6H-SiC UV 광다이오드의 제작 및 수광특성 해석

박국상,이기암 한국결정성장학회 1997 韓國結晶成長學會誌 Vol.7 No.1

$p^+$/n/n 메사(mesa) 구조를 갖는 6H-SiC UV 광다이오드를 제작하여 입사 파장 200~600 nm의 영역에서 광전류(photocurrent)를 측정하였다. 광다이오드의 파장의 변화에 따라 측정된 광전류는 자외선 영역에서 민감하며 260 nm 근처에서 최대값을 나타내었다. 광다이오드의 광전류 분포를 해석하기 위하여 소수 운반자의 확산모델로 양자효율을 계산하였으며, 계산된 양자효율은 측정된 광전류 분포와 상대적으로 비교되었다. 6H-SiC UV 광다이오드의 광전류 분포는 공핍층에서 광흡수가 포함된 소수운반자의 확산모델에 의하여 해석되었다. 6H-SiC UV photodiodes with $p^+$/n/n mesa structure were fabricated. The photocurrents of the photodiodes were measured in the wavelength range of 200~600 nm. The photocurrents were sensitive to ultraviolet radiation of 200~500 nm, and come to the maximum value at 260 nm. The quantum efficiency was calculated by using the diffusion model of minority carriers, and compared with the distribution of the photocurrent measured as a function of wavelength each other. The photocurrents of the 6H-SiC photodiode were explained by the diffusion model of the minority carriers which contained the optical absorption of the depletion region as well as the other layers.

Ti/SiC(4H) 쇼트키 장벽 다이오드의 전기적 특성

박국상,김정윤,이기암,장성주 한국결정성장학회 1997 한국결정성장학회지 Vol.7 No.3

SiC(4H) 결정에 Ti을 열증착하여 Ti/SiC(4H) 쇼트키(Schottky) 장벽 다이오드를 만들었다. SiC(4H)의 주개농도(donor concentration)는 전기용량-전압(C-V) 측정으로부터 $2.0{\times}10^{15}{\textrm}{cm}^{-3}$이었으며, 내부전위(built-in potential)는 0.65 V이었다. 전류-전압(I-V) 특성으로 부터 다이오드의 이상계수(ideally factor)는 1.07이었으며, 역방향 항복전장(breakdown field)은 약 $1.7{\times}10^3V/{\textrm}{cm}$이었다. 상온에서 $140^{\circ}C$까지 온도변화에 따라 측정된 포화전류로 부터 구한 전위장벽(potential barrier)은 0.91 V이었는데, 이는 C-V 특성으로 부터 구한 전위장벽과 거의 같았다. Ti/sic(4H) Schottky barrier diodes were fabricated. The donor concentration and the built-in potential obtained by capacitance-voltage(C-V) measurement was about $2.0{\times}10^{15}{\textrm}{cm}^{-3}$ and 0.65 V, respectively. The ideality factor of 1.07 was obtained from the slope of current-voltage(I-V) characteristics at low current density. The breakdown field under the reverse bias voltage was about $1.7{\times}10^3V/{\textrm}{cm}$ and was very high. The barrier height of Ti for SiC(4H) was 0.91 V, which was determined by the analysis of the saturation current-temperature and the C-V characteristics.

EBE로 증착된 반도체 CdZnTe 박막의 결정구조와 표면조성

박국상,김선옥,이기암 檀國大學校 基礎科學硏究所 1995 論文集 Vol.7 No.-

결정구조 탐구를 위한 X-선 희절상의 계산에 관한 연구

박국상,이기암,이희복,김용복 檀國大學校 基礎科學硏究所 1995 論文集 Vol.7 No.-

Metal/SiC(4H) 쇼트키 다이오드의 포텐셜 장벽 높이

박국상,김정윤,이기암,남기석 한국결정성장학회 1998 한국결정성장학회지 Vol.8 No.4

Sb/SiC(4H) 및 Ti/SiC(4H) 쇼트키 다이오드(SBD)를 제작하여 그 특성을 조사하였다. 용량-전압(C-V) 측정으로부터 얻은 n-형 SiC(4H)의 주개(donor) 농도는 약 $2.5{\times}10 ^{17}{\textrm}cm^{-3}$이었다. 순방향 전류-전압(I-V) 특성의 기울기로부터 얻은 Sb/SiC(4H) 쇼트키 다이오드의 이상계수는 1.31이었고, 역방향 항복전장(breakdown field)은 약 4.4$\times$102V/cm 이었다. 용량-전압(C-V) 측정으로부터 얻은 Sb/SiC(4H) SBD의 내부전위(built-in potential) 및 쇼트키 장벽 높이는 각각 1.70V 및 1.82V이었다. Sb/SiC(4H)의 장벽높이 1.82V는 Ti/SiC(4H)의 0.91V보다 높았다. 그러나 Sb/SiC(4H)의 전류밀도와 역방향 항복전장은 Ti/SiC(4H)의 것보다 낮았다. Ti/SiC(4H)는 물론 Sb/SiC(4H) 쇼트키 다이오드는 고전력 전자소자로서 유용하다. We have fabricated Sb/SiC(4H) Schottky barrier diode (SBD) of which characteristics compared with that of Ti/SiC(4H) SBD. The donor concentration of the n-type SiC(4H) obtained by capacitance-voltage (C-V) measurement was about $2.5{\times}10 ^{17}{\textrm}cm^{-3}$. The ideality factors of 1.31 was obtained from the slope of forward current-voltage (I-V) characteristics of Sb/SiC(4H) SBD at low current density. The breakdown field of Sb/SiC(4H) SBD under the reverse bias voltage was about $4.4{\times}10^2V$/cm. The built-in potential and the Schottky barrier height (SBH) of Sb/SiC(4H) SBD were 1.70V and 1.82V, respectively, which were determined by the analysis of C-V characteristics. The Sb/SiC(4H) SBH of 1.82V was higher than Ti/SiC(4H) SBH of 0.91V. However, the current density and reverse breakdown field of Sb/SiC(4H) were low as compared with those of Ti/SiC(4H). The Sb/SiC(4H), as well as the Ti/SiC(4H), can be utilized as the Shottky barrier contact for the high-power electronic device.

EBE로 증착된 반도체 CdZnTe 박막의 결정구조와 표면조성

박국상,김선옥,이기암 한국결정성장학회 1995 韓國結晶成長學會誌 Vol.5 No.1

유리기판(Corning 7059) 위에 Electron Beam Evaporator(EBE)로 진공 중에서 증착된 $Cd_{1-y}Zn_{y}Te$(CZT) 박막의 표면 조성비와 결정구조를 조사하였다. 증착시 기판의 온도는 각각 실온과 $300^{\circ}C$였으며, 열처리는 압력 $1 {\times} 10^{-6}$ torr하에서 $300^{\circ}C$에서 1시간 동안 행하였다. 증착된 CZT 박막의 표면조성비는 Cd 원자가 상대적으로 약 4% 정도 부족하였고, Zn원자는 비교적 안정하였다. 박막의 구조는 거의 Cubic phase인 다결정(polycrystal)이었다. $400^{\circ}C$에서 측정된 X-선 분말 회절상으로부터 구한 격자상수 값으로부터 계산된 열팽창 계수는 $6.30 {\times} 10^{-6}/^{\circ}C$ 이었다. 박막은 열처리에 의하여 회절상의 peak가 증가하였으나 기판의 온도가 결정화에 더 큰 영향을 미치는 것으로 판단된다. We have investigated the structure and the conductivity of the $Cd_{1-y}Zn_{y}$ Te films evaporated on the glass substrates (Corning 7059) by Electron Beam Evaporator (EBE) in pressure of approximately $1 {\times} 10^{-6}$ torr.The structure temperatures were held at both room temperature and $300^{\circ}C$, and the samples have annealed for an hour at $300^{\circ}C$ The survace com-position of the as-prepared films were slightly different from those of CdZn Te source material.Cd losses on the CdZnTe surface was measured about 4% of atomic ratio at room temperature substrate, whereas Zn atomic ratio was nearly constant, relatively. The strure is observed to be polycrystalline whose phase is mainly cubic phase. Thermal expansion coefficient was $6.30 {\times} 10^{-5}/^{\circ}C$ which was calculated from the variation of lattice parameter by X-ray powder pat-terns measured at $400^{\circ}C$.Diffraction peaks were slightly increased by annealing for an hour at $300^{\circ}C $, but they werey highly affected by substrate temperature during evaporation.

N-도핑된 3C-SiC / Si 에피층의 물리적 특성

박국상,김광철,서영훈,서은경,남기석,이형재 대한전자공학회 1998 대한전자공학회 학술대회 Vol.1998 No.1

Microwave를 이용한 결정구조 탐구 실험에 관한 연구

박국상,이기암,이희복,권영준 檀國大學校 基礎科學硏究所 1995 論文集 Vol.6 No.-

반도체 CdTe 박막의 전기 광학적 특성

박국상,김선옥,이기암 한국결정성장학회 1995 韓國結晶成長學會誌 Vol.5 No.1

유리기판 위에 electron beam으로 증착(EBE)된 CdTe film의 결정구조 및 전기 전도도와 광 전도도를 조사하였다. 그 구조는 거의 hexagonal phase 이었으며 Cubic phas가 약간 포함된 다결정이었다. 암 전기 전도도(dark electric conductivity)는 $1-^{-8} {\Omega}^{-1} cm^{-1}$정도이고 $300^{\circ}C$에서 1시간 동안 열처리하여 약간 증가되었다. 온도가 증가됨에 따른 전기 전도도로부터 계산된 활성화 에너지는 실온에서 증착된 film의 경우1.446 eV이었다. 흡수계수로부터 구한 광학적 band gap은 직접 천이(direct transition)인 경우 1.52 eV이었고 간접 천이(indirect transition)인 경우 1.44eV이었다. Film의 광전도도는 약$1-^{-8} {\Omega}^{-1} cm^{-1}$정도이고, 실온에서 대략 600 nm일때 가장 크다. 광전기 전도도는 850 nm에서 증가하기 시작하며 이는 CdTe 다결정의 활성화 에너지 (activation energy)인 1.446 eV와 근사하다. Abstract We have investigated the structure and the conductivity of the CdTe films evaporated on the glass substrates by Electron Beam Evaporator (EBE) technique. The structure is observed to be polycrystalline whose phase is mainly hexagonal phase with some cubic phase. Dark electric conductivity is of the order of $1-^{-8} {\Omega}^{-1} cm^{-1}$ and slightly increased by annealing for an hour at $300^{\circ}C$. Activation energy calculated from the electrical conductivity which varies with increasing temperature is 1.446 eV in the case of room temperature substrates. The values of optical band gap are 1.52 eV in direct transition whereas 1.44 eV in indirect. The photoconductivity of the films is of the order of $1-^{-8} {\Omega}^{-1} cm^{-1}$ and the peak energy is about 600 nm in the room temperature. The photoconductivity starts to increase at 850 nm, which is close to 1.446 eV, the activation energy of CdTe polycrystal films.

高麗時代의 土地分給과 田品

朴國相 서울대학교 인문대학 국사학과 1988 韓國史論 Vol.18 No.-