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남정곤,김학성,김남현 대한기계학회 1990 大韓機械學會誌 Vol.30 No.1
성능이 우수하고 가격이 저렴한 퍼스널 컴퓨터의 등장으로 공장 자동화의 이러한 추세는 점차 진 행 및 고도화되어 가고 있으며, 궁극적으로 컴퓨터 통합 생산(CIM : computer integrated manufacturing)방식으로 발전될 것으로 예상된다. 본 글에서는 금성 소프트웨어(주) 생산자동화 시스템실 및 산업자동화 시스템실에서 개발된 퍼스널 컴퓨터를 이용한 공장 자동화 프로젝트 실 제 사례들을 소개하고 앞으로의 공장 자동화에서의 퍼스널 컴퓨터 사용 추세를 전망하고자 한다.
백동현,남정곤 한국경영과학회 2002 한국경영과학회 학술대회논문집 Vol.- No.1(1)
반도체 공정은 웨이퍼가 투입되어 완제품이 생산되기까지 수 백 개의 제조공정을 수개월에 걸쳐 진행해야 하는 매우 복잡하고 긴 공정으로 구성되어 있다. 대부분의 공정들은 먼지가 철저히 통제되는 클린 룸에서 진행되지만 아주 미세한 먼지 하나도 반도체 칩의 성능과 수율을 저하시키는 요인이 된다. 반도체 칩의 불량은 특정 생산장비에서의 이물질 발생, 생산장비의 잘못된 파라미터 값 설정 등 다양한 요인에 의해 발생될 수 있으며 불량의 원인을 요인별로 파악하여 신속하게 대처하는 것이 수율 개선의 핵심이 된다. 이를 위해 SPC시스템, MES 그리고 6-시그마 등의 활용을 통한 다양한 수율 개선 노력이 있었으나 공정의 복잡성과 대용량의 수집 데이터로 인해 기존의 통계적 방법이나 엔지니어의 경험적 분석방법으로는 미처 파악하지 못하는 수율 저하 요인이 상당 수 존재한다. 본 논문은 군집화/분류, 순차패턴 등의 데이터마이닝 기법과 다차원분석(OLAP) 도구를 활용하여 수율저하의 원인이 되는 문제공정, 문제장비, 그리고 잘못된 파라미터 값 설정 등을 신속하고 정확하게 파악하여 수율 개선을 지원하는 방법을 소개하며, 반도체 Fabrication 공정을 대상으로 실제 구현된 수율개선 시스템(Y-PLUS)을 설명한다.