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Titanium과 Cobalt silicide의 연구
김상용(Sang-Yong Kim),유석빈(Seok-Bin Yu),서용진(Yong-Jin Seo),김태형(Tae-Hyung Kim),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 1989 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1989 No.7
CMP공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구
서용진(Yong Jin Seo),김상용(Sang Yong Kim),김태형(Tae Hyung Kim),김창일(Chang Il Kim),이우선(Woo Sun Lee),장의구(Eui Goo Chang) 한국전기전자재료학회 1999 전기전자재료학회논문지 Vol.12 No.2
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LDD-nMOSFET의 핫 캐리어 열화 억제를 위한 표면 이온주입 효과에 대한 연구
서용진(Yong-Jin Seo),안태현(Tae-Hyun An),김상용(Sang-Yong Kim),김태형(Tae-Hyung Kim),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 1998 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1998 No.11
PMD-1 층의 물질변화에 따른 소자의 전기적 특성
서용진(Yong-Jin Seo),김상용(Sang-Yong Kim),유석빈(Seok-Bin Yu),김태형(Tae-Hyung Kim),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 1998 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1998 No.7
STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구
김상용(Sang-Yong-Kim),서용진(Yong-Jin Seo),김태형(Tae-Hyung Kim),이우선(Woo-Sun Lee),정헌상(Hun-Sang Chung),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 1998 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1998 No.11
고집적화 반도체 소자의 CMP 공정에서 Micro-Defect 관한 연구
김상용(Sang-Yong Kim),이경태(Kyeng-Tae Lee),서용진(Yong-Jin Seo),이우선(Woo-Sun Lee),정헌상(Hun-Sang Chung),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 1999 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1999 No.7
PMD Liner Nitride공정의 최적화를 위한 박막 특성에 관한 연구
김상용(Sang-Yong Kim),서용진(Yong-Jin Seo),이우선(Woo-Sun Lee),정헌상(Hun-Sang Chung),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 2000 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2000 No.7
Oxide CMP 공정에서 Slurry Filter을 사용한 Microscratch 감소에 관한 연구
김상용(Sang-Yong Kim),서용진(Yong-Jin Seo),김태영(Tae-Hyung Kim),이우선(Woo-Sun Lee),정헌상(Hun-Sang Chung),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 1999 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1999 No.7
RTN에 의해 제작된 MOS 소자의 C-V 특성
장의구(Eui-Goo Chang),최원은(Won-Eun Choi),윤돈영(Dohn-Young Yoon),이오성(Oh-Sung Lee),김상용(Sang-Yong Kim) 대한전기학회 1988 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1988 No.7
N₂O 가스에서 열산화에 의해 형성된 oxynitride막의 특성
배성식(Sung-Sig Bae),이철인(Cheol-In Lee),최현식(Hyun-Sik Choi),서용진(Yong-Jin Seo),김태형(Tae-Hyung Kim),김창일(Chang-Il Kim),장의구(Eui-Goo Chang) 대한전기학회 1993 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1993 No.7
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