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산화갈륨(Ga₂O₃) CMP 에서 표면 Waviness 개선에 관한 연구
정호경(H. K. Jung),이태경(T. K. Lee),김도연(D. Y. Kim),조한철(H. C. Cho),김형재(H. J. Kim) Korean Society for Precision Engineering 2022 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2022 No.10
사파이어 CMP에서 염화칼륨이 연마율에 미치는 영향
박철진(C. J. Park),조한철(H. C. Cho),이상진(S. J. Lee),김형재(H. J. Kim) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.5월
화학기계적평탄화 공정에서 컨디셔너구조가 패드 형상에 미치는 영향
김형재(H. J. Kim),조한철(H. C. Cho),박철진(C. J. Park ),이상직(S. J. Lee) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.12월
모바일폰 소형부품의 냉간 단조공정에 대한 연구
방현중(H. J. Bang),조창구(C. G. Cho),한철호(C.H.Han) 한국소성가공학회 2010 한국소성가공학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.5
패드 프로파일에 따른 웨이퍼 표면의 스트레스 분포
오지헌(J. H. Oh),조한철(H. C. Cho),안준호(J. H. Ahn),박선준(S. J. Park),이현섭(H. S. Lee),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2008 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2008 No.6월
컨디셔닝 공정에서 컨디셔닝 디스크의 내경 변화에 따른 CMP 패드 마모에 대한 시뮬레이션
이동환(D. H. Lee),정선호(S. H. Jeong),이다솔(D. S. Lee),김형재(H. J. Kim),조한철(H. C. Cho),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2019 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2019 No.5월
래핑정반 그루브가 사파이어 기판의 재료제거율에 미치는 영향
이태경(T. K. Lee),김형재(H. J. Kim),조한철(H. C. Cho),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2016 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2016 No.10월
CMP 연마 패드의 표면거칠기가 동압 형성 및 재료 제거에 미치는 영향
박영욱(Y. W. Park),정호경(H. K. Jung),조한철(H. C. Cho),윤승찬(S. C. Youn),김형재(H. J. Kim),정해도(H. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2023 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2023 No.5
구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향
박영욱(Y. W. Park),정호경(H. K. Jung),조한철(H. C. Cho),김형재(H. J. Kim),정해도(H. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2024 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2024 No.5
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