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비선형 유한요소해석법을 이용한 CMP 멤브레인의 해석적 연구
김도연(D. Y. Kim),이태경(T. K. Lee),강필식(P. S. Kang),김형재(D. Y. Kim) 한국기계가공학회 2020 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 Vol.2020 No.11
멀티와이어쏘 공정에서 잉곳 절입속도가 웨이퍼 형상 정밀도에 미치는 영향에 관한 연구
김도연(D. Y. Kim),김형재(H. J. Kim),김철민(C. M. Kim),박철진(C. J. Park),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2012 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2012 No.5월
다이아몬드 전착 와이어의 마모 특성이 멀티와이어 쏘 공정에 미치는 영향
김도연(D. Y. Kim),김형재(H. J. Kim),이상직(S. J. Lee),이태경(T. K. Lee),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2013 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2013 No.5월
다이아몬드 입자에 따른 다이아몬드 전착 와이어의 절삭 성능에 관한 연구
김도연(D. Y. Kim),이상직(S. J. Lee),이태경(T. K. Lee),이현우(H. W. Lee),허지인(J. I. Heo),정해도(H. D. Jeong),김형재(H. J. Kim) Korean Society for Precision Engineering 2019 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2019 No.5월
선회형 2유체 소방 노즐의 형상에 따른 분무 특성
김도연(D. Y. Kim),김형재(H. J. Kim) 한국정밀공학회 2010 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2010 No.11월
세정공정에서 브러쉬 기울기 검출을 위한 진동 신호에 관한 연구
김도연(D. Y. Kim),김형재(H. J. Kim),이태경(T. K. Lee) 한국기계가공학회 2021 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 Vol.2021 No.12
CMP 용 멤브레인형 연마 헤드가 웨이퍼와 패드 표면의 응력 분포에 미치는 영향
김도연(D. Y. Kim),이태경(T. K. Lee),김형재(H. J. Kim) Korean Society for Precision Engineering 2020 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2020 No.9월
Post-CMP cleaning에서 브러쉬 마모 예측을 위한 진동 신호 분석
김도연(D. Y. Kim),이태경(T. K. Lee),김형재(H. J. Kim) 한국생산제조학회 2021 한국생산제조시스템학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.12
습식 에칭에 의한 웨이퍼의 층간 절연막 가공 특성에 관한 연구
김도윤(D. Y. Kim),김형재(H. J. Kim),정해도(H. D. Jeong),이은상(E. S. Lee) 한국정밀공학회 2001 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2001 No.10월
사파이어 래핑 공정에서 가압방식에 따른 웨이퍼표면 응력 분포 해석
김도연(D. Y. Kim),김형재(H. J. Kim),이태경(T. K. Lee),조형호(H. H. Jo) 한국기계가공학회 2010 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 Vol.2010 No.11
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