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H₂ 플라즈마를 이용한 SPC-Si TFT의 전기적 특성 향상
김용진(Yong-Jin Kim),박상근(Sang-Geun Park),김선재(Sun-Jae Kim),이정수(Jeong-Soo Lee),김창연(Chang-Yeon Kim),한민구(Min-Koo Han) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.7
본 논문에서는 ELA poly-Si TFT보다 뛰어난 균일도를 갖고, a-Si:H TFT보다 전기적 안정도가 우수한 PMOS SPC-Si TFT의 특성을 연구하였다. SPC-Si의 계면 특성을 향상시키기 위해 SiO₂ 게이트 절연막을 증착하기 전에 Solid Phase Crystalline 실리콘(SPC-Si) 채널 영역에 다양한 H2 플라즈마 처리를 해주었다. PECVD를 이용하여 100W에서 H2 플라즈마 처리를 5분 해주었을 때 SPC-Si TFT의 전기적 특성이 향상되는 것을 볼 수 있는데, VTH가 약 -3.91V, field effect mobility가 22.68㎠/Vs, 그리고 Subthreshold swing이 0.64 정도를 보였다. 또한 소자에 Hot carrier stress(VGS=14.91V, V<SUB>DS</SUB>=-15V, for 2,000sec)를 주었을 때도 전기적 특성이 변하지 않았으며, 일정한 bias stress(V<SUB>GS</SUB>=-15V, V<SUB>DS</SUB>=-10V, for 2,000sec)를 가하였을 때도 V<SUB>TH</SUB>가 증가하지 않았다. 이러한 결과를 통해 SPC-Si가 poly-Si TFT보다 더욱 안정함을 알 수 있었다.
오재근(Jae-Geun Oh),김용진(Jae-Geun Kim) 한국의사학회 2008 한국의사학회지 Vol.21 No.1
The concept of health has existed through the history of mankind; the recognition and adaptation of such concept has transformed over time with the development of culture throughout the age of humans. These concept wasn’t absent in the content East Asian Medicines, which is represented by Huangdi’s Internal Classic. However, due to imperialism and colonial polocies in the past, biomedical concepts of health has been accepted with force. The concept of “health” in pathological medicines of biomedicine refers to the of anatomical and biological completeness of the body system. In East Asia, Korean especially, a number of concepts regarding these subjects has been informed by Japanese physicians, such as Hukujawa Yukichi. Understanding the idea of body in the angle of philosophy, history, and medicine in the cultural area of East Asia is necessary.