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SiO$_2$ 박막을 이용한 SOI 직접접합공정 및 특성
유연혁,최두진 한국세라믹학회 1999 한국세라믹학회지 Vol.36 No.8
SOI(silicon on insulafor) was fabricated through the direct bonding using (100) Si wafer and 4$^{\circ}$off (100) Si wafer to investigate the stacking faults in silicon at the Si/SiO2 oxidized and bonded interface. The treatment time of wafer surface using MSC-1 solution was varied in order to observe the effect of cleaning on bonding characteristics. As the MSC-1 treating time increased surface hydrophilicity was saturated and surface microroughness increased. A comparison of surface hydrophilicity and microroughness with MSC-1 treating time indicates that optimum surface modified condition for time was immersed in MSC-1 for 2 min. The SOI structure directly bonded using (100) Si wafer and 4$^{\circ}$off (100) Si wafer at the room temperature were annealed at 110$0^{\circ}C$ for 30 min. Then the stacking faults at the bonding and oxidation interface were examined after the debonding. The results show that there were anomalies in the gettering of the stacking faults at the bonded region.
What If Simulation을 이용한 생산 계획 활용 사례
백재용,정홍진,추헌성,유연혁,정민혁 대한산업공학회 2023 대한산업공학회 춘계학술대회논문집 Vol.2023 No.5
제조기업의 제조활동을 위한 계획과 스케줄링(P&S: Planning & Scheduling)은 생산 전략을 수립하는 과정으로써 중요하다. 계획(Planning)은 고객의 요구사항과 요청한 일정에 맞춰, 필요한 자재, 설비, 인원을 준비하고, 생산 시점과 생산 수량을 결정하는 활동이며, 스케줄링(Scheduling)은 생산 현장에서의 제약과 조건을 반영하여, 설비별 작업 순서를 결정하는 활동이다. 이러한 P&S 활동은 고객 주문의 변경, 자재의 수급 일정의 지연, 설비의 고장 등의 동적인 변동 사항을 민첩하게 수용해야 하기 때문에 반복적인 수행이 필수적이다 또한 보다 높은 품질의 계획을 산출하기 위해, 연관된 조정 변수의 죄적화 활동이 동반된다. 따라서 본 논문은 P&S의 반복적 수행 및 조정변수의 최적화 활동이 가능한 What-If Simulation을 이용하여 생산 계획의 활용 사례를 소개한다. 그리고 사례를 통해 P&S의 정확한 의미, 고려사항과 주요 활동을 설명한다. 이를 통해 디지털 트윈(Digital Twin) 환경에서 운영 계시스템(Legacy System)과 함께 운영 할 수 있는 시스템 구조를 제안한다.