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다층 Panel Cryoarray를 갖는 Cryopump의 Pumping 특성해석
이진원(J.W. Lee),이영규(Y.K. Lee),최헌오(H.O. Choi) 한국진공학회(ASCT) 1992 Applied Science and Convergence Technology Vol.1 No.3
다층 panel형 cryoarray를 갖는 원통형 cryopump의 정적 pumping 특성을 view factor를 이용한 수치적 방법으로 해석하였다. 해석모델은 단순 원판을 기본으로 하고, 여기에 상향 및 하향의 skirt를 부착한 실질적 array를 대상으로 하였으며, 형상, 크기 및 panel 갯수를 변화시키면서 array 전체의 총 pumping 효율과 array 내의 pumping 속도분포를 모두 구하였다. 다층 panel array에서도 single panel의 경우와 같이 type Ⅲ 개스(He, H₂)에 있어서는 pumping 효율을 최대로 하는 최적의 크기가 있으며, panel 수효가 증가하면 pumping 속도는 약간만 증가하나 총 pumping 용량은 이에 비례하여 증가한다. Skirt의 각도를 상향으로 변화시키면 type Ⅲ 개스의 상대적 pumping속도가 증가되며 type Ⅱ 개스에 의한 cryosorbent의 오염도는 대략 10% 정도이다. Static pumping characteristics of cryopumps with multipanel cryoarray are analysed using the view factor method. Models for analysis are disks with skirts of varying angles, and the shape, size and the number of panels are the parameters varied. Not only the total pumping effeciency but also the distribution of pumping speed in the array is considered. Results show that there exists an optimum array size maximizing the pumping of type Ⅲ gases (He, H₂), and the addition of more panels increases the capacity in proportion but the pumping speed only slightly. Changing the skirt angle upward increases the relative pumping of type Ⅲ gases, and the contamination on the cryosorbent by the type Ⅱ gases is in the order of 10%.