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업계기고 - Variable Optical Null(VON$^{TM}$)을 이용한 비구면 정밀광학측정 분야에서의 최근 동향
신지식,Sin, Ji-Sik 한국광학기기산업협회 2013 光學世界 Vol.143 No.-
비구면 광학요소는 광학계에 중요한 이점을 제공하는 반면 정밀한 측정에 제한이 많기에 정밀한 비구면의 생산이 어려운 광학 요소이다. 수년 전 부분 구경 스티칭 방법(Subaperture Stitching Interferometry, 이하 SSI$^{(R)}$)의 개발과 이 기술을 기반으로 하는 장비(SSI-A$^{(R)}$)의 도입으로 비구면 형상오차의 정밀한 측정이 가능하게 되었다. 많은 비구면들이 기존의 SSI-A의 영역에 포함되지만 이에 더 나아가 VONTM(Variable Optical Null)을 도입하면 기존의 측정 영역인 비구면도(best fit sphere에서) $100{\sim}200{\lambda}$대에서 약 $1000{\lambda}$까지 확장하여 측정할 수 있다. 본고에서는 지난 2012년 10월 23일 진행된 QED의 기술강연회에서 발표된 내용 중 VONTM의 원리와 이를 이용한 SSI$^{(R)}$ 기술이 도입된 장치인 ASI$^{(R)}$(Aspheric Stitching Interferometer)의 측정결과를 그 동안 각종 학회 등에서 발표된 자료들을 통하여 소개하도록 하겠다.
초정밀 비구면의의 설계, 측정 및 가공의 비용절감을 지원하는 새로운 비구면 표현식 Q Polynomials의 소개
신지식,Sin, Ji-Sik 한국광학기기산업협회 2014 光學世界 Vol.150 No.-
현재까지 많은 업체에서 사용되는 비구면 표현식의 단점을 해결하여 직관적이며 예측가능한 면을 표현할 수 있는 새로운 비구면 표현식, 일명 Q Polynomials (또는 Forbes Polynomials, Q-type Polynomials)을 소개한다. Q Polynomials은 기존 quadratic polynomial을 이용한 표현식과 달리 서로 영향을 미치지 않는 유일한 함수 Qm를 기본으로 하는 다항식으로 구성되어 있기 때문에 각 계수는 하나의 비구면에 대해 유일한 계수다. 각 항의 함수의 모양이 이미 정해져 있기 때문에 계수들의 크기를 살펴보면 비구면도, 측정 가능성, 가공 및 생산 가능성에 대한 예측이 가능하다. 따라서 비구면 설계 시점에서부터 시험/검사, 생산이 실질적으로 가능한 비구면 광학요소인지가 판정되므로 설계시부터 설계자, 시험/검사자, 생산자 사이의 합의가 이루어지는 것과 같다. 따라서 생산성과 간섭계 측정을 이용한 초정밀 비구면를 제조할 수 있는 결과에 이르게 된다. 이미 도입한 여러 업체에서 긍정적인 결과를 얻고 있다. Q polynomials은 기존에 현업에서 사용되고 있는 광학 설계 프로그램에도 적용되어 사용 가능하다.
습식화학법을 이용한 고순도 석영유리 기판 제조 및 특성평가
박성은,남병욱,안정숙,신지식,오한석,Park, Sung-Eun,Nam, Byeong-Uk,An, Jung-Sook,Shin, Ji-Shik,Oh, Han-Seog 한국반도체디스플레이기술학회 2007 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.4
Quartz glass panel was prepared by a colloidal silica through the heat-treatment only without any additives in wet-chemical method. This colloidal silica used in slurry process has the uniform distribution of particle size and lower cost. The results show that 6N as a degree of purity and the 86 percentage of violet transmittance in 1mm thickness. AFM(Atomic Force Microscopy) pattern shows that the surface roughness are less than lnm. Also, we investigated the characteristic of quartz panel according to the concentration and distribution of hydroxyl group, viscosity and thermal expansion coefficient.