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자기 중성방전 스퍼터링에 의한 산화몰리브덴 박막의 제작 및 그 응용
김두환(Doo-Hwan Kim),박차수(Cha-Soo Park),성열문(Youl-Moon Sung) 한국조명·전기설비학회 2009 조명·전기설비학회논문지 Vol.23 No.1
본 실험에서 자계중성방전 스파트링 시스템으로 균일한 산화 몰리브덴 박막을 얻을 수 있었다. 한편, 열처리 조건에 따라 박막의 제반특성은 XRD, XPS 및 SEM 등으로 고찰되었다. 기판의 열처리 온도에 따라 결정성장배향이 (100)에서 (210)으로 변함으로써, 박막의 결정성이 향상되었으며, 박막의 구조는 치밀해졌다. 광전자 Mo3d의 XPS 피크치는 결합에너지 228.9[eV)과 232.4[eV]에서 검출되었지만, Ols 피크치는 532.6[eV)였다. 서지 전압으로 방전시험은 연속적으로 10회 수행되었다. 전류-전압 특성곡선으로부터, 400[V)의 전압이 인가된 상태에서 시료의 초기 및 평균 저항치는 1.4[㏁)과 800[㏀]이었다. In this experiment molybdeum oxide(MoO₃) films were prepared by a magnetic null discharge(MND) sputtering system and fundamental properties by XRD, XPS and SEM analysis were investigated. The initial and mean insulation resistance of the same with MoO₃ film were about 1.4[㏁] and 800[㏀] under the condition of applied voltage of 400[V]. The preferred orientation in the films changed from(100) to (210) with substrate temperature. Two XPS peaks of the Mo3d photoelectron were detected at the binding energies of 228.9[eV] and 232.4[eV], while the binding energy of the Ols peak was 532.6[eV). The substrate temperature and reactivity gives large effects to the structure and growth of the film and system is also very useful for performing the uniform reactive deposition It can be found from the result of a MoO₃ film deposition that the system is very useful for performing the uniform reactive sputtering.
Fe가 첨가된 MgO 보호막의 표면특성 개선에 관한 연구
이돈규(Don-Kyu Lee),박차수(Cha-Soo Park),김광태(Kwang-Tae Kim),성열문(Youl-Moon Sung) 한국조명·전기설비학회 2010 조명·전기설비학회논문지 Vol.24 No.2
플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP)이 다른 평판 디스플레이 분야(Liquid Crystal Displays(LCDs) and organic light emitting diodes(OLEDs) 등)와 경쟁에서 이기기 위해서는 제품의 고화질화, 저소비전력와 고속구동 등의 성능향상이 필요하다. 본 논문에서는 PDP의 성능향상을 위하여 유전체 보호층으로 쓰이는 MgO 박막에 Fe를 미량 첨가한 박막을 증착하고, 그 특성에 대하여 연구하였다. e-beam 증착법으로 증착된 Fe 도핑 된 MgO 박막의 표면특성과 전기광학적 특성을 4인치 테스트 패널을 제작하여 연구하였다. Fe가 도핑된 MgO 박막을 가지는 PDP는 Fe가 도핑되지 않은 PDP에 비해 낮은 방전전압 특성을 나타내었으며, 이는 박막에서 측정된 2차전자방출계수의 실험결과와 잘 일치되었다. 증착된 박막의 결정성과 표면 거칠기는 XRD 와 AFM 측정방법을 통하여 결정되었다. 또한, Fe가 도핑된 PDP는 고속구동을 위한 향상된 어드레스 방전 늦음의 특성을 나타내었다. In order to compete with other flat display devices such as Liquid Crystal Displays (LCDs) and organic light emitting diodes (OLEDs), Plasma Display Panels (PDPs) require to have high performances like high image quality, low power consumption and high speed driving. In this paper, Fe doped MgO protective layer was introduced for higher performance. Both the surface characteristics of the deposited thin films and the electro-optical properties of 4 inch test panels were investigated. It has been demonstrated experimentally that ac PDP with Fe doped MgO protective layer has lower discharge voltage than that of undoped MgO film, which corresponds to measured secondary electron emission coefficients. The crystallinity and surface roughness of thin films were determined by XRD patterns and AFM images. In addition, ac PDP with Fe doped MgO protective layer has improved address discharge time lag for high speed driving.