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R.F. 마그네트론 스퍼터링을 이용한 LiCoO<sub>2</sub> 양극활물질의 Ar 증착분압에 따른 박막전지 전극 특성
박호영,임영창,최규길,이기창,박기백,권미연,조성백,남상철,Park, H.Y.,Lim, Y.C.,Choi, K.G.,Lee, K.C.,Park, G.B.,Kwon, M.Y.,Cho, S.B.,Nam, S.C. 한국전기화학회 2005 한국전기화학회지 Vol.8 No.1
Ar공정 분압에 따라 스퍼터링된 $LiCoO_2$박막 양극의 $400^{\circ}C$저온 열처리를 통한 전기화학적 및 미세구조적 특성을 연구하였다. Ar분압이 변화함에 따라 양극 박막의 미세구조 및 조성이 변화하였으며, Ar분압이 증가할수록 $LiCoO_2$ 박막의 안정성 및 전기화학적 특성이 개선되었다. 순환전류전위법 및 정전류 충방전 시험에 의해 전극반응의 가역성 및 안정성 등을 고찰하였으며, 박막의 조성, 결정성, 표면 특성 등 물리적 특성은 ICP-AES, XRD, SEM 및 AFM을 통해 분석하였다. We investigated the electrochemical properties and microstructure on the various argon deposition pressure $(P_{Ar})$ and the low annealing temperature $(400^{\circ}C)$ of $LiCoO_2$ cathodes, which deposited by R.F. magnetron sputtering. The microsuucture and composition of Lico02 thin film was changed as a function of $P_{Ar}$. The capacity and electrochemical properties were improved with Ph of $LiCoO_2$ thin films. The cycling reversibility and stability of thin film batteries were measured by cyclic voltammetry and the constant current charge-discharge. The physical properties of cathode films were analyzed by ICP-AES, XRD, SEM and AFM for composition, crystallization and surface morphology.