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다중가스 검출을 위한 FPI 어레이 기반 적외선 마이크로스펙트로미터
강현오(Hyun Oh Kang),짜오찌구오(Zhao Zhiguo),이준규(June Kyoo Lee),정호(Ho Jung),김학린(Hak-Rin Kim),공성호(Seong Ho Kong) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.7
제안된 Fabry-Perot Interferometer (FPI) 어레이 기반 IR스펙트로미터는 상층부에 FPI 어레이와 하단에 V₂O? 볼로미터 IR 적외선 센서 어레이로 크게 두 부분으로 구성된다. 이 구조에서 다양한 FPI 공진 캐비티의 두께에 의해 특정 공진 파장이 선택되어 진다. 그리고 각각의 볼로미터 IR 디텍터는 IR 파장에 상응하는 투과도를 감지해낸다. 다양한 박막 필터 시뮬레이션 결과를 통해 제작된 FPI 어레이 기반 IR 스펙트로미터는 3~5 ㎛의 적외선 파장대역에서 흡수 스펙트럼을 가지는 CH₄, CO₂, N₂O, CO 가스 검출을 위해 다층 박막 FPI 층의 다층 박막 FPI 층의 투과율을 높였다.