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유-무기 하이브리드 하드마스크 소재의 합성 및 식각 특성에 관한 연구
유제정(Yu, Je-Jeong),황석호(Hwang, Seok-Ho),김상범(Kim, Sang-Bum) 한국산학기술학회 2011 한국산학기술학회논문지 Vol.12 No.4
반도체 산업은 지속적으로 비약적인 발전을 이루어내면서 점점 고집적회로를 제작하기 위하여 패턴의 미세 화가 이루어지게 되었다. 현재 미세 나노패턴의 형성을 위하여 여러층의 하드마스크가 사용되고 있으며, 화학증기증 착(CVD)공정을 이용하여 형성한다. 이에 본 연구에서는 스핀공정(spin-on process)이 가능한 유-무기 하이브리드 중합 체를 이용한 단일층의 하드마스크를 제작하였는데, 하드마스크 내의 무기계 성분이 감광층 보다 쉽게 식각되는 반면 에 하드마스크의 유기계 성분으로 인해 substrate층 보다 덜 식각되었다. 유-무기 하이브리드 중합체를 이용한 하드마 스크막의 광학 및 표면 특성을 조사하였고, 감광층과 하드마스크막의 식각비를 비교하여 유-무기소재의 하이브리드 중합체에 대한 미세패턴을 형성시킬 수 있는 하드마스크막으로써의 유용성을 확인하였다. Semiconductor industry needs to have fine patterns in order to fabricate the high density integrated circuit. For nano-scale patterns, hard-mask is used to multi-layer structure which is formed by CVD (chemical vaporized deposition) process. In this work, we prepared single-layer hard-mask by using organic-inorganic hybrid polymer for spin-on process. The inorganic part of hard-mask was much easier etching than photo resist layer. Beside, the organic part of hard-mask was much harder etching than substrate layer. We characterized the optical and morphological properties to the hard mask films using organic-inorganic hybrid polymer, and then etch rate of photo resist layer and hard-mask film were compared. The hybrid polymer prepared from organic and inorganic materials was found to be useful hard-mask film to form the nano-patterns.
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스핀코팅 하드마스크용 유-무기 하이브리드 소재에 관한 연구
유제정 ( Je Jeong Yu ),황석호 ( Seok Ho Hwang ),김상범 ( Sang Bum Kim ) 한국공업화학회 2011 공업화학 Vol.22 No.2
반도체산업은 고집적화된 회로를 요구하면서 미세 패턴을 형성하기 위해 계속해서 발전해가고 있다. 이에 반도체 산업에서 미세 패턴을 형성하기 위하여 하드마스크를 도입하여 사용되고 있다. 일반적으로 하드마스크는 화학증기증착법(CVD) 공정을 이용하여 다층구조로 제작된다. 이에 본 연구에서는 스핀공정이 가능하고 단층의 하드마스크용 조성물을 제조하기 위하여 유-무기 하이브리드 중합체를 이용하여 그 특성에 대하여 연구하였다. Silanol로 처리된 siloxane 화합 물과 acetonide 그룹을 가지는 propionic acid를 에스터화 반응을 통하여 얻은 유-무기 하이브리드 중합체에 가교제 및 첨가제들의 첨가로 광학적, 열적, 그리고 표면 특성이 조절된 하드마스크 막을 제조하였다. 또한 하드마스크 막과 감광층의 식각비를 비교하여 유-무기 소재의 하이브리드 중합체에 대해 미세패턴을 형성시킬 수 있는 하드마스크 막으로써의 유용성을 확인하였다. In this work, the primary material for a single layered hardmask which can afford a spin-on process was prepared by the minture of organic and inorganic sources. The preparation of hybrid polymer was attempted by esterification from silanol terminated siloxane compounds and acetonide-2,2-bis(methoxy)propionic acid. The optical, thermal and morphological properties of the test hardmask film was examined in terms of cross-linking agent and additives. In addition, the etch rate of hardmask film and photo resist layer were compared. The hybrid polymer prepared from organic and inorganic materials was found to be useful for hardmask film to form the nano-patterns.
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초등학교 현직교사와 예비교사의 수학 수업 비평의 관점에 대한 연구
김남균 ( Nam Gyun Kim ),유제정 ( Je Jung Yu ) 한국수학교육학회 2015 수학교육 Vol.54 No.1
The purpose of this study was to provide fundamental data and implication for forming desirable viewpoint of mathematics lesson critique and for improvement of expertise in lesson by compare and analyze the viewpoint of mathematics lesson critique of pre-service and in-service teachers. For the achievement of the purpose, The lesson critique materials of each 25 pre-service and in-service mathematics teachers were collected and arranged, and compare and analyze the viewpoint of mathematics lesson critique of pre-service and in-service teachers by using the standard for analyzing viewpoint of lesson critique composed of two categories, five main codes and 18 sub codes. The results of this study, both pre-service and in-service teachers have tendency for criticising lesson focusing on the practice rather than plan of lesson and both pre-service and in-service teachers showed evaluative reaction in most of critical statements and used positive ones rather than negative ones. The only pre-service teachers, though minor of them, showed non-evaluative reaction in criticising class and most of the statements were just description and explanation without any their own judgement for the scenes and activities of lessons and most of pre-service teachers have tendency to include reflection and introspection for their own class in lesson critique.
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