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딥러닝을 이용한 패드 표면 거칠기 기반 CMP 재료 제거율 예측 모델링
정종민(J. M. Jeong),신영일(Y. I. Shin),박영욱(Y. W. Park),정선호(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2022 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2022 No.10
연마 압력 및 패드 표면 거칠기를 이용한 XGBoost 기반의 CMP 재료 제거율 예측
정종민(J. M. Jeong),정승훈(S. H. Jeong),신영일(Y. I. Shin),정선호(S. H. Jeong),박영욱(Y. W. Park),정해도(H. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2023 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2023 No.5
결정 트리 머신러닝을 이용한 데이터 기반의 CMP 재료 제거율 모델링
정종민(J. M. Jeong),신영일(Y. I. Shin),정승훈(S. H. Jeong),정선호(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2023 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2023 No.11
평판 철심가동형 LOA의 특성해석 및 정특성 시험
장석명(S.M. Jang),정상섭(S.S. Jeong),정종민(J.M. Jeong),김형규(H.K. Kim),우종섭(J.S. Wu) 대한전기학회 1998 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1998 No.11
CMP Strategy for Dishing Control of TGV Interposers
S. H. Jeong(정승훈),S. H. Jeong(정선호),Y. I. Shin(신영일),J. M. Jeong(정종민),H. D. Jeong(정해도) Korean Society for Precision Engineering 2023 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2023 No.11
가동철심형 왕복운동용 리니어 모터의 정추력 및 정자계 여자방식에 따른 특성
장석명(S. M. Jang),정종민(J. M. Jeong),이성래(S. L. Lee),양현섭 대한전기학회 1999 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1999 No.7
CMP에서 연마 패드의 표면거칠기가 동압 및 재료 제거율에 미치는 영향
박영욱(Y. W. Park),정선호(S. H. Jeong),신영일(Y. I. Shin),정종민(J. M. Jeong),김형재(H. J. Kim),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2022 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2022 No.10
온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델
신영일(Y. I. Shin),박영욱(Y. W. Park),정종민(J. M. Jeong),정선호(S. H. Jeong),정승훈(S. H. Jeong),정해도(H. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2023 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2023 No.5
구리 CMP에서 온도 함수를 고려한 단차 감소 예측 모델링
신영일(Y. I. Shin),박영욱(Y. W. Park),정종민(J. M. Jeong),정선호(S. H. Jeon),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2022 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2022 No.10
제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구
박영욱(Y. W. Park),허성녕(S. N. Heo),신영일(Y. I. Shin),정종민(J. M. Jeong),김형재(H. J. Kim),정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 2022 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2022 No.5
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