나노급 다이아몬드 파우더에 ALD로 제조된 ZnO 박막 연구

박종성,송오성,Park, S.J.,Song, S.O. 한국진공학회 2008 Applied Science and Convergence Technology Vol.17 No.6

나노급 다이아몬드는 최근 폭발법이나 증착법에 의한 신공정으로 100 nm 이하의 분말형태의 제조가 가능하다. 나노급 다이아몬드의 소결을 이용하면 이상적인 연마기기의 제작이 가능하다. 이러한 나노급 다이아몬드의 소결 공정에서 생기는 비이상적인 나노결정의 결정립성장과 다이아몬드 결합장애를 방지하기 위해서 나노급 무기물을 균일하게 코팅하는 공정개발이 필요하다. 본 연구에서는 나노급 다이아몬드의 소결 특성을 향상시키기 위해서 ALD(atomic layer deposition)을 이용하여 진공에서 $20{\sim}30\;nm$ 두께의 ZnO 박막을 코팅해 보았다. 나노급 다이아몬드 분말 전면에 경제적으로 ZnO ALD를 위해서 기존의 기계적 진동효과 또는 전용 fluidized bed reactor를 대치하여 새로이 20 mm 석영튜브 안에 다이아몬드 분말을 넣고 다공성 유리필터로 막은 후 펄스와 퍼지 공정시의 압력에 의한 다이아몬드의 부유를 이용한 변형된 fluidized bed 공정을 채용하였다. 다공성 유리필터로 양쪽이 막힌 석영튜브 안에 전구체 DEZn (diethylzinc : $C_4H_{10}Zn$)와 반응기체 $H_2O$를 사용하여 ZnO 박막을 캐니스터 온도 $10^{\circ}C$에서 원자층증착하였다. 공정 순서 및 반응물질 주입 시간은 DEZn pulse-0.1초, DEZn purge-20초, $H_2O$ pulse-0.1초, $H_2O$ purge-40초와 같이 설정하였으며, 이 네 단계를 1 cycle로 정의하여 100 cycle 반복 실시하였다. 다이아몬드 분말과 ZnO 박막이 증착된 다이아몬드 분말의 미세구조를 확인하기 위하여 투과전자현미경 (transmission electron microscope)을 이용하였다. TEM 측정결과, ALD 증착 전 나노급 다이아몬드 분말의 직경이 약 $70{\sim}120\;nm$이었고 사면체, 육면체 등의 다양한 형태를 보임을 확인하였다. ZnO 박막이 ALD코팅된 다이아몬드 분말의 직경은 약 $90{\sim}150\;nm$이었고, 다이아몬드 분말과 ZnO의 명암차이에 의해 약 $20{\sim}30\;nm$ 두께의 균일한 ZnO 박막이 다각형 형태의 다이아몬드 파우더 표면에 성공적으로 증착되었음을 확인하였다. Recently a nano-scale diamond is possible to manufacture forms of powder(below 100 nm) by new processing of explosion or deposition method. Using a sintering of nano-scale diamond is possible to manufacture of grinding tools. We have need of a processing development of coated uniformly inorganic to prevent an abnormal grain growth of nano-crystal and bonding obstacle caused by sintering process. This paper, in order to improve the sintering property of nano-scale diamond, we coated ZnO thin films(thickness: $20{\sim}30\;nm$) in a vacuum by ALD(atomic layer deposition) Economically, in order to deposit ZnO all over the surface of nano-scale diamond powder, we used a new modified fluidized bed processing replaced mechanical vibration effect or fluidized bed reactor which utilized diamond floating owing to pressure of pulse(or purge) processing after inserted diamond powders in quartz tube(L: 20 mm) then closed quartz tube by porosity glass filter. We deposited ZnO thin films by ALD in closed both sides of quartz tube by porosity glass filter by ALD(precursor: DEZn($C_4H_{10}Zn$), reaction gas: $H_2O$) at $10^{\circ}C$(in canister). Processing procedure and injection time of reaction materials set up DEZn pulse-0.1 sec, DEZn purge-20 sec, $H_2O$ pulse-0.1 sec, $H_2O$ purge-40 sec and we put in operation repetitive 100 cycles(1 cycle is 4 steps) We confirmed microstructure of diamond powder and diamond powder doped ZnO thin film by TEM(transmission electron microscope) Through TEM analysis, we confirmed that diamond powder diameter was some $70{\sim}120\;nm$ and shape was tetragonal, hexagonal, etc before ALD. We confirmed that diameter of diamond powders doped ZnO thin film was some $70{\sim}120\;nm$ and uniform ZnO(thickness: $20{\sim}30\;nm$) thin film was successfully deposited on diamond powder surface according to brightness difference between diamond powder and ZnO.

수도 도열병의 역학적 연구 II. 이삭 도열병 전염원으로서의 엽위별 병반분포의 의의

박종성,류승헌,김공기,Park J.S.,Yu S.H.,Kim H.G. 한국응용곤충학회 1983 한국식물보호학회지 Vol.22 No.4

엽위별로 형성된 병반수나 병반면적율은 통일계품종에 있어서는 n-1에서 n-3까지 그리고 일본형수수품종에 있어서는 n-2에서 많았으나 통일계품종중에서도 고도로 감수성인 노풍에 있어서는 n-1(지엽)에 가장 많이 분포되어 있었다. 병반의 분포도와 시비수준과의 관계는 시비수준이 높아질수록 뚜렸하게 나타나는 경향을 보여주고 있다. 엽위별로 보면 수잉기 이후 이삭도열병의 전염원으로는 n-1에서 n-5까지의 잎위의 병반이 관여하나 주로 n-1엽과 n-2엽의 관여도가 큰 것으로 고찰되었다. 수잉기 이후의 저온역에서의 변온$(24^{\circ}C\~16^{\circ}C)$은 잎위의 병반에서의 포자 형성량을 증가시키며 포자의 형성, 이탈, 비산에 아무런 지장을 주지않고 9월말까지도 다량의 전염원을 수에 공급하고 있었다. Number and percentage of diseased area of leaf blast lesions formed on different leaf location were mostly distributed from the flag leaf(n-1) to the 3rd leaf from the top(n-3) in Tongil line rice varieties and on the 2nd leaf from the top(n-2) in Japonica type rice varieties. Especially leaf lesions of Nopung which was more susceptible to leaf blast among Ton1 line rice varieties were mostly distributed on flag leaf. Relation between the degree of lesion distribution and level of fertilizer was more clear with an increase of fertilizer quantity. Leaf blast lesions of rice varieties were generally distributed from the flag leaf to the with leaf from the top but mainly those at flag leaf and the 2nd leaf from the top were found to be most responsible for inoculum source of panicle blast after booting stage. Increase of the conidia formation was resulted from fluctuation of temperature$(24^{\circ}C\~16^{\circ}C)$ in low temperature range after booting stage and many inoculum sources were supplied on panicles until the end of September without impeding dispersal from leaf blast lesions as an inoculum source of panicle blast.

수도 도열병의 역학적 연구 I. 수잉기 엽초내의 이삭 도열병 감염

박종성,유승헌,김홍기,Park J.S.,Yu S.H.,Kim H.G. 한국응용곤충학회 1980 한국식물보호학회지 Vol.19 No.4

실험포장에 있어서의 도열병발생상은 잎도열병의 발생량이 경한데 비해 통일계품종의 이삭도열병은 결발형이었고 일본형품종의 그것은 역시 경하였다. 시비수준간의 도열병 발생량의 차이는 통일계품조의 경우 잎도열병에서는 뚜렷하게 나타났으나 이삭도열병에서는 뚜렷하지 않았다. 지엽(n-1)이나 그 아래에 있는 n-2엽, n-3엽 등에서 강우수나 엽상의 노적수에서 만들어지 포자현탁액이 엽신에서 엽초의 봉합부를 거쳐 엽초내에 침투하고 수에 접착한 다음 감염을 일으키는 것으로 판명되었다. 자연환경하에서나 인공환경아래에서도 엽초내에 포자현탁액을 주입하면 수의 각부분이 감염되었으며 자연환경아래에서 생육중인 수도의 수잉기엽초내에는 도열병균과 그밖에 여러가지 진균의 포자가 검출되어 수잉기엽초내에서의 수열병 감염이 가능한 것으로 판명 되었다. 실험포장에서의 통일계품종의 이삭도열병의 발병은 $90\%$내외이며 이 중에 수잉기 감염이 출수후 감염보다 훨씬 많으며 0.5N 시비구에서는 $6\~15$배, 1.0구에서는 $10\~40$배, 1.5N 구에서는 $7\~20$배 가량이 많았다. 한편 일본형수도품종에 있어서는 이삭도열병의 감염율은 $3\%$에 지나지 않았다. The pattern of blast disease incidence of Tonsil-line rice varieties derived from the cross between Indica and Japonica type was quite different from that of Japonica-type rice varieties. The former showed discontinuity between the incidence of leaf blast and panicle blast; the incidence .of leaf blast was slight, while that of panicle blast was very severe. Different level of nitrogen fertilizer applied influenced significantly the incidence of leaf blast but influenced slightly the incidence of panicle blast of Tongil-line rice varieties. The infection percentage of panicle blast of Tongil-line rice varieties was about $90\%$ and most of them were infected in leaf sheaths during booting stage, but infection of panicle blast of Japonica-type rice varieties in leaf sheaths during booting stage was very low, only about $3\%$. Infection route of panicle blast in leaf sheaths during booting stage, microflora in leaf sheaths, and specific susceptibility of young panicle to blast disease were investigated in the epidemiological point of view.

폴리머 스텐트에 집적화된 무선 압력센서 제작 및 평가

박종성(J. Park),김지관(J.-K. Kim),이동원(D.-W. Lee) 한국정밀공학회 2015 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2015 No.12월

렌즈 모듈 성능확보를 위한 배럴 동심도, 진원도 최적화 기술 개발

박종성(J. S. Park),김범진(B. J. Kim),김동석(D. S. Kim) 한국기계가공학회 2020 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 Vol.2020 No.6

션형관계식에 의한 측정법의 비교 연구

박종성 ( J S Park ),황성준 ( S J Whang ),이승관 ( S K Lee ),이창규 ( C K Lee ),황선철 ( S C Whang ),류정록 ( J R Ryu ),김장영 ( J Y Kim ),강영태 ( Y T Kang ) 대한임상검사과학회 1992 대한임상검사과학회지(KJCLS) Vol.24 No.1

Linear regression analysis is a commonly used tech- in analyzing method comparison data. If a lin- relationship between the test and reference method can be defined, then the slope and intercept of this line can provide estimates of the proportional and constant error between the two methods. ever if the basic assumptions underlying the least squares model are not met, the estimated line may be incorrect. The least-squares regression method may give two very disparate lines, depending on whether X or Y is used as the independant variable. Neither line expresses the functional relationship bet ween the true values of X and Y : both are altered by errors of measurement in the independant variant. In contrast, the slope and the intercept which accurately represented the relation between X and Y could be estimated in linear structural relationship. The Syncron CX5, a random access type analyzer used for routine clinical chemistry determinations, was compared to the Gilford 203S. The analysis of data obtained by running serum samples in parallel on two instruments indicates that the Beckman CX5 does not correlate well with the Gilford 203S.

초정밀 사출성형을 위한 금형 내 온도 편차 최소화 기술개발

박종성(J. S. Park),박재규(J. K. Park),김범진(B. J. Kim),권혁수(H. S. Kwon),김동석(D. S. Kim) 한국기계가공학회 2019 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 Vol.2019 No.10

계면활성제 용액의 마찰감소 Break - down 현상에 관한 연구

박종성(J . Park),노태호(T . Roh),김종엽(C . Kim),윤형기(H . K . Yoon),서항석(H . S . Suh),김명수(M . Kim) 한국화학공학회 1996 화학공학의이론과응용 Vol.2 No.1

압전 션트회로를 이용한 광저장 디스크 드라이브의 진동 저감

박종성(J. S. Park),임수철(S. C. Lim),최승복(S. B. Choi),김재환(J. H. Kim),박영필(Y. P. Park) 한국소음진동공학회 2002 한국소음진동공학회 학술대회논문집 Vol.2002 No.5

Design of a Controller for Enhancing Positioning Performance of a PZT Driven Stage

박종성(J. S. Park),정규원(Kyuwon Jeong) 한국생산제조학회 2012 한국생산제조학회지 Vol.21 No.3

This paper describes a new robust control algorithm which can be used to enhance the positioning performance of an ultra-precision positioning system. The working table is supported by flexure hinges and moved by a piezoelectric actuator, whose position is measured by an ultra-precise linear encoder. The system dynamics is very complicated because the movement of the table is governed by both the mechanical characteristics and those of the PZT actuator. So that, the dynamics of the stage was modeled roughly in this paper, and the overall system was formularized to solve the small gain problem. A series of experiments was conducted in order to verify the usefulness of the proposed algorithm. From the experimental results, the positioning performance such as the accuracy, the rise time and the hysteresis nonlinearity were greatly improved.