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차옥환,설용태,임효재 호서대학교 반도체제조장비국산화연구센터 2003 학술대회 자료집 Vol.2003 No.1
본 연구에서는 저압 상태인 반도테 제조장비의 입자오염을 측정하는데 많이 사용되고 있는 ISPM 의 성능특성을 실험적 기법으로 조사하였다. 2 개의 공기역학적 렌즈를 사용하여 주입된 219.41 nm 크기의 PSL 실험 입자 빔을 생성시켰다. 또한 기존에 보고된 실험조건에 따라 chamber 압력, 유입유량을 각각 1 torr와 32 sccm으로 맞추었으며, 입자 농도를 두 가지로 변화시켜 실험하였다. 연구에 사용된 본 연구센터의 ISPM 장비는 250 nm 근처의 입자 크기에 대하여 비교적 정확한 특성을 나타냄을 알 수 있었다. 앞으로 본 실험에서는 사용된 ISPM 장비의 측정 환경에 맞는 렌즈 수, 렌즈 간격, 적정 압력, 적정 입자 크기 등 조건들을 결정하여 실제 반도체 제조장비 공정 chamber 에 직접 부착하여 반도체 공장에 활용할 계획이다.
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$A1_{0.15}$$Ga_{0.85}$N/GaN 박막의 광학적 특성
정상조,차옥환,서은경,김영실,신현길,조금재,남승재 한국결정성장학회 1999 韓國結晶成長學會誌 Vol.9 No.6
MOCVD로 성장된 $A1_x$$Ga_{1-x}$N/GaN 박막의 광학적 특성을 이해하기 위하여 실온에서 광발광(PL), 광전류)PC), 광단속에 의한 광권도도(PPC) 측정하였다. PL과 PC로 결정된 $A1_x$$Ga_{1-x}$N/GaN 박막의 광학적 에너지 간격은 3.7eV 이었다. PC측정 시 빛을 시료의 위쪽에서 조사시켰을 때에는 3.70, 3.40eV의 peak와 2.2eV 근방에서 broad한 peak가 관측되었다. 그러나 기판 쪽에서 빛을 조사시켰을 때의 PC 스펙트럼은 2.2eV 근방에서 broad한 peak와 3.43eV peak 만을 볼 수 있었다. PPC실험에서 관측된 photocurrent quenching과 비정상적인 PPC현상은 GaN 띠간격내에 형성된 전위나 vacancy 등의 결정결함 준위내에 전자들이 포획되고 오랫동안 포화되어 있다가 다시 방전되는 현상으로 보인다. In order to investigate the optical properties of the $Al_XGa_{1-X}N/GaN$ thin film grown by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) method, the photoluminescene (PL), photocurrent (PC) and persistent photoconductivity (PPC) measurements were carried out at room temperature. The band gap of the $A1_x$$Ga_{1-x}$N/GaN was determined to 3.70 eV by the PL and PC measurements. The PC measurement on the light illumination from the top of the $A1_x$$Ga_{1-x}$N/GaN thin film provides peaks at 3.70, 3.43, and around 2.2 eV. The PC spectrum by the illumination passing through from the substrate of the sample can be shown at 3.43 eV together with a broad tail band from the GaN band edge to around 2.23 eV. The photocurrent quenching and anomalous PPC decay observed in PPC measurements indicate that metastable electron states are fomed in the band gap of GaN layer to trap electrons which can be tunneled the potential barrier for long recovery time.
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개선형 ISPM에서 공기역학적 렌즈의 최적조건에 대한 실험적 연구
임효재,차옥환,설용태 한국반도체디스플레이기술학회 2004 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2
An experimental study was conducted on the optimal configuration and size of ADFL(Aerodynamic Focusing Lens) which used in modified ISPM(In-Situ Particle Monitoring). The particle counting efficiency has been known as a function of distance and size of ADFL, thus we varied these parameters to find out the optimum values. From a result of experiment, it was found that two lenses and 6mm space between them showed a maximum particle measuring efficiency. To apply this modified ISPM to semiconductor manufacturing field, we need more experiment about the pressure change, flow rate, and input particle size.
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FABRICATION OF CARBON NANOSTRUCTURES BY LASER ASSISTED CHEMICAL REACTION
박종복,정성호,차옥환,정문석,고도경,이종민 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 성균나노과학기술원 2006 NANO Vol.1 No.1
In this work, a simple method is reported for the synthesis of bundles of carbon nanostructures under room temperature and atmospheric pressure. A pulsed Nd:YAG laser (355 nm, 10 Hz) is focused into the mixture of ferrocene and xylene solutions to produce the nanostructures in which ferrocene plays the role of a catalyst while xylene is the carbon source for nanostructure growth. During the period of irradiation, the color of solution turns into dark brown from transparent orange. Upon the completion of irradiation, typically for an hour, a variety of bundles of carbon nanostructures are found in the solution. Raman spectroscopy, scanning electron microscopy (SEM), and transmission electron microscopy (TEM) are used to investigate the nanostructures.
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