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유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O<SUB>5</SUB> 박막 식각에 관한 연구
허상욱(Heo Sang Wook),김관하(Kim Gwan-Ha) 대한전기학회 2021 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2021 No.10
Ta₂O5 박막의 4.6eV 밴드갭 및 기계적, 화학적 안정성, 넓은 범위의 투과율 등의 특성으로 인하여 반도체 및 다양한 광학소자에 응용 가능성이 대두되나 Glass와 같은 전기 전도성, 열 전도성이 떨어지는 경우 미세패턴 형성을 위한 플라즈마 식각 후 Fence 현상이 발생하나 이의 제거가 쉽지 않다. 본 연구에서는 피라나, Cr Wet etch, HF 처리 등을 반복하여 패턴에 손상을 주지 않고 Fence 및 식각 마스크 등을 제거함을 확인 할 수 있었다.
蘇鮮變,金明煥,許相旭,李惠眞,梁潤實 공주대학교 기초과학연구소 2000 自然科學硏究 Vol.9 No.-
켈빈파란 회전계의 북반구에서 육지를 오른쪽에 두고 해안선을 따라 이동하는 파이다. 이 켈빈파를 가시화하기 위해 밀도차를 갖는 두 층의 유체를 만들고 경계면에 생기는 내부캘빈파를 가시화하여 변화를 관찰하였다. 지금까지는 해안가에서 나타나는 밀물과 썰물을 단순히 달의 인력으로 인한 조석으로만 생각했었는데, 본 실험을 통하여 그것이 지구자전의 영향을 받아 회전하는 조석파임을 알게되었다. Kenvin wave moves along the shoreline from the Northern hemisphere of rotating system in right of the land. Yeu observe s veriety for the visibity of it, we make two layers to have divergence of density, then it is visible the interior of Kelvin wave in a boundary plane. You thought simply the ebb and flow of the tide that they was the tidal movement to be due to the gravitation of the moon on the shore. But we know that Kelvin wave is rotating tide wave affected by revolution of the earth.
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Thuy Vinh Tran(짠 빈 뚜이),Meer Sadeq Billah(미어 사데크 빌라흐),Han Jung Youn(윤한중),Heejune Ahn(안희준),Hyunjoon Park(박현준),Chanhyun Yoo(유찬현),Hyunseung Lee(이현승),Jeongho Namkung(남궁정호),Sangmin Kim(김상민),Sangwook Huh(허상욱 한국통신학회 2016 한국통신학회 학술대회논문집 Vol.2016 No.1