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마이크로 압전 엑츄에이터용 Sol-Gel PZT 박막의 두께 변화에 따른 특성
장연태,박준식,김대식,박효덕,최승철 호서대학교 반도체제조장비국산화연구센터 2001 반도체장비학술심포지움 Vol.2001 No.-
Pb가 10% 과잉되고 Zr : Ti = 52 : 48 조성을 갖는 PZT sol이Pt(3500A˚)/Ti(400A˚)/SiO2(3000A˚)/Si(525㎛)기판 위에 스핀 코팅법으로 반복 코팅된 후, 450℃에서 10분, 650℃에서 2분간 반복 열처리되었다.이와 같이 다양한 두께로 적층된 박막은 각 시편에 대해 최종적으로 650℃ 30분 동안 어닐링 처리되었다.제조된 PZT 박막의 두께는 4100A*에서 1.75㎛사이의 4종이었다.이어서 스퍼터링법으로 Pt전극이 PZT 막 위에 증착되었다.제조된 PZT 박막의 결정 구조 조사를 위해 XRD, 그리고 미세 구조 및 전기적 특성을 알아보기 위해 FESEM과 P-E 이력 곡선이 각각 관찰되었다.4100A˚에서 1.75㎛까지 두께 중가에 따른 장비상의 포화 이력 한계로 잔류 분극(Pr)값이 25A˚u C/㎠에서 다소 감소되었다.측정된 X선 회절 결과에서 최초 4회 코팅시 perovskite 결정 구조로 성장한 결정립은 (111)배향이 우세하였으나, 두께가 증가됨에 따라 (111)/(110)값이 감소되었으며, 이를 통해 두께 증가에 따른 (111)배향성이 다소 감소됨을 알 수 있었다.이상의 결과로부터 제조된 PZT 박막은 큰 힘과 높은 내전압 특성을 갖는 마이크로 압전 액츄에이터에 적용될 수 있을 것으로 생각되었다.
Multi-coating법으로 제조된 두꺼운 PZT막의 두께 변화에 따른 미세구조 및 전기적 특성
박준식,장연태,박효덕,최승철,강성군,Park, Jun-Sik,Jang, Yeon-Tae,Park, Hyo-Deok,Choe, Seung-Cheol,Gang, Seong-Gun 한국재료학회 2002 한국재료학회지 Vol.12 No.3
Properties of 52/48 PZT films with various thicknesses for piezoelectric micro-electro mechanical systems (MEMS) devices fabricated by multi-coating method on $Pt(3500{\AA})/Ti(400{\AA})/SiO_2(3000{\AA})/Si$(525$\mu\textrm{m}$) substrates were investigated. PZT films were deposited by spin-coating process at 3500 rpm for 30 sec, followed by pyrolysis at 45$0^{\circ}C$ for 10 min producing the thickness of about 120nm. These processes were repeated 4, 8, 12, 16 and 20 times in order to have various thicknesses, respectively. Finally, they were crystallized at $650^{\circ}C$ for 30 min. All thick PZT films showed dense and homogeneous surface microstructures. Thick PZT films showed crystalline structures of random orientations with increasing thickness. Dielectric constants of thick PZT films were increased with increasing film thickness and reached 800 at 100kHz for 2.3$\mu\textrm{m}$ thick PZT film. $P_r\; and\; E_c$ of 2.3$\mu\textrm{m}$ thick PZT films were about 20$\mu$C/$\textrm{cm}^2$ and 63kV/cm. Depth profile analysis by Auger Electron Spectroscopy (AES) of 4800 $\AA$ thick PZT film showed the formation of the perovskite phase on Pt layer by Pb diffusion behavior. It was considered that Pb-Pt intermediate layer promoted PZT (111) columnar structures.
Issues in Administration Systems - 주민등록업무 전산화를 중심으로
전길남,이동욱,남창학,구본능,장연태 한국정보과학회 1982 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.9 No.1
주민등록업무 행정전산화 개발과정에서의 기술적인 방법을 소개하고 시범운영에서 나타난 제반 문제점 및 전국적으로 확대시켰을 때의 기술적, 행정적, 법률적, 사회적 쟁점들을 검토 분석하는 것임. In this paper, the technical methods in the developmental process of the administration systems are introduced. The overall issues in the results of demonstration are analyzed and administrational, lawful and social disputes for future expansion are presented.
김동현(Kim, Dong-Hyun),장연태(Jang, Yeon-Tae),전희조(Jeon, Hee-Jo) 한국화재소방학회 2011 한국화재소방학회 학술대회 논문집 Vol.2011 No.춘계
GPS 기반의 위치관제 시스템은 현재 교통, 물류관제, 보험, 보안 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 재난 재해관리를 방재 분야에서도 다양한 형태의 위기 상황에 대응하기 위해 재난 재해 종류 및 규모별로 다양한 정보자원을 이용해야 하고 인적 물적 자원을 활용하여 빠르게 대응해야 한다. 특히 산불, 산사태, 태풍, 홍수해 등의 광역의 자연재해뿐만 아니라 주요시설물 및 문화재 등의 인위적 재난 방재 분야에서도 중앙정부 차원의 U-ICT기술을 이용한 실시간 통합 예방 대응관리 시스템이 필요하다. 본 연구에서는 스마트 폰 및 GPS-CDMA단말기를 이용한 산불을 사례로 한 '자연재해관제시스템' 개발과 함께 문화재를 대상으로 한 'LBS기반 문화재위험관리시스템'에 대한 구현 방법에 대하여 제안하며 기존의 인적 자원과 물적 자원의 총괄적인 관리와 차세대 문화재 위험관리 시스템 구축 방향을 제시하였다.