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Thermal ALD 방법으로 증착된 MoN/Mo 박막의 증착 온도 영향성 연구
이백주(B.J. Lee),천민호(M.H. Cheon),이규범(K.B. Lee),서동원(D.W Seo),최재욱(J.W. Choi) 대한전자공학회 2023 대한전자공학회 학술대회 Vol.2023 No.6
본 연구에서는 MoO2Cl2 전구체(고체)를 사용하여 Thermal ALD 방법으로 Mo 박막을 제조하는 연구를 수행하였다. 고체 전구체의 경우 액체 전구체에 비해 증기압이 일정하게 유지되지 않아 공정 조건을 잡는게 어려웠다. 더구나 600℃ 이상의 고온에서의 고체 전구체 사용에는 많은 제약이 따른다. Mo 박막을 증착하기 위한 반응가스는 H2 를 사용하였으며, 증착 온도를 650℃까지 증가하였다. 650℃는 AlN heater의 maximum 공정 온도 조건으로 deposition rate과 resistivity 변화, 표면 morphology 특성을 비교하였다. 증착 온도가 600℃에서 650℃ 로 증가함에 따라 resistivity는 12.9μΩ∙cm수준으로 낮아졌고, 표면 roughness(Rq)가 0.560nm로 증가하였으며, step coverage가 97%가 확인 되었다.
유연힌지 다중지지 구조를 활용한 힘 센싱 그리퍼 툴팁 개발
최재욱(J. W. Choi),정병진(B. J. Jung),김태근(T. K. Kim),송하준(H. J. Song),전세웅(S. W. Jun),김근환(K. H. Kim),황정훈(J. H. Hwang),신동인(D. I. Shin) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.11월
최근 각광받는 인공지능 및 ICT 기술에 기반하여 산출된 높은 수준의 작업 계획을 실제로 로봇이 수행하기 위해서는 작업물의 정교한 조작이 가능한 그리퍼의 개발이 필수적이다. 특히, 유연물 핸들링 및 파지력 제어 등의 작업을 수행하기 위해서는 파지 대상물과 그리퍼 사이의 파지력을 측정하는 기능을 가지는 로봇 그리퍼가 필수적으로 요구된다. 이러한 요구에 대응하기 위하여 파지력 측정이 가능한 그리퍼 및 그리퍼 툴팁에 대한 연구가 이루어지고 있다. 접촉력 센싱 기능을 가지는 그리퍼로 여러 가지 형태 및 강성을 가지는 작업물을 파지하고 조작하는 작업을 수행하기 위해서는 접촉점의 위치가 달라져도 일관적인 힘 센싱 특성을 유지하는 기능이 필요하다. 본 연구에서는 유연힌지 다중지지 구조 기반의 힘 센싱 구조체를 활용한, 작업물 종류 및 형상에 의하여 접촉 지점이 달라져도 동일한 힘 센싱 특성을 가지는 그리퍼 툴팁을 제안한다. 해당 구조는 방향에 따라 다른 강성을 가지며 이러한 특성에 의하여, 접촉 위치에 따라 달라지는 모멘트 힘에 의한 변형을 최소화하고 접촉면에 수직한 힘 성분에 의한 변형만을 변위 센서에 전달하도록 설계되었다. 제안된 힘 센싱 툴팁은 서로 다른 접촉 지점에 대한 힘 센싱 특성 변화를 측정하는 실험을 통하여 평가된다.