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Combined Three-probe 오차분리기술 기반 라인 프로파일 측정 오차 분석
황인오(I. O. Hwang),백상우(S. W. Baek),조남규(N. G. Cho) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.11월
부품 표면 특성은 부품이 가지는 기계적 성능에 영향을 미치는 요소이며, 정밀 라인프로파일 측정 기술은 부품 표면 평가에 반드시 필요한 기술이다. 일반적인 정밀 라인프로파일 측정 기술은 정밀한 변위센서 또는 측정물을 이동시키는 정밀 이송 장치로 구성되며, 이송 장치의 오차 운동에 의해 측정 정밀도의 한계를 가진다. 이러한 문제를 해결하기 위해 변위센서에 측정된 정보로부터 오차 운동과 형상 정보를 분리하는 다양한 오차분리기술들이 제안되어 왔다. Three-probe 오차분리법은 온-머신으로 부가적인 정밀 장치 없이 사용이 가능하다는 장점이 있어 많은 연구가 수행되어 왔으며, 그 중 Combined Method 는 기존 Three-probe 오차분리법인 Sequential Method 와 Generalized Method 를 함께 사용하여 다른 오차분리방법에 비해 고정밀 측정이 가능하고 많은 측정점의 획득이 가능한 측정방법이다. 그러나 Combined Method는 측정 표면의 특성에 따라서 측정 오차 수준이 변화하는 특징이 있으며, Combined Method의 적절한 사용을 위해 이러한 특성에 대한 면밀한 검토가 필요하다. 본 연구에서는 Combined Method 을 기반으로 하는 측정 시스템의 측정 대상 표면 특징에 따른 측정 결과의 측정 오차 수준의 변화를 분석한다. 이를 위해 측정 대상 표면의 형상 성분에 따른 Combined Method의 오차 수준을 주파수 응답을 사용하여 분석하였다. 또한 분석 결과를 기반으로 측정 표면의 예상되는 주파수 특징에 따른 Combined Method 측정 시스템의 설계 조건을 제안한다.
PECVD 에 의해 형성된 Diamondlike Carbon 박막에서 DC Self Bias 및 보조 gas 가 광학적 성질에 미치는 영향
김한,황인오,주승기 대한금속재료학회(대한금속학회) 1993 대한금속·재료학회지 Vol.31 No.1
Diamondlike carbon thin films were prepared on Si (001) wafer by plasma enhanced chemical vapor deposition and we observed the variation of the optical band gap of DLC thin films with respect to deposition condition. The change of the optical band gap of the DLC thin films was investigated as a function of DC self bias which was the most important variable in PECVD and the secondary gas. When DC self bias was applied, the optical band gap decreased monotonously and when DC self bias was not applied, the degree of the change of the optical band gap decreased greatly. The change of the optical band gap had a close relation with the concentration of C-H bond in DLC thin films and the content of hydrogen decreased with the increase of DC self bias and we could verify these results by using FT-IR spectroscopy. And, It was seen that nitrogen and hydrogen gas used for secondary gas had a role of increasing the decreasing rate of the optical band gap by the breakage of C-H bond of DLC thin films during the deposition.