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      • KCI등재

        정신과 응급환자에 대한 Chlorpromazine과 Seranace?? 근주의 효과비교

        권영재,백인호 대한신경정신의학회 1979 신경정신의학 Vol.18 No.4

        In this study, a comparative evaluation on clinical efficacy between parenteral chlorpromazine and serenace?? for acute psychotics brought to the emergency psychiatric unit was made. Subjects were consisted of 39 cases of psychotics including 21 males, 18 females they were under double-blind procedure given single injections of 50 mgms of chlorpromazine (20 cases) and 5 mgms of serenace?? (19cases) separately. The effects were evaluated globally for overall effects as well as by the Brief Psychiatric Rating Scale (BPRS) for target signs and symptoms. The results were as follows 1. Of the 20 cases who received chlorpromazine, 17 cases (85%) were noted to be their symptoms under led controlled or partially under controlled. 2. Of the 19 cases who were administered with serenace??, 11 cases (58%) become under or partially under controlled while 6 cases (32%) shows few signs of response including 2 cases (10%) were noted to be even worse. 3. Results of BPRS evaluation was applied to them 60 min. after the injection showed the reduction of the total mean BPRS scores for the signs and symptoms. When compared the two group on the reduction chlorpromazine group was significantly remarkable than serenace?? group. 4. Covariant analysis of the data for 60 min. after the injections chlorpromazine was also noted to be significantly superior than serenace?? partially for the control of somatic coecern, conceptual disorganization and unusual thought content. Results of the above mention comparison suggests that chlorpromazine were felt to be the drug of choice in psychiatric emergencies requiring the use of an antipsychotic agent. Serenace?髥? Haloperidol

      • SCOPUSKCI등재

        $SiO_2$와 Co/Nb 이중층 구조의 상호반응

        권영재,이종무,배대록,강호규,Gwon, Yeong-Jae,Lee, Jong-Mu,Bae, Dae-Rok,Gang, Ho-Gyu 한국재료학회 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.10

        XPS와 glancing angle XRD, AES 및 AFM을 사용하여 $330^{\circ}C$-$800^{\circ}C$사이의 진공분위기에서 열처리할 때, Co/Nb이중층과 $SiO_2$기판 사이의 계면반응을 조사하였다. $600^{\circ}C$에서 Co와 Nb는 서로 활발하게 확산하여, $700^{\circ}C$이상에서는 두 층사이의 충역전이 완전히 일어났다. 그 때 Nb 중간층과 $SiO_2$기판 사이의 반응에 의하여 계면에 일부 NbO가 형성되었으며, 표면에서는 분위기 중의 산소에 의하여 $Nb_2O_5$가 생성되었다. Nb와 기판간의 반응에 의하여 유리된 Si는 $600^{\circ}C$이상에서 잔류 Co 및 Nb와 반응하여 실리사이드를 형성하였다. Co/Nb 이중층 구조는 $800^{\circ}C$에서 열처리한 후 면저항이 급증하기 시작하였는데, 이것은 Co층이 기판과 바로 접하게 되어 계면에너지를 줄이기 위해 응집되기 때문이다. The interfacial reaction between the CoINb bilayer and the $SiO_2$ substrate in the temperature range of $330^{\circ}C$-$800^{\circ}C$ in a vacuum has been investigated by X-ray photoelectron spectroscopy, glancing angle XRD, Auger Electron Spectroscopy and Atomic force microscopy. The Co and Nb were actively interdiffused at $600^{\circ}C$, and the layer inversion completed at $700^{\circ}C$. NbO was formed by interfacial reaction between the Nb interlayer and the $SiO_2$ substrate, while $Nb_20_5$ was formed on the surface by reaction of Nb with oxygen in the ambients. Free Si atoms obtained by the reaction between Nb and $SiO_2$ formed silicides like CoSi and $Nb_5Si_3$ by reacting with Co and Nb remnants. The sheet resistance of the Co/Nb bilayer increased substantially after annealing at $800^{\circ}C$. which is due to the agglomeration of the Co layer to reduce its surface energy.

      • SCOPUSKCI등재

        $\textrm{SiO}_2$기판 위에 증착된 Co/Hf 이중층의 계면반응

        권영재,이종무,배대록,강호규,Gwon, Yeong-Jae,Lee, Jong-Mu,Bae, Dae-Rok,Gang, Ho-Gyu 한국재료학회 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.9

        self-aligned silicide(salicide)제조시 CoSi2의 에피텍셜 성장을 돕기 위하여 Co와 Si 사이에 내열금속층을 넣은 Co/내열금속/Si의 실리사이드화가 관심을 끌고 있다. Hf 역시 Ti와 마찬가지로 이러한 용도로 사용될 수 있다. 한편, Co/Hf 이중층 salicide 트랜지스터가 성공적으로 만들어지기 위해서는 spacer oxide 위에 증착된 Co/Hf 이중층이 열적으로 안정해야 한다. 이러한 배경에서 본 연구에서는 SiO2기판 위에 증착한 Co 단일층과 Co/Hf 이중층을 급속열처리할 때 Co와 SiO2간의 계면과 Co/Hf와 SiO2간의 계면에서의 상호반응에 대하여 조사하였다. Co 단일층과 Co/Hf 이중층은 각각 $500^{\circ}C$와 $550^{\circ}C$에서 열처리한 후 면저항이 급격하게 증가하기 시작하였는데, 이것은 Co층이 SiO2와의 계면에너지를 줄이기 위하여 응집되기 때문이다. 이 때 Co/Hf의 경우 열처리후 Hf에 의하여 SiO2 기판이 일부 분해됨으로써 Hf 산화물이 형성되었으나, 전도성이 있는 HfSix 등의 화합물은 발견되지 않았다.

      • SCOPUSKCI등재

        Co/Ti(100)Si 이중층을 이용한 에피텍셜 Co 실리사이드의 형성

        권영재,이종무,배대록,강호규,Kwon, Young-Jae,Lee, Chong-Mu,Bae, Dae-Lok,Kang, Ho-Kyu 한국재료학회 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.6

        단결정 Si기판위의 Co/Ti 이중층으로부터 형성된 Co 실리사이드의 에피텍셜 성장기구에 대하여 조사하였다. 실리사이드화 과정중 Ti원자들이 저온상의 CoSi결정구조의 tetrahedral site들을 미리 점유해 있음으로 인하여, $CoSi_{2}$ 결정구조로 바뀌는 과정에서 Si원자들이 나중에 제위치를 차지하기 어렵게 되는 효과 때문이다. 그리고 Ti중간층은 반응의 초기단계에 Co-Ti-O 삼원계 화합물을 형성하는데, 이 화합물은 실리사이드화 과정중 반응 제어층으로 작용하여 에피텍셜 실리사이드 형성에 중요한 역할을 한다. 최종 열처리 층구조 Ti oxide/Co-Ti-Si/epi/$Cosi_{2}$(100) Si 이었다. The formation mechanism of the epitaxial cobalt silicide from Co/Ti/OOO) Si structure has been investigated. The transition temperature of CoSi to CoSi, was found to increase with increasing the Ti interlayer thickness, which may be owing to the occupation of the tetrahedral sites by Ti atoms in the CoSi crystal structure as well as the blocking effect of the Ti interlayer on the diffusion of Co. Also, the Co- Ti-O ternary compound formed at the metal! Si interface at the begining of silicidation, which seems to play an important role in epitaxial growth of Co silicide. The final layer structures obtained after a rapid thermal annealing of the Cot Ti/( 100) Si bi-layer structure turned out to be Ti oxide/Co- Ti-Si/epi-$CoSi_2$/OOO)

      • SCOPUSKCI등재

        Co/내열금속/다결정 Si 구조의 실리사이드화와 열적안정성

        권영재,이종무 한국세라믹학회 1999 한국세라믹학회지 Vol.36 No.6

        Silicide layer structures and morphology degradation of the surface and interface of the silicide layers for he Co/refractory metal bilayer sputter-deposited on the P-doped polycrystalline Si substrate and subjected to rapid thermal annealing were investigated and compared with those on the single Si substrate. The CoSi-CoSi2 phase transition temperature is lower an morphology degradation of the silcide layer occurs more severely for the Co/refractorymetal bilayer on the P-doped polycrystalline Si substrate than on the single Si substrate. Also the final layer structure and the morphology of the films after silicidation annealing was found to depend strongly upon the interlayer metal. The layer structure after silicidation annealing of Co/Hf/doped-poly Si is Co-Hf alloy/polycrystalline CoSi2/poly Si substrate while that of Co/Nb is polycrystalline CoSi2/NbSi2/polycrystalline CoSi2/poly Si.

      • SCOPUSKCI등재

        Co/내열금속/(100) Si 이중층 구조의 실리사이드화

        권영재,이종무,배대록,강호규 한국세라믹학회 1998 한국세라믹학회지 Vol.35 No.5

        The silicide formation mechanisms of Co/Hf and Co/Nb bilayer on (100) Si have been investigated. We ob-served that crystallographic orientationso f the 500$^{\circ}C$ formed cobalt silcides were different each other with the varying intermediate layers. Epitaxial and non-epitaxial CoSi2 formed simultaneously in Co/Hf/(100Si. While only non-epitaxial CoSi2 formed in Co/Nb/(100) Si. The reason why the crystallographic orientation of CpSi2 is different for those two systems seemed to be relate to the formation and decomposition of stable reaction barriers at high temperature. The stable reaction barrier formed at high temperature could control the uniform diffusion of Co atoms which enables epitaxial growth of CoSi2. 단결정 Si 기판 위에 증착한 Co/Hf과 Co/Nb 이중층으로부터 형성된 Co 실리사이드의 성장기구에 대하여 조사하였다. 두 경우 모두 500$^{\circ}C$ 이상에서 CoSi2가 주로 형성되었으나 그 결정방위의 성장양상은 서로 달랐다. Co/Hf/(100)Si 구조에서는 Si 기판과 에피텍셜 관계를 갖는 결정립과 그렇지 않은 결정립이 서로 혼합되어 성장하였다. 그러나 Co/Nb/(100)Si에서는 처음부터 에피텍셜 관계를 갖지 않는 결정립들만이 형성되었다. 동일한 구조임에도 불구하고 이렇게 내열금속 중간층에 따라 성장된 실리사이드의 결정방위가 달라지는 것으 안정한 반응제어층의 형성 및 고온에서의 그 분해과정과 관련이 있었다. 여러 구성원소들로 이루어진 반응제어층이 고온까지 안정할 경우에는 Co의 확산이동을 균일하게 제어하여 실리사이드의 에피텍셜 성장이 가능하다.

      • 테이퍼 전송선 원리를 이용한 불균일 굴절률 광여파기의 해석 및 설계

        권영재,장호성,임성규,오명환 대한전자공학회 1997 電子工學會論文誌, D Vol.d34 No.9

        Optical filters with graded index profiles are designed by applying the fourier transform to a riccati equation which governs the reflection and transmission characteristics of inhomogeneous refractive index distributions. The inhomogeneous refractive index profile of an optical filter with specified target spectrum is obtained through iterations. The spectra response of the inhomogeneous refractive index layers are analyzed by using runge-dutta numerical method to solve the differential euations of the amplitude and the phase of reflection coefficient derived from the riccati equation and the results are in good agreement with the resutls obtained by using matrix method.

      • SCOPUSKCI등재

        다결정 Si기판 위에서의 Co/Ti 이중층의 실리사이드화

        권영재,이종무,배대록,강호규,Kwon, Young-Jae,Lee, Jong-Mu,Bae, Dae-Lok,Kang, Ho-Kyu 한국재료학회 1998 한국재료학회지 Vol.8 No.7

        P가 고농도로 도핑된 다결정 Si 기판 위에 Co/Ti 이중층막을 스퍼터 증착하고 급속열처리함으로써 얻어지는 실리사이드 층구조, 실리사이드막의 응집, 그리고 도펀트의 재분포 등을 단결정 Si 기판 위에서의 그것들과 비교하여 조사하였다. 다결정 Si 기판위에 형성한 Co/Si 이중층을 열처리할 때 단결정 기판에서의 경우보다 $CoSi_2$로의 상천이는 약간 더 낮은 온도에서 시작되며, 막의 응집은 더 심하게 일어난다. 또한, 다결정 Si 기판내의 도펀트보다 웨이퍼 표면을 통하여 바깥으로 outdiffusion 함으로써 소실되는 양이 훨씬 더 많다. 이러한 차이는 다결정 Si 내에서의 결정립계 확산과 고농도의 도펀트에 기인한다. Co/Ti/doped-polycrystalline si의 실리사이드화 열처리후의 층구조는 polycrystalline CoSi2/polycrystalline Si 으로서 Co/Ti(100)Si을 열처리한 경우의 층구조인 Co-Ti-Si/epi-CoSi2/(100)Si 과는 달리 Co-Ti-Si층이 사라진다. Silicide layer structures, agglomeration of silicide layers, and dopant redistributions for the Co/Ti bilayer sputter-deposited on the P-doped polycrystalline Si substrate and subjected to rapid thermal annealing were investigated and compared with those on the single Si substrate. The $CoSi_2$ phase transition temperature is higher and agglomeration of the silicide layer occurs more severely for the Co/Ti bilayer on the doped polycrystalline Si substrate than on the single Si substrate. Also, dopant loss by outdiffusion is much more significant on the doped polycrystalline Si substrate than on the single Si substrate. All of these differences are attributed to the grain boundary diffusion and heavier doping concentration in the polycrystalline Si. The layer structure after silicidation annealing of Co/ Tildoped - polycrystalline Si is polycrystalline CoSi,/polycrystalline Si, while that of Co/TiI( 100) Si is Co- Ti- Si/epi- CoSi,/(lOO) Si.

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