peak의 면적비가 증가하는 경향을 보였는데 이는 산소공공의 증가를 뜻하는 것으로 결국 주입된 수소에 의해 환원성 분위 기가 형성되어 캐리어 농도가 증가한다는 것이 캐리어 농도의 증가원인임을 확인할 수 있었다. 광 투과도는 모든 샘플이 가시광 영역에서 약 80%이상의 투과율을 보여주고 있었으며 수소유량이 증가할수록 광학적 밴드갭이 증가하는 경향을 보여주었 다. 이는 캐리어 농도가 증가할수록 페르미 준위가 높아져 광학적 밴드갭이 증가한다는 Burstein-moss 효과에 의한 것으로 이번 실험 역시 수소유량이 증 가함에 따라 캐리어 농도가 증가하였기 때문에 이 현상을 설명할 수 있었다. 상온에서 증착된 IZO박막의 경우 300℃와 달리 뚜렷한 peak이 존재하지 않 는 비정질 구조를 보여주었으며 FE-SEM 이미지에서도 불규칙한 입자를 보여 주고 있었으며 수소유량이 증가할수록 그 크기가 작아지고 있다. 모든 IZO 박막의 표면 거칠기는 비정질 구조에 의해 약 2nm로 낮은 값을 보여주고 있었다. 비저항은 300℃와 마찬가지로 감소하다가 일정하게 유지되는 경향을 보여주 었는데 이는 챔버 내에 주입된 수소에 의해 환원성 분위기가 형성되어 캐리어 생성기구인 산소공공이 증가하여 캐리어 농도가 증가한 것과 비정질 구조에 의해 캐리어의 mean free path가 증가하여 이동도가 감소한 것 때문에 나타 난 것으로 보인다. 상온에서 증착한 IZO 박막 역시 캐리어 농도에 영향을 주는 요인을 분석하 기 위해 XPS 분석을 실시하였고 O1s spectra를 fitting하였다. 그 결과 300℃ 와 마찬가지로 수소유량이 증가함에 따라 산소결함과 관련된 peak의 면적비 가 증가함을 알 수 있었다. 광 투과도는 모든 샘플이 가시광 영역에서 약 80%이상의 투과율을 보여주고 있었으며 Burstein-moss 효과에 의해 수소유량이 증가함에 따라 광학적 밴드 갭이 증가하였다. 실험 후 각 온도별로 가장 좋은 특성을 가진 샘플을 선정하였는데 300℃의 경우 수소 1.2sccm 샘플이 2.75x10-4Ωcm으로 가장 낮은 비저항 값을 보였고, 상 온의 경우 수소 3.5sccm 샘플이 4.1x10-4Ωcm으로 가장 낮은 비저항 값을 보였 다. 마지막으로 이렇게 선정된 2가지 샘플을 현재 상용되고 있는 ITO와 전기적, 광 학적 특성을 비교해보았다. 전기적 특성의 경우, ITO의 비저항이 수치적으로 보았을 때 가장 낮게 나왔다. 하지만 이번 연구를 통해 증착한 IZO 역시 5x10-4Ωcm의 낮은 비저항을 보여주 고 있어 TCO로써 사용할 수 있는 전기적 특성을 가지고 있음을 확인하였다. 광 학적 특성의 경우, 3가지 샘플 모두 약 80%이상의 투과율을 보여주고 있어 TCO 로써 사용될 수 있다고 판단하였다. 이 결과를 바탕으로 IZO 박막이 TCO로 충분 히 사용될 수 있을 것이라고 보았고 만약 상온에서 증착된 IZO가 ITO를 대체한 다면 ITO에 사용되는 고온공정이 불필요하기 때문에 고온공정으로 인해 발생하 는 문제점을 해결하고 공정비용을 절감하는 성과까지 얻을 수 있을 것으로 보았 다.