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김이슬,김선규,손무근,박세준,김상우,김종민,양현식,박병열,고재생 한국자기학회 2021 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 Vol.31 No.2
자속선은 자기장의 방향과 세기를 나타내는 가상의 선으로, 자속밀도(Magnetic Flux Density)는 균일하게 자화된 재료에서의 단위 면적당의 자속, 자속의 방향과 수직인 단위 면적당 자속선의 수를 의미하여 자계의 세기를 측정하는데 사용하고 있으며, 가우스 미터로 자속밀도를 측정할 수 있다. 현재, OLED 디스플레이의 화소를 생성해 주는 증착기(Evaporator)는 6.5세대 Half (1,500mm x 900mm)가 주력이며, 메탈 마스크(Metal Mask)의 처짐을 해결하기 위해 영구 자석이 일정하게 배열된 마그넷 플레이트가 사용되고 있다. 기존에는 영구 자석이 배열된 마그넷 플레이트의 자속 밀도를 측정하기 위해서 가우스 미터를 이용하여 각 포인트 마다 수작업으로 일일이 측정을 진행하였고, 그로 인해 위치 및 작업자 별 측정값의 부정확성, 많은 시간 소요, Data 의 낮은 신뢰도, 등의 다양한 문제가 발생하여, 측정값의 신뢰도가 하락하였고, 최근 8.5세대 OLED 디스플레이의 개발이 대두된 상황에서 지속적으로 마그넷 플레이트의 크기는 증가할 것으로 예상되므로, 비접촉식 3D 자기장 스캐너의 필요성이 절실해지고 있는 상황이다. 본 발표는 비접촉식 3D 자기장 스캐너의 자속밀도 측정값의 정확도를 확인하기 위해 전사모사(FEMM4.2)를 통한 영구자석 배열 시뮬레이션을 진행하였고, 시뮬레이션 결과를 토대로 Test 용 마그넷 플레이트 실물을 제작하였다. 제작된 Test 용 마그넷 플레이트는 비접촉식 3D 자기장 스캐너로 측정을 진행하여 x, y, z 축의 가우스 값을 비교하였다. 〈그림 본문참조〉
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